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    • 5. 发明专利
    • 電漿頭結構及具有該電漿頭結構之電漿放電裝置 PLASMA HEAD AND PLASMA-DISCHARGING DEVICE USING THE SAME
    • 等离子头结构及具有该等离子头结构之等离子放电设备 PLASMA HEAD AND PLASMA-DISCHARGING DEVICE USING THE SAME
    • TWI352368B
    • 2011-11-11
    • TW096135262
    • 2007-09-21
    • 財團法人工業技術研究院
    • 蔡陳德陳志瑋張加強許文通楊德輝
    • H01J
    • H05H1/28H05H1/34H05H2001/3468
    • 一種電漿頭結構及具有該電漿頭結構之電漿放電裝置,該電漿放電裝置包含一具有兩電極端之電源供應器;該電漿頭結構包括一外電極、一內電極及一導流結構:該外電極及內電極分別連接電源供應器之兩電極端,該外電極具有一腔室,該內電極設置於該腔室內;該導流結構係設置於該內電極內,其具有至少一輸入端及至少一輸出端,該輸入端係可輸入工作流體,該輸出端係連通外電極之腔室;由導流結構導引工作流體進入內電極內部,再將工作流體輸出至外電極之腔室;藉由該工作流體對內電極進行冷卻作用,可有效降低內電極溫度、避免內電極損耗,增加內電極使用壽命及避免金屬離子剝離所造成的污染。
    • 一种等离子头结构及具有该等离子头结构之等离子放电设备,该等离子放电设备包含一具有两电极端之电源供应器;该等离子头结构包括一外电极、一内电极及一导流结构:该外电极及内电极分别连接电源供应器之两电极端,该外电极具有一腔室,该内电极设置于该腔室内;该导流结构系设置于该内电极内,其具有至少一输入端及至少一输出端,该输入端系可输入工作流体,该输出端系连通外电极之腔室;由导流结构导引工作流体进入内电极内部,再将工作流体输出至外电极之腔室;借由该工作流体对内电极进行冷却作用,可有效降低内电极温度、避免内电极损耗,增加内电极使用寿命及避免金属离子剥离所造成的污染。
    • 7. 发明专利
    • 電漿源及半導體加工裝置
    • 等离子源及半导体加工设备
    • TW201806022A
    • 2018-02-16
    • TW105139032
    • 2016-11-28
    • 北京北方華創微電子裝備有限公司
    • 孫寶林
    • H01L21/3065
    • H01L21/67H05H1/28
    • 本發明提供一種電漿源及半導體加工裝置。該電漿源包括介電質襯筒、環繞在該介電質襯筒周圍的線圈以及罩設在該線圈周圍的線圈盒,其中,在該線圈盒的側壁的底部區域設置有第一進氣口,用以向該線圈盒內輸送冷卻氣體;在該線圈盒的頂壁上設置有第一出氣口,用以排出該線圈盒內的冷卻氣體。本發明提供的電漿源,其可以降低熱對流的阻力,提高熱對流的速度,從而可以提高裝置的散熱能力。
    • 本发明提供一种等离子源及半导体加工设备。该等离子源包括介电质衬筒、环绕在该介电质衬筒周围的线圈以及罩设在该线圈周围的线圈盒,其中,在该线圈盒的侧壁的底部区域设置有第一进气口,用以向该线圈盒内输送冷却气体;在该线圈盒的顶壁上设置有第一出气口,用以排出该线圈盒内的冷却气体。本发明提供的等离子源,其可以降低热对流的阻力,提高热对流的速度,从而可以提高设备的散热能力。
    • 10. 发明专利
    • 電漿槍
    • 等离子枪
    • TW225085B
    • 1994-06-11
    • TW082106716
    • 1993-08-20
    • 電漿技術股份有限公司
    • 麥可斯戴爾提可
    • H05H
    • H05H1/42H05H1/28H05H1/34
    • 本發明之電漿槍特別適於對窄小的洞穴孔洞及孔道等之內壁進行塗層。此電漿槍基本上包括電漿槍頭部構件、電漿槍桿構件及連接構件。此三單元設計成可由電漿槍操作人員迅速且輕易更換之可換模組。電漿槍頭部僅藉兩支螺絲釘固定於電漿槍桿構件,同時,連接構件僅藉三支螺絲釘固定於電漿槍桿構件上。所有供給電漿槍操作所需之介質及電能之孔道、導體及導管皆延伸於電漿槍桿組合之內。
    • 本发明之等离子枪特别适于对窄小的洞穴孔洞及孔道等之内壁进行涂层。此等离子枪基本上包括等离子枪头部构件、等离子枪杆构件及连接构件。此三单元设计成可由等离子枪操作人员迅速且轻易更换之可换模块。等离子枪头部仅藉两支螺丝钉固定于等离子枪杆构件,同时,连接构件仅藉三支螺丝钉固定于等离子枪杆构件上。所有供给等离子枪操作所需之介质及电能之孔道、导体及导管皆延伸于等离子枪杆组合之内。