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    • 5. 发明专利
    • 圖案形成方法、電子器件的製造方法及抗蝕劑組成物
    • 图案形成方法、电子器件的制造方法及抗蚀剂组成物
    • TW201708271A
    • 2017-03-01
    • TW105121834
    • 2016-07-12
    • 富士軟片股份有限公司FUJIFILM CORPORATION
    • 金子明弘KANEKO, AKIHIRO土村智孝TSUCHIMURA, TOMOTAKA山本慶YAMAMOTO, KEI
    • C08F22/40G03F7/038H01L21/027
    • G03F7/038G03F7/039G03F7/32
    • 本發明提供一種形成極微細的圖案時靈敏度較高且解析力較高的圖案形成方法、電子器件的製造方法及抗蝕劑組成物。圖案形成方法具有如下製程:製程(1),使用感光化射線性或感放射線性樹脂組成物形成膜,前述感光化射線性或感放射線性樹脂組成物含有:(A)含有說明書中的通式(1)所表示且ClogP值為2.2以下的重複單元,並且藉由酸的作用而對含有有機溶劑之顯影液之溶解度減少之樹脂;(B)藉由光化射線或放射線的照射產生酸之化合物;及(C)溶劑;製程(2),使用光化射線或放射線對上述膜進行曝光;及製程(3),使用含有有機溶劑之顯影液,對在上述製程(2)中進行了曝光之膜進行顯影而形成負型圖案。
    • 本发明提供一种形成极微细的图案时灵敏度较高且解析力较高的图案形成方法、电子器件的制造方法及抗蚀剂组成物。图案形成方法具有如下制程:制程(1),使用感光化射线性或感放射线性树脂组成物形成膜,前述感光化射线性或感放射线性树脂组成物含有:(A)含有说明书中的通式(1)所表示且ClogP值为2.2以下的重复单元,并且借由酸的作用而对含有有机溶剂之显影液之溶解度减少之树脂;(B)借由光化射线或放射线的照射产生酸之化合物;及(C)溶剂;制程(2),使用光化射线或放射线对上述膜进行曝光;及制程(3),使用含有有机溶剂之显影液,对在上述制程(2)中进行了曝光之膜进行显影而形成负型图案。