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31. 发明申请

WO2014141910A1 フィルム製造方法、フィルム製造プロセスモニタ装置及びフィルム検査方法审中-公开
标题翻译：制造薄膜的方法，薄膜制造工艺监测装置和检查薄膜的方法
公开(公告)号：WO2014141910A1
公开(公告)日：2014-09-18
申请号：PCT/JP2014/055223
申请日：2014-03-03
申请人：住友電気工業株式会社
发明人：木村　彰紀 , 森島　哲 , 伊藤　真澄 , 菅沼　寛
IPC分类号： G01N21/3563 , C08J5/18
CPC分类号： G01N21/3563 , B05D3/067 , G01N21/359 , G01N21/8422 , G01N21/8901 , G01N2021/4711 , G01N2021/8438 , G01N2021/8627 , G01N2021/8645 , G01N2201/061
摘要：　フィルムの特性をより簡易な方法且つ高精度に把握する。フィルム製造プロセスモニタ装置１００を用いたフィルム１の製造方法においては、Ａ方向に移動されるフィルム１に対して、光源１０から近赤外光である広帯域光Ｌ１を照射することでフィルム１から出射される拡散反射光Ｌ２を受光部３０で受光することで、分析部４０のスペクトル取得部４０ａにおいて拡散反射光Ｌ２のスペクトルを取得するスペクトル取得工程と、取得された拡散反射光Ｌ２のスペクトルからフィルム１に係る物理量を算出する物理量算出工程と、が含まれる。フィルム１の特性を示す物理量をスペクトルの取得によって得ることができるため、フィルムの特性を簡便に把握することができ、スペクトルから例えば複数の情報を取得することもできるため、フィルムの特性をより高精度で把握することができる。
摘要翻译：本发明的目的是使用更简单的方法以高精度确定膜特性。一种使用薄膜制造工艺监测装置（100）制造薄膜（1）的方法，包括：光谱获取步骤，用于将来自光源（10）的近红外光的宽带光（L1）发射到膜（1）沿方向A移动，从而在光接收单元（30）中接收从胶片（1）发射的扩散反射光（L2），从而在光谱采集中获得扩散反射光（L2）的光谱分析器（40）的单元（40a）; 以及物理值计算步骤，用于根据获得的差分反射光（L2）的光谱计算与胶片（1）相关的物理值。由于可以通过获取光谱来获得表示胶片（1）的特性的物理值，所以可以简单地确定胶片的特性，并且可以从光谱获取多条信息。因此，可以更精确地确定膜的特性。

32. 发明申请

WO2013143898A1 VERFAHREN ZUR DETEKTION VERGRABENER SCHICHTEN 审中-公开
标题翻译：检测方法的埋层
公开(公告)号：WO2013143898A1
公开(公告)日：2013-10-03
申请号：PCT/EP2013/055532
申请日：2013-03-18
申请人： HSEB DRESDEN GMBH
发明人： SROCKA, Bernd , LANGHANS, Ralf
IPC分类号： G01N21/84 , G01N21/95
CPC分类号： G01N21/55 , G01N21/8422 , G01N21/9505 , G01N33/00 , G01N2021/8438 , G01N2033/0095 , G01N2201/068
摘要： Eine Anordnung zur optischen Detektion vergrabener Schichten von flachen Objekten (10) mit mehreren Schichten, insbesondere Wafer, enthaltend eine Strahlungsquelle (14) zur Beleuchtung der Oberfläche (12) des Objekts unter einem Winkel (a); ein im Strahlengang angeordnetes Polarisationsfilter (24); und einen Detektor (22) zur Erfassung von der Oberfläche des Objekts reflektierten oder von dem Objekt durchgelassenen Strahlung; ist dadurch gekennzeichnet, dass die der Strahlungsquelle am nächsten liegende Schicht des Objekts für die Strahlung der Strahlungsquelle zumindest teilweise durchlässig ist; das Polarisationsfilter nur für Strahlung durchlässig ist, die parallel zur Einfallsebene polarisiert ist; und die Beleuchtung der Oberfläche des Objekts unter Brewsterwinkel erfolgt. Die Oberfläche des Objekts wird vorzugsweise mit unpolarisierter Strahlung beleuchtet und das Polarisationsfilter ist im Strahlengang zwischen der Oberfläche des Objekts und dem Detektor angeordnet.
摘要翻译：对平面物体（10）具有若干层，特别是晶片的掩埋层的光学检测的装置，包括一个辐射源（14），用于以一定角度照射物体的表面（12）的（a）; （24），其设置在光路中的偏振滤光器的阀; 和反射的用于检测物体的表面上或穿过物体辐射发射的检测器（22）; 的特征在于，最靠近辐射源的辐射的对象层的辐射源是至少部分透射; 偏振滤光器仅用于其偏振平行于入射面的辐射可透过; 和对象物的表面的照射是下布儒斯特角。物体的表面优选用非偏振辐射照射和偏振滤光器被布置在所述对象和所述检测器的表面之间的光路。

33. 发明申请

WO2013105532A1 検査装置及び光学部材貼合体の製造装置审中-公开
标题翻译：用于制造层压光学部件的检查装置和装置
公开(公告)号：WO2013105532A1
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：PCT/JP2013/050050
申请日：2013-01-08
申请人：住友化学株式会社
发明人：土岡　達也 , 岸▲崎▼　和範 , 井村　圭太
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/88 , G01M11/00 , G02F1/13
CPC分类号： G01N21/8422 , B29D11/0073 , B29D11/00951 , G01N21/958 , G01N2021/8438 , G02F1/1303 , G02F1/1309 , G02F2203/69
摘要：　本発明の検査装置は、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学部材貼合体の欠陥の有無を検査する検査装置であって、前記光学部材貼合体の第１主面に向けて第１の光を射出する第１光源と、前記第１光源と前記第１主面との間に配置され前記第１光源から射出された前記第１の光を前記第１主面に向けて集光させる第１集光レンズと、前記第１集光レンズにより集光されて前記光学部材貼合体を透過した前記第１の光の画像を撮像する第１撮像装置と、を含む。
摘要翻译：该检查装置检查包含结合到光学显示部件的光学部件的层压光学部件的缺陷的存在，其中，所述装置包括：第一光源，用于朝向所述层叠光学部件的第一主表面照射第一光; 第一光聚焦透镜，设置在第一光源和第一主表面之间，用于朝向第一主表面聚焦从第一光源照射的第一光; 以及第一成像装置，用于拾取由第一聚光透镜聚焦的第一光的图像并透射通过层压光学部件。

34. 发明申请

WO2012141925A1 METHOD OF DETECTING VOLATILE ORGANIC COMPOUNDS 审中-公开
标题翻译：检测挥发性有机化合物的方法
公开(公告)号：WO2012141925A1
公开(公告)日：2012-10-18
申请号：PCT/US2012/031798
申请日：2012-04-02
申请人： 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY , KANG, Myungchan , PALAZZOTTO, Michael, C. , GRYSKA, Stefan, H.
发明人： KANG, Myungchan , PALAZZOTTO, Michael, C. , GRYSKA, Stefan, H.
IPC分类号： G01N27/22 , G01N21/55
CPC分类号： G01N27/22 , C08L89/00 , G01N21/783 , G01N21/8422 , G01N27/227 , G01N33/0047 , G01N2021/7773 , G01N2021/8438 , H01L21/00 , H01L2223/00
摘要： A method of using a sensor element includes: exposing a sensor element to an unknown analyte vapor; measuring a capacitance of the sensor element to obtain a measured capacitance; obtaining a true capacitance of the sensor element; exposing the semi-reflective conductive electrode to incident light and observing reflected light in order to measure a spectral change between the incident light and the reflected light; comparing the true capacitance and the measured spectral change, or at least one derivative thereof, to a reference library, the reference library comprising reference correlations between spectral change and true capacitance, or at least one derivative thereof, for a plurality of reference analyte vapors; and determining at least one of the chemical class or identity of the analyte vapor.
摘要翻译：使用传感器元件的方法包括：将传感器元件暴露于未知的分析物蒸汽; 测量传感器元件的电容以获得测量的电容; 获得传感器元件的真实电容; 将半反射导电电极暴露于入射光并观察反射光，以便测量入射光和反射光之间的光谱变化; 将真实电容和测量的光谱变化或其至少一个导数与参考文献库进行比较，所述参考文库包括用于多个参考分析物蒸气的光谱变化与真实电容之间的参考相关性，或其至少一个导数; 并确定分析物蒸气的化学类别或身份中的至少一种。

35. 发明申请

WO2018204364A1 METHOD OF MEASUREMENT OF MULTILAYER STRUCTURES 审中-公开
公开(公告)号：WO2018204364A1
公开(公告)日：2018-11-08
申请号：PCT/US2018/030454
申请日：2018-05-01
申请人： LUMETRICS, INC.
发明人： MARCUS, Michael, A. , GIBSON, Donald, S. , HADCOCK, Kyle, J. , IGNATOVIC, Filipp, V.
IPC分类号： G01B11/06 , G01B11/22
CPC分类号： G01N21/45 , G01B9/02002 , G01B9/02028 , G01B11/06 , G01B11/0625 , G01B11/0675 , G01N2021/8438 , G01N2201/06113 , G02B27/126 , G02B27/30 , H01S3/005 , H01S3/0071 , H01S3/2222
摘要： A method of identifying the material and determining the physical thickness of each layer in a multilayer structure is disclosed. The method includes measuring the optical thickness of each of the layers of the multilayer object as a function of wavelength of a light source and calculating a normalized group index of refraction dispersion curve for each layer in the multilayer structure. The measured normalized group index of refraction dispersion curves for each of the layers is then compared to a reference data base of known materials and the material of each layer is identified. The physical thickness of each layer is then determined from the group index of refraction dispersion curve for the material in each layer and the measured optical thickness data. A method for determining the group index of refraction dispersion curve of a known material is also disclosed.

36. 发明申请

WO2018054449A1 METHOD FOR CHARACTERISING A MATERIAL WITH LAYERED STRUCTURE AND A MEASURING SYSTEM 审中-公开
标题翻译：表征具有层状结构和测量系统的材料的方法
公开(公告)号：WO2018054449A1
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：PCT/EP2016/072265
申请日：2016-09-20
申请人： DAS-NANO, S.L.
发明人： LÓPEZ ZORZANO, Alex , ETAYO SALINAS, David , FERNÁNDEZ VALLEJO, Montserrat , CHUDZIK, Magdalena , REDÓ SÁNCHEZ, Albert , AZANZA LADRÓN, Eduardo
IPC分类号： G01N21/3581 , G01B11/06 , G01N21/84 , G01N21/3586
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/0625 , G01N21/3581 , G01N21/3586 , G01N2021/8438
摘要： A method for characterising a material with a layered structure using terahertz A method for characterising a material with a layered structure using terahertz radiation comprising determining characterising information of the material with layered structure by implementing a machine learning approach and a measuring system for obtaining characterising information of such material with a layered structure, the measuring system comprising a terahertz emitter associated with a laser light source and adapted to generate a THz-emitted beam to be irradiated on the material, a terahertz detector associated with the laser light source and adapted to detect a THz-reflected beam from the material, and an optical system designed to guide and focus the THz-emitted beam on the material and to guide and collect the THz-reflected beam from the material.
摘要翻译：一种用于使用太赫兹来表征具有分层结构的材料的方法一种使用太赫兹辐射来表征具有分层结构的材料的方法，包括：通过实施机器学习方法来确定具有分层结构的材料的表征信息;以及用于获得具有分层结构的这种材料的表征信息的测量系统，所述测量系统包括：与激光光源相关联的太赫兹发射器，适于产生要照射在所述材料上的THz发射的光束;太赫兹检测器，与所述太赫兹检测器激光光源并且适于检测来自材料的THz反射光束以及设计用于引导和聚焦THz发射的光束到材料上并且引导和收集来自材料的THz反射光束的光学系统。

37. 发明申请

WO2018009517A1 SYSTEMS AND METHODS FOR QUALITY CONTROL OF A PERIODIC STRUCTURE 审中-公开
标题翻译：用于质量控制周期性结构的系统和方法
公开(公告)号：WO2018009517A1
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：PCT/US2017/040686
申请日：2017-07-05
申请人： MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY , UNIVERSITY OF HOUSTON
发明人： NELSON, Keith A. , MAZNEV, Alexei A. , SHIN, Hyun Doug , BENSAOULA, Abdelhak , GANDHI, Jateen S. , STOKES, Donna Washington , FORREST, Rebecca Lynne
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/16 , G01B11/22 , G01B11/30
CPC分类号： G01N21/9515 , G01N21/1717 , G01N21/8422 , G01N21/9501 , G01N29/2418 , G01N29/38 , G01N29/46 , G01N2021/8438 , G01N2291/0231 , G01N2291/0237 , G01N2291/02854 , G01N2291/2697 , G10K11/002
摘要： Quality control of a periodic structure is performed using the damping rate of acoustic waves generated in the periodic structure. In this technique, an excitation light beam illuminates the first layer in the periodic structure to excite an acoustic wave. Possible irregularities in the periodic structure can scatter the acoustic wave, thereby increasing the damping rate of the acoustic wave. A sequence of probe light beams illuminates the periodic structure to measure the acoustic wave as a function of time to generated a temporal signal representing the damping rate of the acoustic signal. The acquired damping rate is employed to evaluate the quality of the periodic structure.
摘要翻译：使用在周期性结构中产生的声波的衰减率来执行周期性结构的质量控制。在这种技术中，激发光束照射周期性结构中的第一层以激发声波。周期性结构中可能的不规则性会使声波散射，从而增加声波的阻尼率。一系列探测光束照亮周期性结构以测量作为时间的函数的声波以生成表示声学信号的衰减率的时间信号。获得的阻尼率被用来评估周期性结构的质量。

38. 发明申请

WO2015102585A1 TEMPERATURE-DEPENDENT FABRICATION OF INTEGRATED COMPUTATIONAL ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：一体化计算元素的温度依赖性制造
公开(公告)号：WO2015102585A1
公开(公告)日：2015-07-09
申请号：PCT/US2013/078365
申请日：2013-12-30
申请人： HALLIBURTON ENERGY SERVICES, INC.
发明人： PERKINS, David L. , FREESE, Robert Paul , JONES, Christopher Michael , GARDNER, Richard Neal
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/41 , G01B11/06
CPC分类号： C23C14/547 , C23C14/50 , C23C14/541 , C23C14/545 , E21B49/08 , G01N21/31 , G01N21/33 , G01N21/84 , G01N21/8422 , G01N33/2823 , G01N2021/8411 , G01N2021/8438
摘要： Technologies are described for controlling temperature of ICEs during ICE fabrication. In one aspect, a method includes receiving a design of an integrated computational element (ICE), the ICE design including specification of a substrate and a plurality of layers, their respective target thicknesses and complex refractive indices, where complex refractive indices of adjacent layers are different from each other, and where a notional ICE fabricated in accordance with the ICE design is related to a characteristic of a sample; forming at least some of the plurality of layers of an ICE in accordance with the ICE design; and controlling, during the forming, a temperature of the formed layers of the ICE such that the ICE, when completed, relates to the characteristic of the sample.
摘要翻译：描述了在ICE制造期间控制ICE温度的技术。一方面，一种方法包括接收集成计算元件（ICE）的设计，所述ICE设计包括基板和多个层的规格，它们各自的目标厚度和复折射率，其中相邻层的复折射率是根据ICE设计制造的名义ICE与样品的特性有关; 根据ICE设计形成ICE的多个层中的至少一些层; 并且在形成期间控制ICE的成形层的温度，使得ICE在完成时与样品的特性相关。

39. 发明申请

WO2014195943A1 AN INFRA-RED BASED METHOD AND SYSTEM FOR DETERMINING INTEGRITY OF A PRODUCT 审中-公开
标题翻译：用于确定产品完整性的基于红蛋白的方法和系统
公开(公告)号：WO2014195943A1
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：PCT/IL2014/050496
申请日：2014-06-02
申请人： D.I.R. TECHNOLOGIES (DETECTION IR) LTD.
发明人： WEINSTEIN, Yoav , SINBAR, Eran
IPC分类号： G01N21/90 , G01N21/95 , G01N21/88 , G01N25/72 , G01N21/84
CPC分类号： G01N21/9081 , G01N21/8806 , G01N21/909 , G01N21/9508 , G01N25/72 , G01N2021/8438
摘要： The present disclosure provides a method and system for determining integrity of a product (14), comprising: (a) placing the product between at least one radiation emitting body (16) and one infra-red (IR) sensing arrangement (18) comprising at least one IR sensor, the product comprises a housing being essentially transparent to IR radiation; (b) while the product is at a steady state temperature which is different from the temperature of the radiation emitting body, creating a sensing session comprising sensing by the at least one IR sensor, radiation emitted from the radiation emitting body, at least a portion of the emitted radiation being transmitted through the housing of the product, and (c) generating IR data from the sensed radiation, the IR data being indicative of the integrity of said product; wherein the product is spaced apart from at least the radiation emitting body such that no contact exists therebetween.
摘要翻译：本公开提供了一种用于确定产品（14）的完整性的方法和系统，包括：（a）将产品放置在至少一个辐射发射体（16）和一个红外（IR）感测装置（18）之间，包括至少一个IR传感器，该产品包括对IR辐射基本上透明的壳体; （b）当产品处于与辐射发射体的温度不同的稳态温度时，产生感测会话，包括由至少一个IR传感器感测从辐射发射体发射的辐射，至少一部分发射的辐射通过产品的壳体传输，以及（c）从感测的辐射产生IR数据，IR数据表示所述产品的完整性; 其中所述产品与至少所述辐射发射体间隔开，使得它们之间不存在接触。

40. 发明申请

WO2014147898A1 積層セラミック電子部品审中-公开
标题翻译：层压陶瓷电子元件
公开(公告)号：WO2014147898A1
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：PCT/JP2013/082797
申请日：2013-12-06
申请人：株式会社村田製作所
发明人：島田　康平
IPC分类号： H01G2/24 , H01C1/04 , H01F27/00 , H01G4/12 , H01G4/224 , H01G13/00
CPC分类号： G01N21/64 , G01N21/8422 , G01N2021/8438 , G01N2201/061 , H01C1/04 , H01G2/24 , H01G4/012 , H01G4/12 , H01G4/1209 , H01G4/224 , H01G4/236 , H01G4/30
摘要：　内部電極の方向性を容易に判別することができる積層セラミック電子部品を提供する。　積層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサ１０は、積層された複数のセラミック層１４と、セラミック層間の界面に沿って形成される第１および第２の内部電極１６ａ、１６ｂとを有する積層体１２を含む。積層体１２の外表面には、外部電極１８が形成される。外部電極１８が形成されていない積層体１２の外表面の一部に、蛍光体２０が配置される。
摘要翻译：提供能够容易地确定内部电极的方向特性的层叠陶瓷电子部件。作为该层压陶瓷电子部件的一个例子，层压陶瓷电容器（10）包括层叠在一起的多个陶瓷层（14）和层叠体（12），该层叠体具有沿着第一和第二内部电极陶瓷层。在层叠体（12）的外表面上形成有外部电极（18），并且在外部电极（18）不是的层叠体（12）的外表面的一部分上配置有荧光体（20）形成。

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