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1. 发明专利

TW505939B 電漿異常放電檢測裝置,其方法失效
简体标题：等离子异常放电检测设备,其方法
公开(公告)号：TW505939B
公开(公告)日：2002-10-11
申请号：TW090105981
申请日：2001-03-14
申请人：財團法人熊本科技產業財團 , 科學技術振興事業團
发明人：八三夫 , 竹下正吉
IPC分类号： H01J , H01L
CPC分类号： G01N29/38 , B01J19/088 , B01J19/10 , B01J2219/0894 , G01H1/00 , G01N29/0618 , G01N29/14 , G01N29/223 , G01N29/4436 , G01N29/4445 , G01N2291/011 , G01N2291/015 , G01N2291/0258 , G01N2291/105 , H01J37/32082 , H01J37/32935 , H01J37/34 , H01J2237/0206 , H05H1/0093
摘要：本發明有關於電漿異常放電檢測裝置，及其檢測方法，以及聲音發射感測器支持殼體。其要點乃，在於電漿處理裝置之生成電漿之處理室之構成構件配置複數個之超音波檢測機構，而以超音波檢測機構測定在於發生電漿之異常放電時所發生之超音波，而以同一時間軸地比較各自之超音波檢出機構之各感測器之輸出，求出超音波檢測機構之傳播時間之差及最大振幅幅度，而以這些為基礎地特定電漿處理中之異常放電之發生及其位置，一方面顯示於監視器同時放出警報。適當正確的檢測出電漿處理中所發生之電漿之異常放電，及其位置及能量之大小，而停止電漿處理裝置，由而防止不良製品之製作(混入)。將AE(聲音發射)感測器設置於下部蓋之規定位置，而將以上部蓋而於其上部內側而以彈性構件而以適當之壓力而將AE感測器壓接於下部蓋之耦合劑之接觸面壓接於支持殼體按著於電漿處理室。
简体摘要：本发明有关于等离子异常放电检测设备，及其检测方法，以及声音发射传感器支持壳体。其要点乃，在于等离子处理设备之生成等离子之处理室之构成构件配置复数个之超音波检测机构，而以超音波检测机构测定在于发生等离子之异常放电时所发生之超音波，而以同一时间轴地比较各自之超音波检出机构之各传感器之输出，求出超音波检测机构之传播时间之差及最大振幅幅度，而以这些为基础地特定等离子处理中之异常放电之发生及其位置，一方面显示于监视器同时放出警报。适当正确的检测出等离子处理中所发生之等离子之异常放电，及其位置及能量之大小，而停止等离子处理设备，由而防止不良制品之制作(混入)。将AE(声音发射)传感器设置于下部盖之规定位置，而将以上部盖而于其上部内侧而以弹性构件而以适当之压力而将AE传感器压接于下部盖之耦合剂之接触面压接于支持壳体按着于等离子处理室。

2. 发明专利

TW200703085A 區別接觸引發之平板振動與聲波噪音引發之平板振動之系統及方法 SYSTEMS AND METHODS FOR DISTINGUISHING CONTACT-INDUCED PLATE VIBRATIONS FROM ACOUSTIC NOISE-INDUCED PLATE VIBRATIONS 审中-公开
简体标题：区别接触引发之平板振动与声波噪音引发之平板振动之系统及方法 SYSTEMS AND METHODS FOR DISTINGUISHING CONTACT-INDUCED PLATE VIBRATIONS FROM ACOUSTIC NOISE-INDUCED PLATE VIBRATIONS
公开(公告)号：TW200703085A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW095117691
申请日：2006-05-18
申请人： 3M新設資產公司 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
发明人：達瑞艾斯馬汀蘇利凡 SULLIVAN, DARIUS MARTIN , 尼可拉斯派翠克羅藍希爾 HILL, NICHOLAS PATRICK ROLAND , 維拉迪米爾佩特拉維奇甘特查羅 GONTCHAROV, VLADIMIR PETROVICH , 羅傑葛雷漢吉爾 GEERE, ROGER GRAHAM
IPC分类号： G06F , G10L
CPC分类号： G06F3/0433 , G01N29/4445 , G01N29/46
摘要：本發明係針對在諸如振動感測觸摸面板之振動敏感裝置中區別聲波噪音與有效平板接觸之系統及方法。為了確定噪音的特徵屬性而可分析偵測之振動頻譜的能含量,例如,來自部分地歸因於高重合頻率優於低重合頻率之優先耦合之高頻率的一較高相對貢獻。
简体摘要：本发明系针对在诸如振动传感触摸皮肤之振动敏感设备中区别声波噪音与有效平板接触之系统及方法。为了确定噪音的特征属性而可分析侦测之振动频谱的能含量,例如,来自部分地归因于高重合频率优于低重合频率之优先耦合之高频率的一较高相对贡献。

3. 发明专利

TW511205B 測試材料之方法失效
简体标题：测试材料之方法
公开(公告)号：TW511205B
公开(公告)日：2002-11-21
申请号：TW090113214
申请日：2001-08-30
申请人：哈尼威爾國際公司
发明人：魯索 B 葛瑞 , 羅納得 H 費爾明
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N29/4445 , G01N29/11 , G01N29/265 , G01N29/30 , G01N2291/012 , G01N2291/015 , G01N2291/02854 , G01N2291/2632 , G01N2291/2698
摘要：本發明包括一種測試材料之方法，該材料為諸如濺射標的材料、用於電子應用之其它材料或其它一般需要材料整體均勻性之材料。該方法將至少穿越一部分材料而定出多數位置。音波能量相繼地照射穿越過該多數位置。偵測由音波能量引發之回聲。至少某些偵測的回聲與觸發偵測的回聲之多數位置的各別位置有關。處理與至少一種偵測的回聲之物理屬性相關的訊息以將偵測的回聲分類成材料中雜相的第一組象徵，及非為材料中雜相的第二組。再將第一組回聲分類成數群，而這些群定義為多數位置之毗連位置的回聲。一起分析及考量與一般群相關之個別的回聲以產生與材料中之雜相有關的訊息。
简体摘要：本发明包括一种测试材料之方法，该材料为诸如溅射标的材料、用于电子应用之其它材料或其它一般需要材料整体均匀性之材料。该方法将至少穿越一部分材料而定出多数码置。音波能量相继地照射穿越过该多数码置。侦测由音波能量引发之回声。至少某些侦测的回声与触发侦测的回声之多数码置的各别位置有关。处理与至少一种侦测的回声之物理属性相关的消息以将侦测的回声分类成材料中杂相的第一组象征，及非为材料中杂相的第二组。再将第一组回声分类成数群，而这些群定义为多数码置之毗连位置的回声。一起分析及考量与一般群相关之个别的回声以产生与材料中之杂相有关的消息。

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