会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 7. 发明授权
    • Electro-optical modulator with curving resonator
    • 具有弯曲谐振器的电光调制器
    • US07447387B2
    • 2008-11-04
    • US11563034
    • 2006-11-24
    • Chih-Tsung ShihHuai-Yi ChenShiuh ChaoShin-Ge Lee
    • Chih-Tsung ShihHuai-Yi ChenShiuh ChaoShin-Ge Lee
    • G02F1/01
    • G02F1/015G02F1/3133G02F2203/15
    • An electro-optical modulator includes a structural substrate having insulating layer. A waveguide layer is on the insulating layer. A resonant layer on the insulating layer has a curving rim adjacent to the waveguide layer to form an optical coupling region. A gate dielectric layer covers part of the resonant layer. A dielectric layer over the resonant layer covers the gate dielectric layer. The dielectric layer has a first opening exposing part of the resonant layer and a second opening exposing the gate dielectric layer. Part of the second opening is adjacent to the curving rim of the resonant layer. A first polysilicon layer on the exposed region of the resonant layer serves as an electrode. A second polysilicon layer over the dielectric layer fills the second opening and is in contact with the gate dielectric layer. Part of the second polysilicon layer covering the dielectric layer serves as an electrode.
    • 电光调制器包括具有绝缘层的结构衬底。 波导层位于绝缘层上。 绝缘层上的谐振层具有与波导层相邻的弯曲边缘,以形成光耦合区域。 栅介质层覆盖谐振层的一部分。 谐振层上的电介质层覆盖栅介质层。 电介质层具有暴露共振层的一部分的第一开口和露出栅介电层的第二开口。 第二开口的一部分与谐振层的弯曲边缘相邻。 在共振层的暴露区域上的第一多晶硅层用作电极。 电介质层上的第二多晶硅层填充第二开口并与栅介电层接触。 覆盖电介质层的第二多晶硅层的一部分用作电极。