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    • 5. 发明专利
    • 多層脆性材料基板的製作方法及製作系統
    • 多层脆性材料基板的制作方法及制作系统
    • TW201919882A
    • 2019-06-01
    • TW107116252
    • 2018-05-14
    • 日商三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 山本幸司YAMAMOTO, KOJI
    • B32B17/00B32B7/12C03B33/02B23K26/53B23K26/60
    • 製作一種最下部及最上部之厚度比中間部之厚度小之多層脆性材料基板。該方法及系統具備:對如下之母基板,即,具有分別由與構成多層基板中之最下部、最上部及中間部之脆性材料相同之脆性材料而構成的、厚度比多層基板之最下部之目標厚度大之最下部、厚度比多層基板之最上部之目標厚度大之最上部、以及厚度與多層基板之中間部之目標厚度相同之中間部,且平面尺寸大於多層基板之母基板,照射雷射光,以於預先決定之分斷預定位置上,形成至少橫越中間部且於最下部及最上部突出之改質區域之步驟(手段);進行蝕刻,以使該母基板之最下部及最上部之厚度成為分別與多層基板中之最下部及最上部之目標厚度相等之步驟(手段);以及將蝕刻後之母基板沿著殘存於中間部之改質區域分斷之步驟(手段)。
    • 制作一种最下部及最上部之厚度比中间部之厚度小之多层脆性材料基板。该方法及系统具备:对如下之母基板,即,具有分别由与构成多层基板中之最下部、最上部及中间部之脆性材料相同之脆性材料而构成的、厚度比多层基板之最下部之目标厚度大之最下部、厚度比多层基板之最上部之目标厚度大之最上部、以及厚度与多层基板之中间部之目标厚度相同之中间部,且平面尺寸大于多层基板之母基板,照射激光光,以于预先决定之分断预定位置上,形成至少横越中间部且于最下部及最上部突出之改质区域之步骤(手段);进行蚀刻,以使该母基板之最下部及最上部之厚度成为分别与多层基板中之最下部及最上部之目标厚度相等之步骤(手段);以及将蚀刻后之母基板沿着残存于中间部之改质区域分断之步骤(手段)。