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1. 发明专利

TWI636335B 照明光學系統、曝光設備及製造物品的方法有权
简体标题：照明光学系统、曝光设备及制造物品的方法
公开(公告)号：TWI636335B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：TW105104765
申请日：2016-02-18
申请人：日商佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：須田広美 , SUDA, HIROMI
IPC分类号： G03F7/20

2. 发明专利

TW201633010A 照明光學系統、曝光設備及製造物品的方法审中-公开
简体标题：照明光学系统、曝光设备及制造物品的方法
公开(公告)号：TW201633010A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW105104765
申请日：2016-02-18
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：須田広美 , SUDA, HIROMI
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G02B19/0047 , G02B6/0008 , G02B19/0028 , G02B27/0994 , G03F7/70016 , G03F7/70075
摘要：本發明提供了一種照明光學系統，其藉由使用從放電燈所發出的光來照明目標照明區域。該系統包括：聚光鏡，其會聚從放電燈所發出的光；光學積分器，其具有多邊形的截面形狀，且被佈置在從聚光鏡到目標照明區域的光程上；成像光學系統，其相對於作為物面的光學積分器的出射端面在目標照明區域上形成圖像；以及電源纜線，其越過從聚光鏡指向光學積分器的光程而連接到放電燈的電極。纜線被佈置為使得纜線的陰影既不平行也不垂直於於光學積分器的入射表面的多邊形的每一邊。
简体摘要：本发明提供了一种照明光学系统，其借由使用从放电灯所发出的光来照明目标照明区域。该系统包括：聚光镜，其会聚从放电灯所发出的光；光学积分器，其具有多边形的截面形状，且被布置在从聚光镜到目标照明区域的光程上；成像光学系统，其相对于作为物面的光学积分器的出射端面在目标照明区域上形成图像；以及电源缆线，其越过从聚光镜指向光学积分器的光程而连接到放电灯的电极。缆线被布置为使得缆线的阴影既不平行也不垂直于于光学积分器的入射表面的多边形的每一边。

3. 发明专利

TWI645261B 照明光學系統、光刻裝置及物品製造方法有权
简体标题：照明光学系统、光刻设备及物品制造方法
公开(公告)号：TWI645261B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：TW106129100
申请日：2017-08-28
申请人：日商佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：須田広美 , SUDA, HIROMI
IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/00 , G02B19/00

4. 发明专利

TW201820045A 照明光學系統、光刻裝置及物品製造方法审中-公开
简体标题：照明光学系统、光刻设备及物品制造方法
公开(公告)号：TW201820045A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106129100
申请日：2017-08-28
申请人：日商佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：須田広美 , SUDA, HIROMI
IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/00 , G02B19/00
摘要：提供利用來自光源的光而照射於被照明面的照明光學系統。照明光學系統，係具有：配置於光源與被照明面之間的光學積分器、具有就入射於光學積分器的光的強度進行調整的調整部的濾光器。光學積分器，係將所入射的光以內面予以反射的桿型光學積分器。照明光學系統，係透過就與照明光學系的光軸垂直的方向上的調整部的位置進行變更從而變更被照明面上的照度。
简体摘要：提供利用来自光源的光而照射于被照明面的照明光学系统。照明光学系统，系具有：配置于光源与被照明面之间的光学积分器、具有就入射于光学积分器的光的强度进行调整的调整部的滤光器。光学积分器，系将所入射的光以内面予以反射的杆型光学积分器。照明光学系统，系透过就与照明光学系的光轴垂直的方向上的调整部的位置进行变更从而变更被照明面上的照度。

5. 发明专利

TWI588621B 照明光學裝置、曝光設備以及製造物品的方法有权
简体标题：照明光学设备、曝光设备以及制造物品的方法
公开(公告)号：TWI588621B
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：TW104127332
申请日：2015-08-21
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：須田広美 , SUDA, HIROMI
IPC分类号： G03F7/20 , G02B27/09 , G02B19/00 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70075

6. 发明专利

TW201612653A 照明光學裝置、曝光設備以及製造物品的方法审中-公开
简体标题：照明光学设备、曝光设备以及制造物品的方法
公开(公告)号：TW201612653A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW104127332
申请日：2015-08-21
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：須田広美 , SUDA, HIROMI
IPC分类号： G03F7/20 , G02B27/09 , G02B19/00 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70075
摘要：照明光學裝置使用來自光源的光來照明待照明面R。照明光學裝置包括：光學積分器，其配置成藉由使從入射端面入射的光在內側面反射多次來使光學強度分佈在出射端面上是均勻的；以及光通量形成單元，其配置成將來自其中聚光鏡以相對於光軸的第一角度會聚來自光源的光的焦點位置的光通量轉換成將以相對於光軸的大於第一角度θ1的第二角度θ2入射到光學積分器的入射端面上的光通量，光軸從光源被導向待照明面。待照明面R被以來自光學積分器的光照明。
简体摘要：照明光学设备使用来自光源的光来照明待照明面R。照明光学设备包括：光学积分器，其配置成借由使从入射端面入射的光在内侧面反射多次来使光学强度分布在出射端面上是均匀的；以及光通量形成单元，其配置成将来自其中聚光镜以相对于光轴的第一角度会聚来自光源的光的焦点位置的光通量转换成将以相对于光轴的大于第一角度θ1的第二角度θ2入射到光学积分器的入射端面上的光通量，光轴从光源被导向待照明面。待照明面R被以来自光学积分器的光照明。

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