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    • 5. 发明专利
    • 製造矽雙極功率高頻電晶體之方法及功率電晶體裝置
    • 制造硅双极功率高频晶体管之方法及功率晶体管设备
    • TW461109B
    • 2001-10-21
    • TW088108739
    • 1999-05-27
    • LM艾瑞克生電話公司
    • 泰德喬漢森
    • H01L
    • H01L23/647H01L2924/0002H01L2924/3011H01L2924/00
    • 揭示一種製造矽雙極功率高頻電晶體裝置之方法。本方法之電晶體裝置亦予揭示。此電晶體裝置可保證作業期間之維持適當之BVvCER情況以避免射極至集極崩潰。根據此方法,積體電阻器(20)係配置在半導體晶粒上之矽雙極電晶體(l)之至少一側,該半導體晶粒係構成矽雙極電晶體之基體。積體電阻器連接在矽雙極電晶體(l)之基極與射極端點之間。增加之積體電阻器(20)為一在半導體晶粒上之擴散p+電阻器,或在隔離層頂上之多晶矽或NiCr電阻器。在備有積體射極鎮流電阻器之指狀電晶體結構中,增加之電阻器或電阻器(20)之製造與生產鎮流電阻器係同時生產。
    • 揭示一种制造硅双极功率高频晶体管设备之方法。本方法之晶体管设备亦予揭示。此晶体管设备可保证作业期间之维持适当之BVvCER情况以避免射极至集极崩溃。根据此方法,积体电阻器(20)系配置在半导体晶粒上之硅双极晶体管(l)之至少一侧,该半导体晶粒系构成硅双极晶体管之基体。积体电阻器连接在硅双极晶体管(l)之基极与射极端点之间。增加之积体电阻器(20)为一在半导体晶粒上之扩散p+电阻器,或在隔离层顶上之多晶硅或NiCr电阻器。在备有积体射极镇流电阻器之指状晶体管结构中,增加之电阻器或电阻器(20)之制造与生产镇流电阻器系同时生产。