用多级涡轮分子泵（12），质谱泄漏检测器的连接到质谱仪（17），一个与所述涡轮分子泵的压力侧（12），连接的前级泵（18）和增压泵阶段涡轮分子泵（12）的吸入侧 具有抛和压力侧的涡轮分子泵（12）的压力侧和前级泵的吸入侧（18）导航用途（24），用于导航用途为r的测试镨导航用途在Gasleitungsweg一个终端（28）的吸入侧（22） 的特征在于，所述涡轮分子泵（12）和增压泵阶段的步骤（30，32）设置在共同的轴上，并具有镨导航用途扫视连接增压泵阶段的压力侧之间的公共驱动器（34）和所述Gasleitungsweg 连接到涡轮分子泵（12）的质谱仪（17）泵送级的吸入侧被分离（36）中断， 是

一种用于在至少一个柔性壁区域包括胶片室至少部分可压缩的镨导航用途甩（18）（12）的大的泄漏测量过程中，气体传导地连接到压力传感器（30），真空泵（26）和导航用途 经由具有校准阀（34）所涉及的校准体积（37）包围ROAD形成校准室（36），包括：抽空所述膜腔（12）的步骤，避难完成之后测量该膜腔（12）内的压力变化，气体传导连接 校准体积（37）与所述胶片室的内部容积（12）W＆AUML;压力曲线的测量过程中，气体传导化合物的制备之前的压力，并在气体的导电连通于膜腔（12）被测量，并且其中，在所述校准室中的压力（36） 与膜腔（12）接合之前GR＆ouml;道路他或小于在膜腔（12）中的压力，其特征在于，Druckd SA差分Δρ<子>空生产气体传导连接的前压力，并与在空白滑动室（12）不含Pr导航用途的情况下，膜腔（12）的气体导电连通的压力之间进行比较与相应的抛（18） 压力差Δρ<子>镨导航用途扫视包含在所述滑动室（12）镨导航用途扫视（18）。