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91. 发明申请

WO2005044720A1 LAYOUTMASSNAHMEN ZUR BEGRENZUNG DER AUSBREITUNG VON OBERFLÄCHENRISSEN IN MEMS 审中-公开
标题翻译： LAYOUT措施限制MEMS表面裂纹的蔓延
公开(公告)号：WO2005044720A1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：PCT/DE2004/001954
申请日：2004-09-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
发明人： FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264
摘要： Der Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements, welches wenigstens einen ersten, einen zweiten und einen dritten Bereich aufweist. Der erste und der zweite Bereich des mikromechanischen Bauelements weist dabei vorteilhafterweise den gleichen Schichtaufbau auf. Zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich ist der dritte Bereich angeordnet. Während der Nutzung des mikromechanischen Bauelements beispielsweise als Halterung eines Sensorelements können auf den Bauelement Risse entstehen. Diese Risse können sich unter ungünstigen Umständen auf der Oberfläche des mikromechanischen Bauelements vergrößern bzw. ausbreiten. Beim Aufbau der drei Bereiche ist dabei vorgesehen, dass der dritte Bereich im Vergleich zum ersten und/oder zweiten Bereich höhere Anfälligkeit der Rissausbreitung aufweist. Erfindungsgemäß sind der dritte Bereich und die beiden anderen Bereiche derart gestaltet, dass die Rissausbreitung vorzugsweise im dritten Bereich an vorgebbaren Positionen auf den Bauelement gestoppt wird.
摘要翻译：本发明描述了一种微型机械装置和用于制造具有至少一个第一，第二和第三区域的微机械部件的方法。微机械部件的第一和第二区域具有在该情况下有利的是相同的层结构。在第一和第二区域之间，所述第三区域被设置。虽然使用了微机械部件的，例如，作为传感器元件的保持器可在组分发生裂纹。这些裂纹可不利条件下的微机械装置或扩散的表面上而增加。在三个区域的构造中规定，所述第三区域具有更高的易感性裂纹扩展相比，第一和/或第二区域。根据本发明的第三区域和其它两个区域被配置为使得裂纹扩展在第三区域优选停止在设备上的预定位置。

92. 发明申请

WO2003068668A2 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：微机械部件与方法研究
公开(公告)号：WO2003068668A2
公开(公告)日：2003-08-21
申请号：PCT/EP2003/001309
申请日：2003-02-10
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER, Robert , BRAUER, Michael , BEVER, Thomas , DEHE, Alfons , FUELDNER, Marc
发明人： AIGNER, Robert , BRAUER, Michael , BEVER, Thomas , DEHE, Alfons , FUELDNER, Marc
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0109
摘要： Erfindungsgemäss wird ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat (1), zumindest einer Membran (8) und einem zwischen dem Substrat (1) und der Membran (8) angeordneten Hohlraum (6) bereitgestellt, wobei die Membran (8) über dem Hohlraum (6) mit Federn (9) aufgehängt ist. Das erfindungsgemässe mikromeschanische Bauelement besitzt den Vorteil, dass sich bedingt durch diekonkave (vertiefte, aus der Sicht der Membran nach innen gewölbte) Ausgestaltung der Randbereiche (16) der Membran (8) ein in der Membranschicht vorhandener Sressgradient nur noch gering auswirkenkann. Insbesondere können Verbiegungen der Membran (8), die herkömmlicherweise von einem Stressgradienten verursacht werden, deutlich reduziert werden.
摘要翻译：根据本发明，提供了一种具有一微机械部件的基板（1），至少一个膜（8）和所述基板（1）和（8）布置在设置空腔（6）的膜之间，其中所述膜（8）在所述腔（6 ）（9）由弹簧悬挂。根据本发明的mikromeschanische设备具有的优点是，由于凹（凹进，从膜向内弯曲的角度）（8）影响只能在薄膜层的现有Sressgradient仍然低所述膜的边缘区域（16）的配置。具体而言，所述膜（8），其通常是通过一个应力梯度引起的弯曲，都显著减少。

93. 发明申请

WO0165302A9 OPTICAL SWITCH ARRAY USING ROLLING SHUTTER OPTICAL SWITCH ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：光学开关阵列使用滚动开关光学开关元件
公开(公告)号：WO0165302A9
公开(公告)日：2003-02-06
申请号：PCT/US0140252
申请日：2001-03-05
申请人： AXSUN TECH INC
发明人： FLANDERS DALE C , WHITNEY PETER S
IPC分类号： B81B3/00 , G02B6/35 , G02B26/02 , G02B26/08
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B3/0008 , B81B2201/045 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/3564 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3584 , G02B26/02 , G02B26/0816
摘要： An optical switch device includes a rolling shutter or membrane attached at one of its edges to a substrate near an optical port in the substrate. The rolling shutter can assume one of two states. In a first closed state, the membrane is uncoiled onto the substrate over the port such that light directed at the port impinges on the shutter. In a second open state, the membrane is rolled up away from the port such that light directed at the port impinges on the port. In one embodiment, a mirror is formed on the membrane such that when the membrane is in the closed state over the substrate, light directed at the port is reflected by the mirror. In one configuration, the optical port includes a hole or aperture such that light passed through the port without interference. The device can include a latch electrode the far end of the membrane such that when it is rolled out, it can be held in position by a latching voltage applied across the latch electrode and the substrate. Slits can be formed in the membrane to keep the mirror flat by relieving strain in the membrane and to allow gases in proximity to the device to pass through the membrane as it is activated. The shutter can include dimples to minimize the area of contact between the membrane and the substrate to reduce the probability of the two sticking together. The attachment edge of the membrane can be made shorter than its width to reduce distortions in the membrane to keep the mirror flat. A raised annular rim can be provided around the port such that when the shutter is held down over the port it is pulled taut and flat over the rim. This feature is also used to maintain flatness in the mirror. The switch device can be used as part of an array of optical switches.
摘要翻译：一种光学开关装置包括将其一个边缘附接到衬底附近的光学端口的基板的卷帘门或薄膜。滚动快门可以采取两种状态之一。在第一关闭状态下，膜在端口上展开到基板上，使得指向端口的光照射在快门上。在第二打开状态下，膜从端口卷起，使得指向端口的光照射在端口上。在一个实施例中，在膜上形成反射镜，使得当膜在衬底上处于关闭状态时，指向端口的光被反射镜反射。在一种配置中，光学端口包括孔或孔，使得光通过端口而不受干扰。该装置可以包括位于膜的远端的闩锁电极，使得当其被推出时，其可以通过施加在闩锁电极和基板上的锁存电压而保持就位。可以在膜中形成狭缝，以通过减轻膜中的应变来保持反射镜平坦，并允许邻近装置的气体在被激活时通过膜。快门可以包括凹坑以最小化膜和基底之间的接触面积，以减少两者粘在一起的可能性。膜的附着边缘可以比其宽度短，以减少膜中的变形，以保持镜子平坦。可以围绕端口设置凸起的环形边缘，使得当快门被按压在端口上时，其被拉紧并在边缘上平坦。此功能也用于保持镜子的平整度。开关器件可用作光开关阵列的一部分。

94. 发明申请

WO2001065302A1 OPTICAL SWITCH ARRAY USING ROLLING SHUTTER OPTICAL SWITCH ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：光学开关阵列使用滚动开关光学开关元件
公开(公告)号：WO2001065302A1
公开(公告)日：2001-09-07
申请号：PCT/US2001/040252
申请日：2001-03-05
申请人： AXSUN TECHNOLOGIES, INC.
发明人： FLANDERS, Dale, C. , WHITNEY, Peter, S.
IPC分类号： G02B26/02
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B3/0008 , B81B2201/045 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/3564 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3584 , G02B26/02 , G02B26/0816
摘要： An optical switch device includes a rolling shutter or membrane attached at one of its edges to a substrate near an optical port in the substrate. The rolling shutter can assume one of two states. In a first closed state, the membrane is uncoiled onto the substrate over the port such that light directed at the port impinges on the shutter. In a second open state, the membrane is rolled up away from the port such that light directed at the port impinges on the port. In one embodiment, a mirror is formed on the membrane such that when the membrane is in the closed state over the substrate, light directed at the port is reflected by the mirror. In one configuration, the optical port includes a hole or aperture such that light passed through the port without interference. The device can include a latch electrode the far end of the membrane such that when it is rolled out, it can be held in position by a latching voltage applied across the latch electrode and the substrate. Slits can be formed in the membrane to keep the mirror flat by relieving strain in the membrane and to allow gases in proximity to the device to pass through the membrane as it is activated. The shutter can include dimples to minimize the area of contact between the membrane and the substrate to reduce the probability of the two sticking together. The attachment edge of the membrane can be made shorter than its width to reduce distortions in the membrane to keep the mirror flat. A raised annular rim can be provided around the port such that when the shutter is held down over the port it is pulled taut and flat over the rim. This feature is also used to maintain flatness in the mirror. The switch device can be used as part of an array of optical switches.
摘要翻译：一种光学开关装置包括将其一个边缘附接到衬底附近的光学端口的基板的卷帘门或薄膜。滚动快门可以采取两种状态之一。在第一关闭状态下，膜在端口上展开到基板上，使得指向端口的光照射在快门上。在第二打开状态下，膜从端口卷起，使得指向端口的光照射在端口上。在一个实施例中，在膜上形成反射镜，使得当膜在衬底上处于关闭状态时，指向端口的光被反射镜反射。在一种配置中，光学端口包括孔或孔，使得光通过端口而不受干扰。该装置可以包括位于膜的远端的闩锁电极，使得当其被推出时，其可以通过施加在闩锁电极和基板上的锁存电压而保持就位。可以在膜中形成狭缝，以通过减轻膜中的应变来保持反射镜平坦，并允许邻近装置的气体在被激活时通过膜。快门可以包括凹坑以最小化膜和基底之间的接触面积，以减少两者粘在一起的可能性。膜的附着边缘可以比其宽度短，以减少膜中的变形，以保持镜子平坦。可以围绕端口设置凸起的环形边缘，使得当快门被按压在端口上时，其被拉紧并在边缘上平坦。此功能也用于保持镜子的平整度。开关器件可用作光开关阵列的一部分。

95. 发明申请

WO00055646A1 ACCELEROMETER TRANSDUCER USED FOR SEISMIC RECORDING 审中-公开
标题翻译：用于地震记录的加速度传感器
公开(公告)号：WO00055646A1
公开(公告)日：2000-09-21
申请号：PCT/US2000/006905
申请日：2000-03-16
IPC分类号： G01P21/00 , G01D11/24 , G01D18/00 , G01H1/00 , G01L27/00 , G01N1/02 , G01P1/02 , G01P15/08 , G01P15/125 , G01P15/13 , G01V1/047 , G01V1/053 , G01V1/104 , G01V1/18 , G01V1/40 , H01L21/60 , H01L29/84 , H05K5/00 , G01V1/00
CPC分类号： G01P1/023 , B81B3/001 , B81B3/0072 , B81B7/0016 , B81B2201/0235 , G01D11/245 , G01D18/008 , G01N2001/021 , G01P15/0802 , G01P15/13 , G01P21/00 , G01V1/047 , G01V1/053 , G01V1/104 , G01V1/181 , G01V1/186 , H01L2224/48472 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Method for operating and testing a sensor assembly (210). The sensor assembly (210) preferably includes accelerometers with axes of sensitivity orthogonal to each other. The method preferably includes determining sensor tilt angle, determining the position of the sensor, and synchronizing the operation of the sensor.
摘要翻译：用于操作和测试传感器组件（210）的方法。传感器组件（210）优选地包括具有彼此正交的灵敏轴的加速度计。该方法优选地包括确定传感器倾斜角度，确定传感器的位置以及同步传感器的操作。

96. 发明申请

WO00055105A2 EXPLOSIVE SHEAR WAVE ENERGY SOURCE 审中-公开
标题翻译：爆炸波浪能量源
公开(公告)号：WO00055105A2
公开(公告)日：2000-09-21
申请号：PCT/US2000/006634
申请日：2000-03-14
IPC分类号： G01P21/00 , G01D11/24 , G01D18/00 , G01H1/00 , G01L27/00 , G01N1/02 , G01P1/02 , G01P15/08 , G01P15/125 , G01P15/13 , G01V1/047 , G01V1/053 , G01V1/104 , G01V1/18 , G01V1/40 , H01L21/60 , H01L29/84 , H05K5/00 , C06B
CPC分类号： G01P1/023 , B81B3/001 , B81B3/0072 , B81B7/0016 , B81B2201/0235 , G01D11/245 , G01D18/008 , G01N2001/021 , G01P15/0802 , G01P15/13 , G01P21/00 , G01V1/047 , G01V1/053 , G01V1/104 , G01V1/181 , G01V1/186 , H01L2224/48472 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： An energy source for shear wave within the surface of the earth. The energy source has a convoluted shape (405). In a preferred embodiment, the pitch of the spacing (425) of the flexible explosive material (405) and the flexible transfer material (430) around the tube (410) ranges from about 20 to 45 degrees relative to the horizontal direction in order to optionally excite a range of frequencies.
摘要翻译：地球表面内的剪切波能量源。能量源具有卷积形状（405）。在优选实施例中，围绕管（410）的柔性爆炸材料（405）和柔性转移材料（430）的间距（425）的间距相对于水平方向为约20至45度，以便可选地激发一定范围的频率。

97. 发明申请

WO00038208A1 MICROMACHINE SWITCH AND ITS PRODUCTION METHOD 审中-公开
标题翻译： MICROMACHINE开关及其生产方法
公开(公告)号：WO00038208A1
公开(公告)日：2000-06-29
申请号：PCT/JP1999/007077
申请日：1999-12-16
IPC分类号： H01H11/00 , B62D57/00 , B81B3/00 , B81B7/04 , B81C1/00 , H01H1/02 , H01H1/20 , H01H1/26 , H01H59/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2203/0118 , H01H1/20 , H01H59/0009 , Y10T29/4916
摘要： A micromachine which can be mass-produced, is cheap, and has high performance. The machine comprises a support member (7) provided near a gap of a signal line on a base (1) and has a predetermined height from the surface of the base (1), a flexible beam member (cantilevered arm (8)) which projects from the support member (7) generally parallel to the surface of the base (1) and part of which faces to the gap, a contact electrode (5) provided on the base side of the beam member and facing to at least the gap, and a lower electrode (4) provided on the base (1) and facing to part of the beam member. The beam member is conductive from the portion connected to the support member (7) to the portion facing to the lower electrode (4) and consequently functions as an upper electrode (9). The thermal expansion coefficient is generally symmetric in the direction of the thickness perpendicular to the surface of the base (1) at least in the region from the portion connected to the support member (7) to the portion facing to the lower electrode (4).
摘要翻译：可以批量生产的微型机器便宜，性能高。该机器包括设置在基座（1）上的信号线的间隙附近并且具有距离基座（1）表面的预定高度的支撑构件（7），柔性梁构件（悬臂（8））从所述支撑构件（7）突出地突出地平行于所述基部（1）的表面并且其一部分面向所述间隙;接触电极（5），设置在所述梁构件的基部侧并面向至少所述间隙，以及设置在所述基座（1）上并面向所述梁构件的一部分的下电极（4）。梁构件从连接到支撑构件（7）的部分导电到面向下电极（4）的部分，因此用作上电极（9）。至少在从连接到支撑构件（7）的部分到面向下电极（4）的部分的区域中，热膨胀系数通常在垂直于基座（1）的表面的厚度方向上对称，。

98. 发明申请

WO1998029943A1 ZERO TCF THIN FILM RESONATOR 审中-公开
标题翻译：零TCF薄膜共振器
公开(公告)号：WO1998029943A1
公开(公告)日：1998-07-09
申请号：PCT/US1997020639
申请日：1997-11-13
申请人： HONEYWELL INC.
发明人： HONEYWELL INC. , HERB, William, R. , BURNS, David, W. , YOUNGNER, Daniel, W.
IPC分类号： H03H09/24
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0271 , H03H9/02448 , H03H9/2463 , H03H9/2473
摘要： A multi-material resonant thin film beam for a micromechanical sensor having a zero temperature coefficient of frequency (TCF) which is the resonant frequency shift with temperature change. One of the materials may be polysilicon and the other material may be silicon nitride or silicon oxide. Each material has a different thermal coefficient of expansion. The proportion of the various materials is adjusted and the specific geometries are determined so that the TCF is zero. One embodiment is a microbeam composed of two polysilicon thin films with a silicon nitride thin film inserted between the polysilicon films. The thickness of the silicon nitride film may be adjusted to trim the TCF to zero. The film of nitride instead may be placed on one side of a polysilicon film to form a beam. Dual or multiple beam resonators likewise may be made with several materials. The nitride may be placed in the shank areas which join and secure the ends of the beams. Such zero TCF beams may be incorporated in microsensor structures for measuring pressure, temperature, strain and other parameters.
摘要翻译：一种用于微机械传感器的多材料谐振薄膜波束，其具有零温度频率系数（TCF），其是随着温度变化的谐振频率偏移。其中一种材料可以是多晶硅，另一种材料可以是氮化硅或氧化硅。每种材料具有不同的热膨胀系数。调整各种材料的比例，确定特定几何形状，使得TCF为零。一个实施例是由两个多晶硅薄膜组成的微束，其中氮化硅薄膜插入在多晶硅膜之间。可以调节氮化硅膜的厚度以将TCF修整为零。氮化物膜可以放置在多晶硅膜的一侧以形成光束。双或多束谐振器同样可以由几种材料制成。氮化物可以放置在连接并固定梁的端部的柄部区域中。这种零TCF光束可以被并入用于测量压力，温度，应变和其它参数的微传感器结构中。

99. 发明申请

WO2016185808A1 接点構造、電子デバイス及び電子機器审中-公开
标题翻译：接触结构，电子设备和电子设备
公开(公告)号：WO2016185808A1
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：PCT/JP2016/060641
申请日：2016-03-31
申请人：ソニー株式会社
发明人：橋本　光生
IPC分类号： H01H59/00 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B3/00 , B81B2203/0118 , B81B2203/0136 , B81B2203/04 , B81B2203/051 , B81B2203/053 , H01H59/00
摘要：【課題】安定した耐衝撃性を保持することが可能な電子デバイスの接点構造を提供する。【解決手段】半導体基板であるベース部と、ベース部に支持され所定方向に駆動可能な可動部材の一部である可動接点部と、可動接点部に対向する固定接点部と、を備え、固定接点部は、ベース部に支持される固定部と、固定部から延設され、当該固定部に対して変位可能な延設部材とを有する、接点構造が提供される。
摘要翻译：提供能够保持耐冲击性的电子设备的接触结构。 [解决方案]提供一种接触结构，其具有：作为基部的半导体基板; 可动接触部，其是由所述基部支撑并且可沿预定方向移动的可动构件的一部分; 以及面向可动接触部的固定接触部。所述固定接触部包括：固定部，其由所述基部支撑; 以及从固定部分延伸并且能够相对于固定部分移位的延伸部件。

100. 发明申请

WO2016120213A1 MEMS DEVICES AND PROCESSES 审中-公开
标题翻译： MEMS器件和工艺
公开(公告)号：WO2016120213A1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：PCT/EP2016/051461
申请日：2016-01-25
申请人： CIRRUS LOGIC INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR LIMITED
发明人： CARGILL, Scott Lyall , JENKINS, Colin Robert , BOYD, Euan James , LAMING, Richard Ian
IPC分类号： H04R19/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00666 , B81B3/0021 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81C1/00182 , H01L2224/16225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2924/15151 , H04R19/005 , H04R19/04 , H01L2924/00014
摘要： The application describes MEMS transducer having a flexible membrane and which seeks to alleviate and/or redistribute stresses within the membrane layer. A membrane having a first/active region and a second/inactive region is described.
摘要翻译：本申请描述了具有柔性膜并寻求减轻和/或重新分布膜层内的应力的MEMS换能器。描述了具有第一/活性区域和第二/非活性区域的膜。

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