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    • 3. 发明专利
    • 紫外線雷射裝置
    • 紫外线激光设备
    • TW201208220A
    • 2012-02-16
    • TW100121351
    • 2011-06-17
    • 尼康股份有限公司
    • 德久章
    • H01S
    • H01S3/067H01S3/0092H01S3/06716H01S3/06754H01S3/0677H01S3/109H01S3/1095H01S3/1601H01S3/1616H01S3/1618H01S3/2308H01S3/2391
    • 一種紫外線雷射裝置,其包括:雷射光輸出部,包含輸出第1-3紅外線雷射光之摻鐿光纖光放大器、摻銩光纖光放大器、及摻鐿光纖光放大器或摻鉺光纖光放大器;以及波長轉換部,包含第1-3紅外線雷射光傳播並分別輸出第1-3雷射光之第1-3光學系列、及第1-3雷射光經合波後傳播之第4光學系列。第1光學系列將第1紅外線雷射光波長轉換成既定之諧波而作為第1雷射光產生,第4光學系列包含藉由既定之諧波與第2雷射光之和頻產生而使前段紫外線雷射光產生的第1波長轉換光學元件、及藉由前段紫外線雷射光與第3雷射光之和頻產生而使紫外線雷射光產生的第2波長轉換光學元件。
    • 一种紫外线激光设备,其包括:激光光输出部,包含输出第1-3红外线激光光之掺镱光纤光放大器、掺铥光纤光放大器、及掺镱光纤光放大器或掺铒光纤光放大器;以及波长转换部,包含第1-3红外线激光光传播并分别输出第1-3激光光之第1-3光学系列、及第1-3激光光经合波后传播之第4光学系列。第1光学系列将第1红外线激光光波长转换成既定之谐波而作为第1激光光产生,第4光学系列包含借由既定之谐波与第2激光光之和频产生而使前段紫外线激光光产生的第1波长转换光学组件、及借由前段紫外线激光光与第3激光光之和频产生而使紫外线激光光产生的第2波长转换光学组件。