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    • 2. 发明专利
    • 多晶矽-絕緣體-多晶矽電容之製造方法 METHOD FOR FABRICATING PIP CAPACITOR
    • 多晶硅-绝缘体-多晶硅电容之制造方法 METHOD FOR FABRICATING PIP CAPACITOR
    • TW201027624A
    • 2010-07-16
    • TW098142617
    • 2009-12-11
    • 東部高科股份有限公司
    • 李鍾昊
    • H01L
    • H01L27/0629H01L27/0682H01L28/20H01L28/40
    • 一種多晶矽-絕緣體-多晶矽電容之製造方法。此種多晶矽-絕緣體-多晶矽電容之製造方法包含:形成一場氧化膜於一矽基板之上用以定義一裝置絕緣區及一活性區之步驟,形成具有摻雜雜質的一底多晶矽電極於場氧化膜之上之步驟,一閘極氧化步驟,其係為執行一氧化步驟用以在摻雜有雜質的底多晶矽電極之一頂側及側壁形成一第一氧化膜,並且同時在矽基板之活性區之上形成一第二氧化膜,以及形成一頂多晶矽電極於第一氧化膜之一區域之上,並且同時,形成一閘極於第二氧化膜之上之步驟。
    • 一种多晶硅-绝缘体-多晶硅电容之制造方法。此种多晶硅-绝缘体-多晶硅电容之制造方法包含:形成一场氧化膜于一硅基板之上用以定义一设备绝缘区及一活性区之步骤,形成具有掺杂杂质的一底多晶硅电极于场氧化膜之上之步骤,一闸极氧化步骤,其系为运行一氧化步骤用以在掺杂有杂质的底多晶硅电极之一顶侧及侧壁形成一第一氧化膜,并且同时在硅基板之活性区之上形成一第二氧化膜,以及形成一顶多晶硅电极于第一氧化膜之一区域之上,并且同时,形成一闸极于第二氧化膜之上之步骤。
    • 3. 发明专利
    • 金氧半導體元件電阻器和電容器下電極之製造方法
    • 金属氧化物半导体组件电阻器和电容器下电极之制造方法
    • TW371353B
    • 1999-10-01
    • TW087112420
    • 1998-07-29
    • 聯華電子股份有限公司
    • 黃國良黃怡和
    • H01L
    • H01L27/0682H01L28/20H01L28/40
    • 一種金氧半導體元件電阻器和電容器下電極之製造方法。首先,提供具有絕緣結構和主動區域的半導體基底,半導體基底中已形成P井和N井,且在主動區域上已形成氮化矽層。其次,在半導體基底上,形成多晶矽層。接著,再多晶矽層上形成一氧化層並進行摻雜,首先摻雜第一雜質到多晶矽層中。然後,摻雜第二雜質到部分多晶矽層中,第二雜質的摻雜濃度較第一雜質摻雜濃度為高。之後,去除部分多晶矽層,至少暴露出全部氮化矽層。殘留在絕緣結構上的多晶矽層,其中摻雜第二雜質的部分,用以做為電阻器;其中僅摻雜第一雜質的部分,用以做為電容器下電極。
    • 一种金属氧化物半导体组件电阻器和电容器下电极之制造方法。首先,提供具有绝缘结构和主动区域的半导体基底,半导体基底中已形成P井和N井,且在主动区域上已形成氮化硅层。其次,在半导体基底上,形成多晶硅层。接着,再多晶硅层上形成一氧化层并进行掺杂,首先掺杂第一杂质到多晶硅层中。然后,掺杂第二杂质到部分多晶硅层中,第二杂质的掺杂浓度较第一杂质掺杂浓度为高。之后,去除部分多晶硅层,至少暴露出全部氮化硅层。残留在绝缘结构上的多晶硅层,其中掺杂第二杂质的部分,用以做为电阻器;其中仅掺杂第一杂质的部分,用以做为电容器下电极。