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    • 103. 发明申请
    • RECESSED GERMANIUM (Ge) DIODE
    • 残留的锗(Ge)二极体
    • WO2010005772A8
    • 2010-05-06
    • PCT/US2009048202
    • 2009-06-23
    • ANALOG DEVICES INCYASAITIS JOHN ALOWELL LAWRENCE JAY
    • YASAITIS JOHN ALOWELL LAWRENCE JAY
    • H01L31/18H01L31/028H01L31/0352H01L31/105
    • H01L31/18H01L27/1443H01L31/074
    • A photodiode is formed in a recessed germanium (Ge) region in a silicon (Si) substrate. The Ge region may be fabricated by etching a hole through a passivation layer on the Si substrate and into the Si substrate and then growing Ge in the hole by a selective epitaxial process. The Ge appears to grow better selectively in the- hole than on a Si or oxide surface. The Ge may grow up some or all of the passivation sidewall of the hole to conformally fill the hole and produce a recessed Ge region that is approximately flush with the surface, of the substrate, without characteristic slanted sides of a mesa. The hole may be etched deep enough so the photodiode is thick enough to obtain good coupling efficiencies to vertical, free-space light entering the photodiode.
    • 在硅(Si)衬底中的凹入的锗(Ge)区域中形成光电二极管。 Ge区域可以通过蚀刻穿过Si衬底上的钝化层并进入Si衬底然后通过选择性外延工艺在孔中生长Ge来制造。 Ge在孔中看起来比在Si或氧化物表面上更有选择地生长。 Ge可以长大孔的一部分或全部钝化侧壁,以保形地填充孔,并产生与衬底的表面大致齐平的凹陷Ge区域,而没有台面的特征倾斜面。 孔可以被蚀刻到足够深的位置,因此光电二极管足够厚以获得进入光电二极管的垂直,自由空间光的良好的耦合效率。
    • 106. 发明申请
    • METHOD FOR PRODUCING A SILICON SOLAR CELL WITH A BACK-ETCHED EMITTER AS WELL AS A CORRESPONDING SOLAR CELL
    • 用背照式发射器以及相应的太阳能电池制造硅太阳能电池的方法
    • WO2009013307A3
    • 2009-10-22
    • PCT/EP2008059647
    • 2008-07-23
    • UNIV KONSTANZFRAUNHOFER GES FORSCHUNGHAHN GISOHAVERKAMP HELGERAABE BERNDDASTGHEIB-SHIRAZI AMIRBOOK FELIX
    • HAHN GISOHAVERKAMP HELGERAABE BERNDDASTGHEIB-SHIRAZI AMIRBOOK FELIX
    • H01L31/18H01L31/0352H01L31/068
    • H01L31/1804H01L31/068Y02E10/547Y02P70/521
    • A method is presented for producing a silicon solar cell with a back-etched emitter preferably with a selective emitter and a corresponding solar cell. According to one aspect, the method comprises the following method steps: producing a two-dimensionally extending emitter (5) at an emitter surface of a solar cell substrate (21); applying an etching barrier (25) onto first partial zones (7) of the emitter surface; etching the emitter surface in second partial zones (9) of the emitter surface not covered by the etching barrier (25); removing the etching barrier (25); and producing metal contacts (17) at the first partial zones (7). During the method, especially during the etching of the emitter surface in the second partial zones, a porous silicon layer is advantageously produced, which is then oxidised. This oxidised porous silicon layer can subsequently be etched away together with any phosphorus glass (23) that may be present. The method makes use of conventional screen-printing and etching technologies and is thus compatible with current industrial production plants.
    • 提出了一种制造具有背蚀刻发射器的硅太阳能电池的方法,所述背蚀优选具有选择性发射器和相应的太阳能电池。 根据一个方面,该方法包括以下方法步骤:在太阳能电池衬底(21)的发射极表面处产生二维延伸的发射极(5); 将蚀刻阻挡层(25)施加到发射体表面的第一分区(7)上; 在未被所述蚀刻阻挡层(25)覆盖的所述发射极表面的第二部分区(9)中蚀刻所述发射极表面; 去除蚀刻阻挡层(25); 并在第一分区(7)处产生金属触点(17)。 在该方法期间,特别是在蚀刻第二分区中的发射极表面期间,有利地产生多孔硅层,然后将其氧化。 随后可以将该氧化的多孔硅层与可能存在的任何磷玻璃(23)一起蚀刻掉。 该方法利用传统的丝网印刷和蚀刻技术,并且因此与当前的工业生产工厂兼容。
    • 108. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES PHOTOAKTIVEN SCHICHTENVERBUNDS, PHOTOAKTIVER SCHICHTENVERBUND UND ANWENDUNG
    • 用于生产PHOTO活性层分组,光有源层的复合及应用
    • WO2009086820A2
    • 2009-07-16
    • PCT/DE2009/000013
    • 2009-01-07
    • HELMHOLTZ ZENTRUM BERLIN FÜR MATERIALIEN UND ENERGIE GMBHAGGOUR, MohammedLEWERENZ, Hans-JoachimSKORUPSKA, Katarzyna
    • AGGOUR, MohammedLEWERENZ, Hans-JoachimSKORUPSKA, Katarzyna
    • H01L31/0352
    • H01L31/0284C25D11/32C25F3/12H01G9/2045H01L31/022425H01L31/022466H01L31/07H01L31/18Y02E10/542Y02P70/521
    • Durch die Verwendung von Schottky-Kontakten zwischen einem dotierten Silizium-Substrat als Makroabsorber und gleichrichtenden Nanoemittern entfallen deren aufwändige Hochdotierung und deren Beschattungseinfluss. Bekannt ist eine nasschemische Herstellung, die auf einer selbstorganisierten Nanoporenformation in Siliziumoxid unter Photostromoszillationsbedingungen beruht. Auf einem derartigen Schichtenverbund aufbauende photovoltaische Bauelemente zeigen aber nur unzureichende Wirkungsgrade bei der Energieumwandlung. Das erfindungsgemäße Verfahren beruht daher in einem ersten Verfahrensabschnitt auf einer Oxidbildung und selbstorganisierten Nanostrukturierung auf einem Silizium-Substrat in einer Phthalat-haltigen Elektrolytlösung. In nachfolgenden Verfahrensabschnitten wird die Nanostrukturierung dann bis in den Makroabsorber und mit einem Auskleidungs- metall belegt. Alle Verfahrensabschnitte werden messtechnisch überwacht. Dabei werden spezielle Parameter, insbesondere bezüglich des angelegten Potenzials, durchfahren. Eine auf einer photoaktiven Verbundschicht nach der Erfindung aufbauende photoelektrochemische Solarzelle mit einem lod-lodid-Elektrolytsystem zeigt einen effizienten Wirkungsgrad bei der Energieum- Setzung von 10,5 %. Grundsätzlich ist der Schichtenverbund nach der Erfindung einsetzbar für die lichtinduzierte Strom- und Brennstoffgewinnung.
    • 通过掺杂的硅衬底之间的使用肖特基接触的作为宏吸收剂和整流nanoemitters其复杂的高掺杂和它们的影响的阴影删去。 公开了一种湿化学制剂,其基于Photostromoszillationsbedingungen下在硅的自组装纳米孔的形成。 但建立在能量转换这样的层压光生伏打器件表现出效率不足。 因此,根据本发明的方法在于在第一方法部分以氧化物在含邻苯二甲酸酯的电解质溶液在硅衬底上形成和自组装纳米结构。 在该过程的后续阶段中的纳米结构,然后金属是向上在宏吸收器和衬片。 在诉讼的各个阶段被测量监控。 下面是具体的参数,特别是相对于所施加的电位,驱动通过。 根据与碘 - 碘化物电解质系统的本发明的光电化学太阳能电池的光活性化合物层上形成的构成是Energieum-减少10.5%的有效效率。 基本上,层压体可根据本发明用于光诱导电和燃料恢复。