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2. 发明专利

TW201614880A 壓電器件、液體噴射頭、液體噴射裝置及壓電器件的製造方法审中-公开
简体标题：压电器件、液体喷射头、液体喷射设备及压电器件的制造方法
公开(公告)号：TW201614880A
公开(公告)日：2016-04-16
申请号：TW104133085
申请日：2015-10-07
申请人：精工愛普生股份有限公司 , SEIKO EPSON CORPORATION
发明人：長沼陽一 , NAGANUMA, YOICHI , 中山雅夫 , NAKAYAMA, MASAO , 平井栄樹 , HIRAI, EIJU , 齊藤剛 , SAITO, TAKESHI , 穗苅吉宏 , HOKARI, YOSHIHIRO
IPC分类号： H01L41/083 , H01L41/47 , B41J2/045
摘要：本發明之目的在於提供可確保壓電元件之可靠度，且使壓電元件之變形效率化之壓電器件、液體噴射頭、及液體噴射裝置。本發明之壓電器件其特徵在於包含：變形部，其容許彈性層17之變形；非變形部，其阻礙彈性層17之變形；及壓電元件19，其依序積層有下電極層27、壓電體層28、及上電極層29而成；且變形部具有供配置壓電元件19之區域P1、與非變形部相鄰之區域P3、及配置於區域P1與區域P3之間之區域P2；於區域P1，依序積層有彈性層17、絕緣體層18、下電極層27、壓電體層28、及上電極層29；於區域P2，依序積層有彈性層17、絕緣體層18、壓電體層28、及上電極層29；於區域P3，依序積層有彈性層17及上電極層29；彈性層17係氧化矽；於區域P3之氧化矽，於上電極層29側添加有雜質。
简体摘要：本发明之目的在于提供可确保压电组件之可靠度，且使压电组件之变形效率化之压电器件、液体喷射头、及液体喷射设备。本发明之压电器件其特征在于包含：变形部，其容许弹性层17之变形；非变形部，其阻碍弹性层17之变形；及压电组件19，其依序积层有下电极层27、压电体层28、及上电极层29而成；且变形部具有供配置压电组件19之区域P1、与非变形部相邻之区域P3、及配置于区域P1与区域P3之间之区域P2；于区域P1，依序积层有弹性层17、绝缘体层18、下电极层27、压电体层28、及上电极层29；于区域P2，依序积层有弹性层17、绝缘体层18、压电体层28、及上电极层29；于区域P3，依序积层有弹性层17及上电极层29；弹性层17系氧化硅；于区域P3之氧化硅，于上电极层29侧添加有杂质。

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