会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明专利
    • 含有鹼性顯影液可溶性矽之阻劑下層膜形成組成物
    • 含有碱性显影液可溶性硅之阻剂下层膜形成组成物
    • TW201906898A
    • 2019-02-16
    • TW107123471
    • 2018-07-06
    • 日商日產化學股份有限公司NISSAN CHEMICAL CORPORATION
    • 柴山亘SHIBAYAMA, WATARU中島誠NAKAJIMA, MAKOTO
    • C08G77/14C08G77/26C08G77/28G03F7/11G03F7/16H01L21/027
    • [課題]   提供一種阻劑下層膜,其可以光阻曝光後的顯影所使用的鹼性顯影液,與光阻的顯影同時使其下層存在之阻劑下層膜亦按照阻劑圖型同時除去。   [解決手段]   於上層阻劑的顯影時與該上層阻劑共同按照阻劑圖型被鹼性顯影液溶解除去之含有矽的阻劑下層膜,含有成分(a)與要素(b),該成分(a)為含有水解性矽烷、該水解物、該水解縮合物、或該等之組合之矽烷化合物,該要素(b)為對於鹼性顯影液之溶解誘發要素的微影術用阻劑下層膜形成組成物。對於鹼性顯影液之溶解誘發要素(b),為含有於上述成分(a)的化合物的構造。對於鹼性顯影液之溶解誘發要素(b)為光產酸劑。
    • [课题]   提供一种阻剂下层膜,其可以光阻曝光后的显影所使用的碱性显影液,与光阻的显影同时使其下层存在之阻剂下层膜亦按照阻剂图型同时除去。   [解决手段]   于上层阻剂的显影时与该上层阻剂共同按照阻剂图型被碱性显影液溶解除去之含有硅的阻剂下层膜,含有成分(a)与要素(b),该成分(a)为含有水解性硅烷、该水解物、该水解缩合物、或该等之组合之硅烷化合物,该要素(b)为对于碱性显影液之溶解诱发要素的微影术用阻剂下层膜形成组成物。对于碱性显影液之溶解诱发要素(b),为含有于上述成分(a)的化合物的构造。对于碱性显影液之溶解诱发要素(b)为光产酸剂。