会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明专利
    • 雙層微透鏡陣列光學元件
    • 双层微透镜数组光学组件
    • TW201807510A
    • 2018-03-01
    • TW105127612
    • 2016-08-25
    • 國立成功大學
    • 李永春簡弘量
    • G03F7/207G02B27/46
    • G02F1/133526G02B3/0012G02B3/0056G02B3/0062G02B5/188G02F2001/13356
    • 本發明係有關一種雙層微透鏡陣列光學元件,其主要係於一基板之一面具有陣列排列之複數針孔結構,且該基板之兩面分別具有一光學微透鏡陣列,該等微透鏡光學陣列均包含複數對應該等針孔結構位置之非球面微透鏡,本發明雙層微透鏡陣列光學元件使用時,主要係將經由DMD(Digital Mirror Device,DMD,數位微反射鏡陣列裝置)晶片折射之UV光,由晶基板一面之光學微透鏡陣列的複數非球面微透鏡分別聚焦在各個針孔結構的位置,並形成一個小光點,而光點會在通過針孔結構之後開始發散,接著再由基板另一面之光學微透鏡陣列的複數非球面微透鏡重新將光束在聚焦面上獲得一個逼近物理繞射極限的極小圓形光點極小的光點。形成之光點陣列可應用於掃描式的無光罩與直寫式的曝光微影製程。
    • 本发明系有关一种双层微透镜数组光学组件,其主要系于一基板之一面具有数组排列之复数针孔结构,且该基板之两面分别具有一光学微透镜数组,该等微透镜光学数组均包含复数对应该等针孔结构位置之非球面微透镜,本发明双层微透镜数组光学组件使用时,主要系将经由DMD(Digital Mirror Device,DMD,数码微反射镜数组设备)芯片折射之UV光,由晶基板一面之光学微透镜数组的复数非球面微透镜分别聚焦在各个针孔结构的位置,并形成一个小光点,而光点会在通过针孔结构之后开始发散,接着再由基板另一面之光学微透镜数组的复数非球面微透镜重新将光束在聚焦面上获得一个逼近物理绕射极限的极小圆形光点极小的光点。形成之光点数组可应用于扫描式的无光罩与直写式的曝光微影制程。