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1. 发明专利

TW201809840A 脈衝光生成裝置、脈衝光生成方法、具備脈衝光生成裝置之曝光裝置及檢查裝置审中-公开
简体标题：脉冲光生成设备、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成设备之曝光设备及检查设备
公开(公告)号：TW201809840A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106117308
申请日：2017-05-25
申请人：日商尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：德久章 , TOKUHISA, AKIRA
IPC分类号： G02F1/1365 , G02F1/37 , H01S3/067
CPC分类号： G02F1/365 , G02F1/37 , H01S3/00 , H01S3/067
摘要：本發明之課題在於獲得一種抑制了波長光譜之擴大並被放大之大強度之脈衝光。本發明之脈衝光生成裝置構成為具備：第1光纖，其使第1脈衝光與當上述第1脈衝光之強度增加時強度減少且當上述第1脈衝光之強度減少時強度增加之第2脈衝光合波後入射並於內部傳播；及第2光纖，其接收從上述第1光纖出射之上述第1脈衝光並使其於內部傳播並放大；於上述第1光纖中藉由來自上述第2脈衝光之交叉相位調變而使上述第1脈衝光產生相位調變，於上述第2光纖中上述第1脈衝光所產生之自相位調變藉由上述第1光纖中產生之相位調變而被抵消。
简体摘要：本发明之课题在于获得一种抑制了波长光谱之扩大并被放大之大强度之脉冲光。本发明之脉冲光生成设备构成为具备：第1光纤，其使第1脉冲光与当上述第1脉冲光之强度增加时强度减少且当上述第1脉冲光之强度减少时强度增加之第2脉冲光合波后入射并于内部传播；及第2光纤，其接收从上述第1光纤出射之上述第1脉冲光并使其于内部传播并放大；于上述第1光纤中借由来自上述第2脉冲光之交叉相位调制而使上述第1脉冲光产生相位调制，于上述第2光纤中上述第1脉冲光所产生之自相位调制借由上述第1光纤中产生之相位调制而被抵消。

2. 发明专利

TW201607188A 光纖冷卻裝置及雷射振盪器审中-公开
简体标题：光纤冷却设备及激光振荡器
公开(公告)号：TW201607188A
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：TW104123209
申请日：2015-07-17
申请人：三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：村上政直 , MURAKAMI, MASANAO , 雪法克里斯欽 , SCHAEFER, CHRISTIAN
IPC分类号： H01S3/042 , H01S3/083
CPC分类号： H01S3/0405 , G02B6/4269 , G02B6/46 , G02B7/20 , H01S3/0407 , H01S3/042 , H01S3/067 , H01S3/06704 , H01S5/146
摘要：可調整光纖之前端位置，且可高效率地冷卻光纖整體。此冷卻裝置，具備冷卻底板7、光纖保持具21、調整構件22。冷卻底板7，具有收容凹部17。光纖保持具21，往第1方向移動自如地配置在收容凹部17。光纖保持具21，在表面保持光纖6之前端部，且調整光纖6在第1方向之前端位置。調整構件22，配置在光纖保持具21與收容凹部17之端面17b間之間隙，且在表面載置光纖6，可藉由往與第1方向交叉之第2方向移動而往第1方向移動。調整構件22，抵接於收容凹部17之端面17b及光纖保持具21之端面21b之兩者。
简体摘要：可调整光纤之前端位置，且可高效率地冷却光纤整体。此冷却设备，具备冷却底板7、光纤保持具21、调整构件22。冷却底板7，具有收容凹部17。光纤保持具21，往第1方向移动自如地配置在收容凹部17。光纤保持具21，在表面保持光纤6之前端部，且调整光纤6在第1方向之前端位置。调整构件22，配置在光纤保持具21与收容凹部17之端面17b间之间隙，且在表面载置光纤6，可借由往与第1方向交叉之第2方向移动而往第1方向移动。调整构件22，抵接于收容凹部17之端面17b及光纤保持具21之端面21b之两者。

3. 发明专利

TWI407654B 波長或脈衝寬度可調式光纖鎖模雷射有权
简体标题：波长或脉冲宽度可调式光纤锁模激光
公开(公告)号：TWI407654B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW098105712
申请日：2009-02-23
申请人：國立聯合大學 , NATIONAL UNITED UNIVERSITY
发明人：陳南光 , CHEN, NAN KUANG , 林雋文 , LIN, JIM WEIN , 賴暎杰 , LAI, YINCHIEH , 祁甡 , CHI, SIEN , 洪境祥 , HORNG, JING SHYANG , 韓建遠 , HAN, CHIEN YUAN , 楊希文 , YANG, HIS WEN
IPC分类号： H01S5/065
CPC分类号： H01S3/067 , H01S3/06712 , H01S3/06725 , H01S3/06791 , H01S3/1112

4. 发明专利

TW201037928A 全光纖式飽和吸收Ｑ－切換雷射及飽和吸收Ｑ－切換脈衝雷射產生方法 ALL-FIBER SATURABLE ABSORBER Q-SWITCHED LASER AND METHOD FOR PRODUCING SATURABLE ABSORBER Q-SWITCHED PULSE 审中-公开
简体标题：全光纤式饱和吸收Ｑ－切换激光及饱和吸收Ｑ－切换脉冲激光产生方法 ALL-FIBER SATURABLE ABSORBER Q-SWITCHED LASER AND METHOD FOR PRODUCING SATURABLE ABSORBER Q-SWITCHED PULSE
公开(公告)号：TW201037928A
公开(公告)日：2010-10-16
申请号：TW098112271
申请日：2009-04-14
申请人：國立成功大學
发明人：蔡宗祐
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/067 , H01S3/0675 , H01S3/06791 , H01S3/08027 , H01S3/1115
摘要：本發明提供一種全光纖式飽和吸收Q-切換雷射及一種飽和吸收Q-切換脈衝雷射產生方法，其於一全光纖式環型雷射內設計一光強度強化區域，並置入一飽和吸收光纖於其中，以產生或強化飽和吸收Q-切換脈衝雷射。本發明結構簡單、成本低，可應用於各種不同的雷射材質。
简体摘要：本发明提供一种全光纤式饱和吸收Q-切换激光及一种饱和吸收Q-切换脉冲激光产生方法，其于一全光纤式环型激光内设计一光强度强化区域，并置入一饱和吸收光纤于其中，以产生或强化饱和吸收Q-切换脉冲激光。本发明结构简单、成本低，可应用于各种不同的激光材质。

5. 发明专利

TW448314B 可選擇波長光纖雷射系統失效
简体标题：可选择波长光纤激光系统
公开(公告)号：TW448314B
公开(公告)日：2001-08-01
申请号：TW089113457
申请日：2000-07-04
申请人：康寧公司
发明人：沾康雷迪
IPC分类号： G02B
CPC分类号： H01S3/067 , H01S3/08086 , H01S3/094061 , H01S3/09408 , H01S3/2383 , H01S3/2391
摘要：一種光纖雷射系統,其製造成包含多個光纖雷射,當利用泵運波長光線進行光學泵運時將發射各別不同波長。泵運雷射發射泵運光線以及泵運一個或多個光纖雷射。光纖雷射輸出再合併至傳送光纖上,其優先地使用於波長區分多工(WDM)通訊系統。在一組實施例中，光學切換器切換泵運光線只到達一個光纖雷射上。第二切換器受到第一切換器或被動性合併器控制,優先地為波長區分多工器,其導引雷射光纖輸出到達光學輸出路徑。在另外一個實施例中,一個泵運雷射同時地泵運所有光纖雷射。一個或多個泵運雷射能夠平行地放置,以及其輸出加以合併。平行泵運雷射可各別地激化以多重地或同時地操作以得到較高功率。
简体摘要：一种光纤激光系统,其制造成包含多个光纤激光,当利用泵运波长光线进行光学泵运时将发射各别不同波长。泵运激光发射泵运光线以及泵运一个或多个光纤激光。光纤激光输出再合并至发送光纤上,其优先地使用于波长区分多任务(WDM)通信系统。在一组实施例中，光学切换器切换泵运光线只到达一个光纤激光上。第二切换器受到第一切换器或被动性合并器控制,优先地为波长区分多任务器,其导引激光光纤输出到达光学输出路径。在另外一个实施例中,一个泵运激光同时地泵运所有光纤激光。一个或多个泵运激光能够平行地放置,以及其输出加以合并。平行泵运激光可各别地激化以多重地或同时地操作以得到较高功率。

6. 发明专利

TW201448384A １９３奈米雷射及檢測系統审中-公开
简体标题：１９３奈米激光及检测系统
公开(公告)号：TW201448384A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103102817
申请日：2014-01-24
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：莊勇何 , CHUANG, YUNG-HO , 阿姆斯壯 J 喬瑟夫 , ARMSTRONG, J. JOSEPH , 杜立賓斯基維拉得摩 , DRIBINSKI, VLADIMIR , 鄧宇俊 , DENG, YUJUN , 費爾登約翰 , FIELDEN, JOHN
IPC分类号： H01S3/00 , G01N21/84
CPC分类号： H01S3/1083 , G01N21/84 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/95676 , G02F1/3534 , G02F1/3536 , G02F1/39 , G02F2001/3507 , G02F2201/16 , H01S3/0078 , H01S3/0092 , H01S3/0602 , H01S3/067
摘要：本發明揭示一種用於產生大致193.4奈米之一輸出波長之雷射，該雷射包含一基本波雷射、一光學參數產生器、一四次諧波產生器及一混頻模組。耦合至該基本波雷射之該光學參數產生器可產生一經降頻轉換信號。可耦合至該光學參數產生器或該基本波雷射之該四次諧波產生器可產生一四次諧波。耦合至該光學參數產生器及該四次諧波產生器之該混頻模組可產生處於等於該四次諧波與該經降頻轉換信號之一頻率之兩倍之一總和之一頻率的一雷射輸出。
简体摘要：本发明揭示一种用于产生大致193.4奈米之一输出波长之激光，该激光包含一基本波激光、一光学参数产生器、一四次谐波产生器及一混频模块。耦合至该基本波激光之该光学参数产生器可产生一经降频转换信号。可耦合至该光学参数产生器或该基本波激光之该四次谐波产生器可产生一四次谐波。耦合至该光学参数产生器及该四次谐波产生器之该混频模块可产生处于等于该四次谐波与该经降频转换信号之一频率之两倍之一总和之一频率的一激光输出。

7. 发明专利

TWI435126B 光致退火方法以及應用該方法之光纖裝置有权
简体标题：光致退火方法以及应用该方法之光纤设备
公开(公告)号：TWI435126B
公开(公告)日：2014-04-21
申请号：TW099142473
申请日：2010-12-06
申请人：財團法人國家實驗研究院 , NATIONAL APPLIED RESEARCH LABORATORIES
发明人：彭子軒 , PENG, TZ SHIUAN , 劉人仰 , LIU, REN YOUNG , 王倫 , WANG, LON
IPC分类号： G02B6/00
CPC分类号： H01S3/06754 , H01S3/067 , H01S3/094003 , H01S3/094023 , H01S3/1608

8. 发明专利

TW201228161A 鎖模雷射系統 MODE LOCKED FIBER LASER SYSTEM 审中-公开
简体标题：锁模激光系统 MODE LOCKED FIBER LASER SYSTEM
公开(公告)号：TW201228161A
公开(公告)日：2012-07-01
申请号：TW099144140
申请日：2010-12-16
申请人：財團法人工業技術研究院
发明人：黃健銘 , 林士廷 , 蘇信嘉 , 張耀文
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/1118 , H01S3/067 , H01S3/094011 , H01S3/094076 , H01S3/1022
摘要：一種鎖模雷射系統包含激發雷射泵浦、脈衝調變雷射泵浦及光學共振腔。激發雷射泵浦與脈衝調變雷射泵浦分別產生激發雷射光與脈衝調變雷射光。光學共振腔則包含增益介質、飽和吸收體、第一端及第二端。激發雷射光及脈衝調變雷射光被引入增益介質而產生增益雷射光,當增益雷射光引入飽和吸收體而產生超短脈衝雷射光。
简体摘要：一种锁模激光系统包含激发激光泵浦、脉冲调制激光泵浦及光学共振腔。激发激光泵浦与脉冲调制激光泵浦分别产生激发激光光与脉冲调制激光光。光学共振腔则包含增益介质、饱和吸收体、第一端及第二端。激发激光光及脉冲调制激光光被引入增益介质而产生增益激光光,当增益激光光引入饱和吸收体而产生超短脉冲激光光。

9. 发明专利

TW201208220A 紫外線雷射裝置审中-公开
简体标题：紫外线激光设备
公开(公告)号：TW201208220A
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：TW100121351
申请日：2011-06-17
申请人：尼康股份有限公司
发明人：德久章
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/067 , H01S3/0092 , H01S3/06716 , H01S3/06754 , H01S3/0677 , H01S3/109 , H01S3/1095 , H01S3/1601 , H01S3/1616 , H01S3/1618 , H01S3/2308 , H01S3/2391
摘要：一種紫外線雷射裝置,其包括:雷射光輸出部,包含輸出第1-3紅外線雷射光之摻鐿光纖光放大器、摻銩光纖光放大器、及摻鐿光纖光放大器或摻鉺光纖光放大器;以及波長轉換部,包含第1-3紅外線雷射光傳播並分別輸出第1-3雷射光之第1-3光學系列、及第1-3雷射光經合波後傳播之第4光學系列。第1光學系列將第1紅外線雷射光波長轉換成既定之諧波而作為第1雷射光產生,第4光學系列包含藉由既定之諧波與第2雷射光之和頻產生而使前段紫外線雷射光產生的第1波長轉換光學元件、及藉由前段紫外線雷射光與第3雷射光之和頻產生而使紫外線雷射光產生的第2波長轉換光學元件。
简体摘要：一种紫外线激光设备,其包括:激光光输出部,包含输出第1-3红外线激光光之掺镱光纤光放大器、掺铥光纤光放大器、及掺镱光纤光放大器或掺铒光纤光放大器;以及波长转换部,包含第1-3红外线激光光传播并分别输出第1-3激光光之第1-3光学系列、及第1-3激光光经合波后传播之第4光学系列。第1光学系列将第1红外线激光光波长转换成既定之谐波而作为第1激光光产生,第4光学系列包含借由既定之谐波与第2激光光之和频产生而使前段紫外线激光光产生的第1波长转换光学组件、及借由前段紫外线激光光与第3激光光之和频产生而使紫外线激光光产生的第2波长转换光学组件。

10. 发明专利

TW512560B 玻璃陶瓷光纖雷射以及放大器失效
简体标题：玻璃陶瓷光纤激光以及放大器
公开(公告)号：TW512560B
公开(公告)日：2002-12-01
申请号：TW090111012
申请日：2001-05-06
申请人：康寧公司
发明人：尼可法西包銳里 , 布希尼生席恩 , 保羅亞色狄克
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/06708 , H01S3/067 , H01S3/06754 , H01S3/094011 , H01S3/1603 , H01S3/1608 , H01S3/163 , H01S3/17
摘要：摻雜稀土族元素之玻璃陶瓷光纖包含多種晶體，其中至少90%稀土族摻雜劑位於該晶體內。摻雜稀土族元素玻璃陶瓷光纖的吸收線形狀以及受激發射比前身產物之摻雜稀土族玻璃的吸收線形狀以及受激發射為狹窄。與玻璃光纖比較，此表示玻璃陶瓷光纖不均勻擴寬之減小。光學放大器實施例包含：輸入端埠；一段摻雜稀土族元素之玻璃陶瓷光纖，玻璃陶瓷光纖有效地耦合至輸入端埠以及包含多種晶體；至少一個光學泵耦合至玻璃陶瓷光纖；提供放大光學訊號之輸出端埠；以及至少一個光學元件位於輸入端埠與輸出端埠之間。
简体摘要：掺杂稀土族元素之玻璃陶瓷光纤包含多种晶体，其中至少90%稀土族掺杂剂位于该晶体内。掺杂稀土族元素玻璃陶瓷光纤的吸收线形状以及受激发射比前身产物之掺杂稀土族玻璃的吸收线形状以及受激发射为狭窄。与玻璃光纤比较，此表示玻璃陶瓷光纤不均匀扩宽之减小。光学放大器实施例包含：输入端端口；一段掺杂稀土族元素之玻璃陶瓷光纤，玻璃陶瓷光纤有效地耦合至输入端端口以及包含多种晶体；至少一个光学泵耦合至玻璃陶瓷光纤；提供放大光学信号之输出端端口；以及至少一个光学组件位于输入端端口与输出端端口之间。

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