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1. 发明专利

TW201208220A 紫外線雷射裝置审中-公开
简体标题：紫外线激光设备
公开(公告)号：TW201208220A
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：TW100121351
申请日：2011-06-17
申请人：尼康股份有限公司
发明人：德久章
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/067 , H01S3/0092 , H01S3/06716 , H01S3/06754 , H01S3/0677 , H01S3/109 , H01S3/1095 , H01S3/1601 , H01S3/1616 , H01S3/1618 , H01S3/2308 , H01S3/2391
摘要：一種紫外線雷射裝置,其包括:雷射光輸出部,包含輸出第1-3紅外線雷射光之摻鐿光纖光放大器、摻銩光纖光放大器、及摻鐿光纖光放大器或摻鉺光纖光放大器;以及波長轉換部,包含第1-3紅外線雷射光傳播並分別輸出第1-3雷射光之第1-3光學系列、及第1-3雷射光經合波後傳播之第4光學系列。第1光學系列將第1紅外線雷射光波長轉換成既定之諧波而作為第1雷射光產生,第4光學系列包含藉由既定之諧波與第2雷射光之和頻產生而使前段紫外線雷射光產生的第1波長轉換光學元件、及藉由前段紫外線雷射光與第3雷射光之和頻產生而使紫外線雷射光產生的第2波長轉換光學元件。
简体摘要：一种紫外线激光设备,其包括:激光光输出部,包含输出第1-3红外线激光光之掺镱光纤光放大器、掺铥光纤光放大器、及掺镱光纤光放大器或掺铒光纤光放大器;以及波长转换部,包含第1-3红外线激光光传播并分别输出第1-3激光光之第1-3光学系列、及第1-3激光光经合波后传播之第4光学系列。第1光学系列将第1红外线激光光波长转换成既定之谐波而作为第1激光光产生,第4光学系列包含借由既定之谐波与第2激光光之和频产生而使前段紫外线激光光产生的第1波长转换光学组件、及借由前段紫外线激光光与第3激光光之和频产生而使紫外线激光光产生的第2波长转换光学组件。

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