基本信息:
- 专利标题： 照明光學裝置、曝光設備以及製造物品的方法
- 专利标题（英）：Illumination optical device, exposure apparatus, and method of manufacturing article
- 专利标题（中）：照明光学设备、曝光设备以及制造物品的方法
- 申请号：TW104127332 申请日：2015-08-21
- 公开(公告)号：TWI588621B 公开(公告)日：2017-06-21
- 发明人： 須田広美 , SUDA, HIROMI
- 申请人： 佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
- 专利权人： 佳能股份有限公司,CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： 佳能股份有限公司,CANON KABUSHIKI KAISHA
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2014-192436 20140922
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G02B27/09 ; G02B19/00 ; H01L21/027
公开/授权文献:
- TW201612653A 照明光學裝置、曝光設備以及製造物品的方法 公开/授权日：2016-04-01