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1. 发明专利

TW201436085A 基板處理裝置、基板裝置之運用方法及記憶媒體审中-公开
简体标题：基板处理设备、基板设备之运用方法及记忆媒体
公开(公告)号：TW201436085A
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：TW102143762
申请日：2013-11-29
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 須中郁雄 , SUNAKA, IKUO
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： G01N21/88 , H01L21/67265 , H01L21/67326 , H01L21/67346 , H01L21/67733 , H01L21/67772 , H01L21/67775
摘要：本發明係一種基板處理裝置，基板裝置之運用方法及記憶媒體，其課題為提供對於收納基板而為了搬入至基板處理裝置之搬送容器，檢測異常，可避免因此異常引起之損壞的技術者。其解決手段為呈具備搬入搬送容器之裝載埠，和搬入至前述裝載埠，檢測卸下蓋體之搬送容器內之基板的收納狀況之檢測部，和為了處理自搬入至前述裝載埠之搬送容器所取出之基板的處理部，和控制部地構成基板處理裝置。前述控制部係執行自搬入至裝載埠之搬送容器，將基板送出至處理部之前，檢測搬送容器內之基板的收納狀況之第1步驟，和將在前述處理部所處理之基板返回至原本的搬送容器之後，封閉蓋體之前，檢測該搬送容器內之基板的收納狀況之第2步驟，和依據前述第1步驟與第2步驟而判斷搬送容器是否異常之第3步驟。
简体摘要：本发明系一种基板处理设备，基板设备之运用方法及记忆媒体，其课题为提供对于收纳基板而为了搬入至基板处理设备之搬送容器，检测异常，可避免因此异常引起之损坏的技术者。其解决手段为呈具备搬入搬送容器之装载端口，和搬入至前述装载端口，检测卸下盖体之搬送容器内之基板的收纳状况之检测部，和为了处理自搬入至前述装载端口之搬送容器所取出之基板的处理部，和控制部地构成基板处理设备。前述控制部系运行自搬入至装载端口之搬送容器，将基板送出至处理部之前，检测搬送容器内之基板的收纳状况之第1步骤，和将在前述处理部所处理之基板返回至原本的搬送容器之后，封闭盖体之前，检测该搬送容器内之基板的收纳状况之第2步骤，和依据前述第1步骤与第2步骤而判断搬送容器是否异常之第3步骤。

2. 发明专利

TWI596457B 基板處理裝置、位置偏移修正方法及記憶媒體有权
简体标题：基板处理设备、位置偏移修正方法及记忆媒体
公开(公告)号：TWI596457B
公开(公告)日：2017-08-21
申请号：TW104105460
申请日：2015-02-17
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：飯田成昭 , IIDA, NARUAKI , 森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/687
CPC分类号： G05B19/4189 , G05B2219/45031 , H01L21/67766 , H01L21/681 , H01L21/68707 , Y02P90/28

3. 发明专利

TWI545672B 基板運送裝置、基板運送方法及記憶媒體有权
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记忆媒体
公开(公告)号：TWI545672B
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：TW102146421
申请日：2013-12-16
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 須中郁雄 , SUNAKA, IKUO , 中野征二 , NAKANO, SEIJI , 倉富一紀 , KURATOMI, KAZUNORI , 島津利郎 , SHIMAZU, TOSHIO
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67265 , B65G2201/0297 , H01L21/67772 , H01L21/67778

4. 发明专利

TWI548576B 基板處理裝置、基板處理系統及搬送容器之異常檢出方法有权
简体标题：基板处理设备、基板处理系统及搬送容器之异常检出方法
公开(公告)号：TWI548576B
公开(公告)日：2016-09-11
申请号：TW102144285
申请日：2013-12-03
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 須中郁雄 , SUNAKA, IKUO , 榎木田卓 , ENOKIDA, SUGURU
IPC分类号： B65G43/08 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67253 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , H01L21/67778

5. 发明专利

TW201505117A 基板搬送裝置、基板處理裝置及基板收容方法审中-公开
简体标题：基板搬送设备、基板处理设备及基板收容方法
公开(公告)号：TW201505117A
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW103104705
申请日：2014-02-13
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：村田晃 , MURATA, AKIRA , 森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 上田一成 , UEDA, ISSEI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , B65G49/07
摘要：對匣盒適當地收容基板。實施形態之基板搬送裝置，係具備有基板搬送部、檢測部及控制裝置。基板搬送部，係在與可收容複數片基板的匣盒之間進行基板的收授。檢測部，係檢測收容於匣盒的基板。控制裝置，係控制基板搬送部。又，控制裝置係具備搬送控制部、判定部及修正部。搬送控制部，係以對基板事先決定之目標收容位置收容基板的方式，控制基板搬送部。判定部，係藉由檢測部檢測被收容到匣盒的基板後，根據檢測部的檢測結果，判定該基板之實際的收容位置。修正部，係根據基板之實際的收容位置與目標收容位置的偏移，對作為其他基板之收容位置而事先決定的目標收容位置進行修正。
简体摘要：对匣盒适当地收容基板。实施形态之基板搬送设备，系具备有基板搬送部、检测部及控制设备。基板搬送部，系在与可收容复数片基板的匣盒之间进行基板的收授。检测部，系检测收容于匣盒的基板。控制设备，系控制基板搬送部。又，控制设备系具备搬送控制部、判定部及修正部。搬送控制部，系以对基板事先决定之目标收容位置收容基板的方式，控制基板搬送部。判定部，系借由检测部检测被收容到匣盒的基板后，根据检测部的检测结果，判定该基板之实际的收容位置。修正部，系根据基板之实际的收容位置与目标收容位置的偏移，对作为其他基板之收容位置而事先决定的目标收容位置进行修正。

6. 发明专利

TW201433528A 基板處理裝置、基板處理系統及搬送容器之異常檢出方法审中-公开
简体标题：基板处理设备、基板处理系统及搬送容器之异常检出方法
公开(公告)号：TW201433528A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW102144285
申请日：2013-12-03
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 須中郁雄 , SUNAKA, IKUO , 榎木田卓 , ENOKIDA, SUGURU
IPC分类号： B65G43/08 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67253 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , H01L21/67778
摘要：本發明係一種基板處理裝置，基板處理系統及搬送容器之異常檢出方法，其課題為提供對於為了收納基板而搬入至基板處理裝置之搬送容器可提早檢出異常之技術。其解決手段為構成具備搬入有基板之搬送容器的裝載埠，和控制在前述裝載埠之操作的裝置控制器之基板處理裝置。裝置控制器係具備：記憶對應依據搬送容器之識別符號，將從外部所傳送之該搬送容器之使用次數，和為了搬入搬送容器至裝載埠而卸下蓋體所進行之操作及為了從裝載埠搬出該搬送容器所進行之操作之中至少一方的操作結果作為數值化的參數值之參數值之推移資料的記憶部，和依據伴隨搬送容器之搬入及搬出之中至少一方之前述參數值，和有關該搬送容器之前述參數值之過去的推移資料，判定該搬送容器之異常有無之判定部。
简体摘要：本发明系一种基板处理设备，基板处理系统及搬送容器之异常检出方法，其课题为提供对于为了收纳基板而搬入至基板处理设备之搬送容器可提早检出异常之技术。其解决手段为构成具备搬入有基板之搬送容器的装载端口，和控制在前述装载端口之操作的设备控制器之基板处理设备。设备控制器系具备：记忆对应依据搬送容器之标识符，将从外部所发送之该搬送容器之使用次数，和为了搬入搬送容器至装载端口而卸下盖体所进行之操作及为了从装载端口搬出该搬送容器所进行之操作之中至少一方的操作结果作为数值化的参数值之参数值之推移数据的记忆部，和依据伴随搬送容器之搬入及搬出之中至少一方之前述参数值，和有关该搬送容器之前述参数值之过去的推移数据，判定该搬送容器之异常有无之判定部。

7. 发明专利

TWI436446B 基板保持構件、基板搬運臂及基板搬運裝置有权
简体标题：基板保持构件、基板搬运臂及基板搬运设备
公开(公告)号：TWI436446B
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：TW099112733
申请日：2010-04-22
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：中野征二 , NAKANO, SEIJI , 松下道明 , MATSUSHITA, MICHIAKI , 飯田成昭 , IIDA, NARUAKI , 榎木田卓 , ENOKIDA, SUGURU , 森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/677

8. 发明专利

TWI593615B 基板處理裝置有权
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TWI593615B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：TW103145387
申请日：2014-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 上田一成 , UEDA, ISSEI , 村田晃 , MURATA, AKIRA , 南田純也 , MINAMIDA, JUNYA
IPC分类号： B65G47/88 , B65G47/53 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67742 , H01L21/67178 , H01L21/67754 , H01L21/67757

9. 发明专利

TWI566321B 基板搬送裝置、基板處理裝置及基板收容方法有权
简体标题：基板搬送设备、基板处理设备及基板收容方法
公开(公告)号：TWI566321B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：TW103104705
申请日：2014-02-13
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：村田晃 , MURATA, AKIRA , 森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 上田一成 , UEDA, ISSEI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , B65G49/07

10. 发明专利

TWI540668B 基板處理裝置、基板裝置之運用方法及記憶媒體有权
简体标题：基板处理设备、基板设备之运用方法及记忆媒体
公开(公告)号：TWI540668B
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW102143762
申请日：2013-11-29
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 須中郁雄 , SUNAKA, IKUO
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： G01N21/88 , H01L21/67265 , H01L21/67326 , H01L21/67346 , H01L21/67733 , H01L21/67772 , H01L21/67775

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