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1. 发明专利

TWI614503B 利用掃描式電子顯微鏡之檢驗系統有权
简体标题：利用扫描式电子显微镜之检验系统
公开(公告)号：TWI614503B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW103110641
申请日：2014-03-21
申请人：三星顯示器有限公司 , SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：孔棟鉉 , GONG, DONG HYUN , 朴英吉 , PARK, YOUNG GIL , 李在權 , LEE, JAE-KWON , 金貞雲 , KIM, JUNG-UN , 鄭道淳 , JUNG, DO SOON , 金顯正 , KIM, HYUN JUNG , 金錦泰 , KIM, GEUM TAE
IPC分类号： G01N35/00 , G01N21/88 , G01N23/225
CPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G01N2021/9513 , G01N2223/418 , H01J37/28 , H01J2237/2605 , H01J2237/2811

2. 发明专利

TWI606233B 用於樣本之光譜成像之光學測量系統有权
简体标题：用于样本之光谱成像之光学测量系统
公开(公告)号：TWI606233B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：TW103138806
申请日：2014-11-07
申请人：耐諾股份有限公司 , NANOMETRICS INCORPORATED
发明人：巴克考斯基安德茲 , BUCZKOWSKI, ANDRZEJ
IPC分类号： G01N21/64
CPC分类号： G01N21/6489 , G01B11/0625 , G01N21/47 , G01N21/55 , G01N21/6456 , G01N21/88 , G01N21/9501 , G01N2021/4735 , G01N2021/646 , G01N2021/8822 , G01N2201/06113 , G01N2201/1042 , G01N2201/1053 , H04N3/155

3. 发明专利

TW201721266A 具有高品質、穩定輸出光束及長壽命高轉換效率之非線性晶體之雷射审中-公开
简体标题：具有高品质、稳定输出光束及长寿命高转换效率之非线性晶体之激光
公开(公告)号：TW201721266A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：TW106107276
申请日：2012-07-17
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：杜立賓斯基維拉得摩 , DRIBINSKI,VLADIMIR , 莊勇和艾力克斯 , CHUANG,YUNG-HO ALEX , 阿姆斯壯J 喬瑟夫 , ARMSTRONG,J. JOSEPH , 費爾登約翰 , FIELDEN,JOHN
IPC分类号： G02F1/35 , H01S3/098 , G01N21/88
CPC分类号： H01S5/0092 , C03B33/02 , C30B1/02 , C30B29/10 , C30B29/14 , C30B29/22 , C30B29/30 , C30B33/02 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2201/06113 , G01N2201/0637 , G01N2201/068 , G02F1/353 , G02F1/3551 , G02F1/3553 , G02F1/37 , G02F2001/3505 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , G02F2202/20 , H01S3/0092 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/11
摘要：本發明揭示一種可以低溫操作之鎖模雷射系統，其可包含一退火頻率轉換晶體及用以在該低溫標準操作期間維持該晶體之一退火條件之一外殼。在一實施例中，該晶體可具有一增加長度。第一光束塑形光學器件可經組態以將來自一光源之一光束聚焦至位於該晶體中或該晶體接近處之一光束腰處之一橢圓形橫截面。一諧波分離區塊可將來自該晶體之一輸出分成空間中被分離之不同頻率光束。在一實施例中，該鎖模雷射系統可進一步包含第二光束塑形光學器件，其經組態以將一橢圓形橫截面之所要頻率光束轉換成具有一所要縱橫比(諸如一圓形橫截面)之一光束。
简体摘要：本发明揭示一种可以低温操作之锁模激光系统，其可包含一退火频率转换晶体及用以在该低温标准操作期间维持该晶体之一退火条件之一外壳。在一实施例中，该晶体可具有一增加长度。第一光束塑形光学器件可经组态以将来自一光源之一光束聚焦至位于该晶体中或该晶体接近处之一光束腰处之一椭圆形横截面。一谐波分离区块可将来自该晶体之一输出分成空间中被分离之不同频率光束。在一实施例中，该锁模激光系统可进一步包含第二光束塑形光学器件，其经组态以将一椭圆形横截面之所要频率光束转换成具有一所要纵横比(诸如一圆形横截面)之一光束。

4. 发明专利

TW201710672A 缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法审中-公开
简体标题：缺陷检查设备及缺陷检查方法
公开(公告)号：TW201710672A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：TW105118368
申请日：2016-06-13
申请人：思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：宮廻秀彰 , MIYASAKO, HIDEAKI , 金澤浩生 , KANAZAWA, HIROKI
IPC分类号： G01N21/956 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/88 , G01N21/956
摘要：本發明之缺陷檢查裝置中，自射出部(3)射出雷射光，於基板(9)之主表面(91)上形成雷射光之光點。藉由光點移動機構(5)，使雷射光之光點在主表面(91)上面移動。於受光部(4)中，當雷射光之光點通過主表面(91)上之缺陷之位置時，接受來自光點之散射光，以取得該散射光之強度。於環境氣體調整部(6)中，至少將雷射光之光點附近之氧濃度或氧量降低為較周圍之空氣低。藉此，能抑制主表面(91)上之粉粒因雷射光之照射而生長之情況。
简体摘要：本发明之缺陷检查设备中，自射出部(3)射出激光光，于基板(9)之主表面(91)上形成激光光之光点。借由光点移动机构(5)，使激光光之光点在主表面(91)上面移动。于受光部(4)中，当激光光之光点通过主表面(91)上之缺陷之位置时，接受来自光点之散射光，以取得该散射光之强度。于环境气体调整部(6)中，至少将激光光之光点附近之氧浓度或氧量降低为较周围之空气低。借此，能抑制主表面(91)上之粉粒因激光光之照射而生长之情况。

5. 发明专利

TW201640098A 檢查方法及檢查裝置审中-公开
简体标题：检查方法及检查设备
公开(公告)号：TW201640098A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：TW105104173
申请日：2016-02-05
申请人：濱松赫德尼古斯股份有限公司 , HAMAMATSU PHOTONICS K. K.
发明人：中村共則 , NAKAMURA, TOMONORI , 大高章弘 , OTAKA, AKIHIRO
IPC分类号： G01N21/88 , G01N27/72
CPC分类号： G01R15/245 , G01N21/88 , G01R31/2656 , G01R31/311 , G02B27/62
摘要：本發明之檢查裝置具備：測試機單元，其對半導體元件施加刺激信號；MO結晶，其與半導體元件對向配置；光源，其輸出光；光掃描器，其將光源所輸出之光照射至MO結晶；光檢測器，其檢測自與半導體元件D對向配置之MO結晶反射之光，並輸出檢測信號；及電腦，其基於根據刺激信號產生之參照信號與檢測信號之相位差而產生包含示出相位差之相位成分的相位圖像資料，並根據該相位圖像資料產生示出電流之路徑之圖像。
简体摘要：本发明之检查设备具备：测试机单元，其对半导体组件施加刺激信号；MO结晶，其与半导体组件对向配置；光源，其输出光；光扫描仪，其将光源所输出之光照射至MO结晶；光检测器，其检测自与半导体组件D对向配置之MO结晶反射之光，并输出检测信号；及电脑，其基于根据刺激信号产生之参照信号与检测信号之相位差而产生包含示出相位差之相位成分的相位图像数据，并根据该相位图像数据产生示出电流之路径之图像。

6. 发明专利

TW201614221A 貼合缺陷部的檢出方法以及檢查系統审中-公开
简体标题：贴合缺陷部的检出方法以及检查系统
公开(公告)号：TW201614221A
公开(公告)日：2016-04-16
申请号：TW104129248
申请日：2015-09-03
申请人：信越半導體股份有限公司 , SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
发明人：原田敬 , HARADA, TAKASHI
IPC分类号： G01N21/88 , H01L21/66
CPC分类号： H01L22/12 , G01N21/88 , G01N21/9505 , G01N2021/8438 , G06T7/0004 , G06T2207/30152 , H01L21/681 , H01L21/6836 , H01L22/20 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L27/14636 , H01L33/00 , H01L2221/68327
摘要：本發明提供一種貼合缺陷部的檢出方法，係檢出一自化合物半導體晶圓單片化而成的化合物半導體晶片的貼合缺陷部的方法，該化合物半導體晶圓為自具有發光層化合物半導體所構成的第一透明基板與自化合物半導體所構成的第二透明基板貼合而成，其特徵在於：以同軸落射照明的光照射該化合物半導體晶片，辨識自該化合物半導體晶片的貼合缺陷部反射的光的顏色，檢出該貼合缺陷部。藉此能精確地檢出藉由將兩片自化合物半導體所構成的透明基板予以直接貼合而成的化合物半導體晶圓並進行單片化所形成的半導體晶片的貼合交界面的貼合缺陷部。
简体摘要：本发明提供一种贴合缺陷部的检出方法，系检出一自化合物半导体晶圆单片化而成的化合物半导体芯片的贴合缺陷部的方法，该化合物半导体晶圆为自具有发光层化合物半导体所构成的第一透明基板与自化合物半导体所构成的第二透明基板贴合而成，其特征在于：以同轴落射照明的光照射该化合物半导体芯片，辨识自该化合物半导体芯片的贴合缺陷部反射的光的颜色，检出该贴合缺陷部。借此能精确地检出借由将两片自化合物半导体所构成的透明基板予以直接贴合而成的化合物半导体晶圆并进行单片化所形成的半导体芯片的贴合交界面的贴合缺陷部。

7. 发明专利

TWI489099B 用於標記及檢測石墨烯層之缺陷的方法及系統有权
简体标题：用于标记及检测石墨烯层之缺陷的方法及系统
公开(公告)号：TWI489099B
公开(公告)日：2015-06-21
申请号：TW103113577
申请日：2014-04-14
申请人：英派爾科技開發有限公司 , EMPIRE TECHNOLOGY DEVELOPMENT LLC
发明人：亞格湯瑪士A , YAGER, THOMAS A. , 米勒賽思艾德里安 , MILLER, SETH ADRIAN
IPC分类号： G01N21/91
CPC分类号： G01N21/88 , C09K11/06 , C09K2211/1011 , G01N21/64 , G01N21/77 , G01N21/8422 , G01N21/91 , G01N2021/8433

8. 发明专利

TW201508258A 穀粒透視器审中-公开
简体标题：谷粒透视器
公开(公告)号：TW201508258A
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW103107498
申请日：2014-03-05
申请人：佐竹股份有限公司 , SATAKE CORPORATION
发明人：松島秀昭 , MATSUSHIMA, HIDEAKI , 石突裕樹 , ISHIZUKI, HIROKI , 池田學 , IKEDA, MANABU , 鄭軍 , ZHENG, JUN
IPC分类号： G01N1/28 , A01F12/44
CPC分类号： G01N21/01 , G01N21/85 , G01N21/88 , G01N2201/022 , G01N2201/062
摘要：本發明之目的係在於提供一種穀粒透視器，其不須旋轉樣品盤，即可檢測出所有因穀粒不同而方向互異之粒體龜裂。本發明係為一種穀粒透視器，其從斜下方使光入射至樣品盤之透明底面，其特徵為具備：一基部構件；一旋轉構件，可旋轉地配設於該基部構件內，於一側方具有光源，且設置反射板，將來自該光源之光往該樣品盤之底面反射；一蓋構件，安裝於該基部構件上，與該基部構件共同構成外框，具有位於該旋轉構件上方並接受該樣品盤之開口部，於該旋轉構件，設置用以旋轉操作該旋轉構件之操作部，且於該外框形成開口，使該操作部經由該開口，從該外框延伸出至外部，且可以該旋轉構件之中心為軸擺動。
简体摘要：本发明之目的系在于提供一种谷粒透视器，其不须旋转样品盘，即可检测出所有因谷粒不同而方向互异之粒体龟裂。本发明系为一种谷粒透视器，其从斜下方使光入射至样品盘之透明底面，其特征为具备：一基部构件；一旋转构件，可旋转地配设于该基部构件内，于一侧方具有光源，且设置反射板，将来自该光源之光往该样品盘之底面反射；一盖构件，安装于该基部构件上，与该基部构件共同构成外框，具有位于该旋转构件上方并接受该样品盘之开口部，于该旋转构件，设置用以旋转操作该旋转构件之操作部，且于该外框形成开口，使该操作部经由该开口，从该外框延伸出至外部，且可以该旋转构件之中心为轴摆动。

9. 发明专利

TW201436085A 基板處理裝置、基板裝置之運用方法及記憶媒體审中-公开
简体标题：基板处理设备、基板设备之运用方法及记忆媒体
公开(公告)号：TW201436085A
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：TW102143762
申请日：2013-11-29
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 須中郁雄 , SUNAKA, IKUO
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： G01N21/88 , H01L21/67265 , H01L21/67326 , H01L21/67346 , H01L21/67733 , H01L21/67772 , H01L21/67775
摘要：本發明係一種基板處理裝置，基板裝置之運用方法及記憶媒體，其課題為提供對於收納基板而為了搬入至基板處理裝置之搬送容器，檢測異常，可避免因此異常引起之損壞的技術者。其解決手段為呈具備搬入搬送容器之裝載埠，和搬入至前述裝載埠，檢測卸下蓋體之搬送容器內之基板的收納狀況之檢測部，和為了處理自搬入至前述裝載埠之搬送容器所取出之基板的處理部，和控制部地構成基板處理裝置。前述控制部係執行自搬入至裝載埠之搬送容器，將基板送出至處理部之前，檢測搬送容器內之基板的收納狀況之第1步驟，和將在前述處理部所處理之基板返回至原本的搬送容器之後，封閉蓋體之前，檢測該搬送容器內之基板的收納狀況之第2步驟，和依據前述第1步驟與第2步驟而判斷搬送容器是否異常之第3步驟。
简体摘要：本发明系一种基板处理设备，基板设备之运用方法及记忆媒体，其课题为提供对于收纳基板而为了搬入至基板处理设备之搬送容器，检测异常，可避免因此异常引起之损坏的技术者。其解决手段为呈具备搬入搬送容器之装载端口，和搬入至前述装载端口，检测卸下盖体之搬送容器内之基板的收纳状况之检测部，和为了处理自搬入至前述装载端口之搬送容器所取出之基板的处理部，和控制部地构成基板处理设备。前述控制部系运行自搬入至装载端口之搬送容器，将基板送出至处理部之前，检测搬送容器内之基板的收纳状况之第1步骤，和将在前述处理部所处理之基板返回至原本的搬送容器之后，封闭盖体之前，检测该搬送容器内之基板的收纳状况之第2步骤，和依据前述第1步骤与第2步骤而判断搬送容器是否异常之第3步骤。

10. 发明专利

TWI447827B 太陽電池檢查裝置以及太陽電池缺陷判定方法失效
简体标题：太阳电池检查设备以及太阳电池缺陷判定方法
公开(公告)号：TWI447827B
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：TW097150148
申请日：2008-12-22
申请人：日清紡績股份有限公司 , NISSHINBO INDUSTRIES, INC.
发明人：笠原昌人 , 澀谷俊緒
IPC分类号： H01L21/66 , H01L31/042
CPC分类号： G01N21/66 , G01N21/88

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