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    • 4. 发明专利
    • 形成整合於積體電路裝置中之薄膜電阻器之系統及方法
    • 形成集成于集成电路设备中之薄膜电阻器之系统及方法
    • TW201919147A
    • 2019-05-16
    • TW107122752
    • 2018-07-02
    • 美商微晶片科技公司MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED
    • 菲思特 保羅FEST, PAUL
    • H01L21/70H01L49/02H01C17/00H01C7/00
    • 本發明提供一種形成一半導體積體電路裝置中之一整合式薄膜電阻器(TFR)之方法。在包含導電接觸件之一積體電路(IC)結構上沈積一第一介電層;在該第一介電層上方沈積一電阻膜(例如,包括SiCCr、SiCr、CrSiN、TaN、Ta2Si或TiN);蝕刻該電阻膜以界定該電阻膜之尺寸;及在該電阻膜上方沈積一第二介電層,使得該電阻膜夾置於該第一介電層與該第二介電層之間。可在該第二介電層上方沈積一互連溝渠層且例如使用一單個遮罩蝕刻該互連溝渠層以界定暴露該等IC結構接觸件及該電阻膜之表面之開口。可用例如銅之一導電互連材料填充該等開口以接觸該等導電接觸件及該電阻膜之該等經暴露之表面。
    • 本发明提供一种形成一半导体集成电路设备中之一集成式薄膜电阻器(TFR)之方法。在包含导电接触件之一集成电路(IC)结构上沉积一第一介电层;在该第一介电层上方沉积一电阻膜(例如,包括SiCCr、SiCr、CrSiN、TaN、Ta2Si或TiN);蚀刻该电阻膜以界定该电阻膜之尺寸;及在该电阻膜上方沉积一第二介电层,使得该电阻膜夹置于该第一介电层与该第二介电层之间。可在该第二介电层上方沉积一互连沟渠层且例如使用一单个遮罩蚀刻该互连沟渠层以界定暴露该等IC结构接触件及该电阻膜之表面之开口。可用例如铜之一导电互连材料填充该等开口以接触该等导电接触件及该电阻膜之该等经暴露之表面。
    • 6. 发明专利
    • 金屬板微電阻
    • 金属板微电阻
    • TW201614686A
    • 2016-04-16
    • TW103134188
    • 2014-10-01
    • 致強科技股份有限公司
    • 陳伯僖
    • H01C1/084H01C7/00
    • 本發明係為一種金屬板微電阻,包含一金屬板電阻本體,金屬板電阻本體兩端分別以電鑄銅形成一電極,金屬板電阻本體底面利用一導熱性黏著層壓合貼著至少一導熱片,該導熱片可隨金屬板微電阻焊接於PCB電路板之同時焊接於銅箔電路上,使金屬板電阻本體表面溫度可經由導熱片直接傳導至PCB電路板之銅箔電路,以達到良好之散熱。
    • 本发明系为一种金属板微电阻,包含一金属板电阻本体,金属板电阻本体两端分别以电铸铜形成一电极,金属板电阻本体底面利用一导热性黏着层压合贴着至少一导热片,该导热片可随金属板微电阻焊接于PCB电路板之同时焊接于铜箔电路上,使金属板电阻本体表面温度可经由导热片直接传导至PCB电路板之铜箔电路,以达到良好之散热。