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1. 发明专利

TW201814275A 一種平板顆粒度檢測方法审中-公开
简体标题：一种平板颗粒度检测方法
公开(公告)号：TW201814275A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW106133421
申请日：2017-09-28
申请人：大陸商上海微電子裝備(集團)股份有限公司
发明人：韓雪山 , HAN, XUESHAN , 申永強 , SHEN, YONGQIANG
IPC分类号： G01N21/41 , G01N21/88
CPC分类号： G01N15/02 , G03B15/05
摘要：一種平板顆粒度檢測方法，該方法主要包括以下步驟：藉由光源模組照射待檢測平板，產生照明視場；調整照明視場半寬；調整照明視場中心光强度和照明視場半寬邊緣處光强度；接着，調整光源强度、位置以及探測器的位置；藉由探測器獲取平板異物信號。本發明極大的降低顆粒鏡像以及平板下表面圖案串擾，提高信號雜訊比，進而可以提高平板異物檢測的準確性。
简体摘要：一种平板颗粒度检测方法，该方法主要包括以下步骤：借由光源模块照射待检测平板，产生照明视场；调整照明视场半宽；调整照明视场中心光强度和照明视场半宽边缘处光强度；接着，调整光源强度、位置以及探测器的位置；借由探测器获取平板异物信号。本发明极大的降低颗粒镜像以及平板下表面图案串扰，提高信号噪声比，进而可以提高平板异物检测的准确性。

2. 发明专利

TW201235105A 在流體化床反應器中用於粒子尺寸確定及控制的方法及系統 SYSTEMS AND METHODS FOR PARTICLE SIZE DETERMINATION AND CONTROL IN A FLUIDIZED BED REACTOR 审中-公开
简体标题：在流体化床反应器中用于粒子尺寸确定及控制的方法及系统 SYSTEMS AND METHODS FOR PARTICLE SIZE DETERMINATION AND CONTROL IN A FLUIDIZED BED REACTOR
公开(公告)号：TW201235105A
公开(公告)日：2012-09-01
申请号：TW100149315
申请日：2011-12-28
申请人： MEMC電子材料公司
发明人：布沙拉普薩堤區 , 納瓦茲亞里夫 , 古普塔潘尼特 , 巴拉克里斯南卡斯克
IPC分类号： B01J
CPC分类号： G01N15/088 , B01J8/1809 , B01J2208/00539 , B01J2208/0061 , B01J2208/00663 , B01J2208/00672 , B01J2219/00198 , B01J2219/00202 , B01J2219/00207 , B01J2219/00209 , B01J2219/00231 , B01J2219/00236 , F27B15/08 , F27B15/18 , F27B15/20 , F27D19/00 , G01N15/02
摘要：提供用於確定在一流體化床反應器內的粒子之尺寸的系統及方法。藉由壓力感測器來量測鄰近於該反應器的一氣體入口及鄰近於該反應器的一氣體出口之氣體的壓力。對該等壓力量測中之至少一者應用一演算法以確定在該反應器內之粒子的尺寸。可使用該等粒子的所確定之尺寸來控制該反應器之操作。提供一種用於量測經定義體積之粒子以用於輸送至該反應器之定量配給系統及方法。
简体摘要：提供用于确定在一流体化床反应器内的粒子之尺寸的系统及方法。借由压力传感器来量测邻近于该反应器的一气体入口及邻近于该反应器的一气体出口之气体的压力。对该等压力量测中之至少一者应用一算法以确定在该反应器内之粒子的尺寸。可使用该等粒子的所确定之尺寸来控制该反应器之操作。提供一种用于量测经定义体积之粒子以用于输送至该反应器之定量配给系统及方法。

3. 发明专利

TW201736828A 異物檢測裝置及異物檢測方法审中-公开
简体标题：异物检测设备及异物检测方法
公开(公告)号：TW201736828A
公开(公告)日：2017-10-16
申请号：TW106101468
申请日：2017-01-17
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林聖人 , HAYASHI, MASATO , 野口耕平 , NOGUCHI, KOHEI , 梶原大介 , KAJIWARA, DAISUKE , 東廣大 , HIGASHI, KOUDAI
IPC分类号： G01N21/85
CPC分类号： G01N15/06 , G01N15/02 , G01N15/14 , G01N21/47 , G01N21/49
摘要：本發明之課題在於提供一種可高精度地檢測流過流路部之微小異物的技術。依本發明之裝置，具有：流路部，其可供流體流動；雷射光照射部，其用以照射雷射光至該流路部內，且具有以朝與前述流路部中之流體流動方向交叉的方向變長的方式使來自雷射光源之雷射光扁平化的光學系，並且設置成光路與前述流路部中之流體流動方向交叉；光檢測部，其包含設置在透過前述流路部之光路上且沿著光路橫剖面之長邊方向排列的多數受光元件；及異物檢測部，其比較因應電氣信號之信號位準的信號位準與預定信號位準之臨界值，並依據比較結果檢測前述異物，且該電氣信號之信號位準對應在前述多數受光元件中之各個受光元件所受光的光強度。
简体摘要：本发明之课题在于提供一种可高精度地检测流过流路部之微小异物的技术。依本发明之设备，具有：流路部，其可供流体流动；激光光照射部，其用以照射激光光至该流路部内，且具有以朝与前述流路部中之流体流动方向交叉的方向变长的方式使来自激光光源之激光光扁平化的光学系，并且设置成光路与前述流路部中之流体流动方向交叉；光检测部，其包含设置在透过前述流路部之光路上且沿着光路横剖面之长边方向排列的多数受光组件；及异物检测部，其比较因应电气信号之信号位准的信号位准与预定信号位准之临界值，并依据比较结果检测前述异物，且该电气信号之信号位准对应在前述多数受光组件中之各个受光组件所受光的光强度。

4. 发明专利

TWI270107B 藥液的評估方法、藥液的認定方法及半導體裝置的製造方法失效
简体标题：药液的评估方法、药液的认定方法及半导体设备的制造方法
公开(公告)号：TWI270107B
公开(公告)日：2007-01-01
申请号：TW094111859
申请日：2005-04-14
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：伊藤信一 ITO, SHINICHI , 鹽原英志 SHIOBARA, EISHI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N15/02 , G01N2015/0053 , Y10T436/25 , Y10T436/2575
摘要：本發明之藥液之評估方法，其包含：就液體中之粒子，藉由測定求得針對上述粒子各種大小之粒子數；根據藉由上述測定求得之上述粒子之各種大小之粒子數，藉由函數表現上述液體中之粒子大小與對應於上述大小之粒子數之關係；及根據上述函數，評估上述液體中之粒子中測定界限以下大小之粒子之影響。
简体摘要：本发明之药液之评估方法，其包含：就液体中之粒子，借由测定求得针对上述粒子各种大小之粒子数；根据借由上述测定求得之上述粒子之各种大小之粒子数，借由函数表现上述液体中之粒子大小与对应于上述大小之粒子数之关系；及根据上述函数，评估上述液体中之粒子中测定界限以下大小之粒子之影响。

5. 发明专利

TW423040B 利用半球形複晶矽晶粒來檢測有機物汙染的方法失效
简体标题：利用半球形复晶硅晶粒来检测有机物污染的方法
公开(公告)号：TW423040B
公开(公告)日：2001-02-21
申请号：TW088118993
申请日：1999-11-01
申请人：台灣茂矽電子股份有限公司
发明人：張益馨 , 陳建宏
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L22/24 , G01N15/02
摘要：一種檢測製程環境之有機物汙染的方法，係利用在此製程環境中所形成的半球形複晶矽晶粒，量測製程環境中的有機物汙染。由於製程環境遭受到有機物汙染之後，會連帶汙染半球形複晶矽晶粒所在位置的半導體基材，使得半球形複晶矽晶粒的晶粒尺寸會落在0.2到0.4微米之間，而一般製程所形成的半球形複晶矽晶粒尺寸大約在0.5到0.8微米之間，因此藉由量測半球形複晶矽晶粒的尺寸大小，可判斷快速且準確地判斷製程環境中是否遭受到有機物汙染。
简体摘要：一种检测制程环境之有机物污染的方法，系利用在此制程环境中所形成的半球形复晶硅晶粒，量测制程环境中的有机物污染。由于制程环境遭受到有机物污染之后，会连带污染半球形复晶硅晶粒所在位置的半导体基材，使得半球形复晶硅晶粒的晶粒尺寸会落在0.2到0.4微米之间，而一般制程所形成的半球形复晶硅晶粒尺寸大约在0.5到0.8微米之间，因此借由量测半球形复晶硅晶粒的尺寸大小，可判断快速且准确地判断制程环境中是否遭受到有机物污染。

6. 发明专利

TWI522599B 在使用可熱分解的含矽氣體之流體化床反應器中粒子尺寸確定及控制方法及系統有权
简体标题：在使用可热分解的含硅气体之流体化床反应器中粒子尺寸确定及控制方法及系统
公开(公告)号：TWI522599B
公开(公告)日：2016-02-21
申请号：TW100149316
申请日：2011-12-28
申请人： MEMC電子材料公司 , MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC.
发明人：布沙拉普薩堤區 , BHUSARAPU, SATISH , 納瓦茲亞里夫 , NAWAZ, ARIF , 古普塔潘尼特 , GUPTA, PUNEET , 巴拉克里斯南卡斯克 , BALAKRISHNAN, KARTHIK
IPC分类号： G01F22/02 , C30B29/06
CPC分类号： G01N15/02 , G01N15/1227

7. 发明专利

TW201142266A 霧劑粒子抽樣裝置 AEROSOL PARTICLE SAMPLING DEVICE 审中-公开
简体标题：雾剂粒子抽样设备 AEROSOL PARTICLE SAMPLING DEVICE
公开(公告)号：TW201142266A
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：TW100110945
申请日：2011-03-30
申请人：日本煙草產業股份有限公司
发明人：一坪宏和
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/2252 , G01N15/02 , G01N2001/2264
摘要：本發明提供一種霧劑粒子抽樣裝置。該裝置具備如下述構造：可供從一端部(12a)導入抽樣氣體(SK)之抽樣管(12)的另一端部(12b)係經由間隙(G1)在裝置主體(18)之抽樣氣體容納空間(16)之第1端部(16a)互相連接，該間隙(G1)可從補充氣體供應器(22)選擇性地導入補充氣體(HK)。從第一端部朝向離開上述另一端部延伸方向之上述空間之第2端部(16b)，經由間隙(G2)與至少包含抽樣氣體(SK)之測定氣體(MK)測定用之測定氣體排出管(24)之一端部(24a)互相連接，在上述第2端部經由上述間隙(G2)與選擇性排出上述空間中之氣體之氣體選擇性排出管(28)連接。
简体摘要：本发明提供一种雾剂粒子抽样设备。该设备具备如下述构造：可供从一端部(12a)导入抽样气体(SK)之抽样管(12)的另一端部(12b)系经由间隙(G1)在设备主体(18)之抽样气体容纳空间(16)之第1端部(16a)互相连接，该间隙(G1)可从补充气体供应器(22)选择性地导入补充气体(HK)。从第一端部朝向离开上述另一端部延伸方向之上述空间之第2端部(16b)，经由间隙(G2)与至少包含抽样气体(SK)之测定气体(MK)测定用之测定气体排出管(24)之一端部(24a)互相连接，在上述第2端部经由上述间隙(G2)与选择性排出上述空间中之气体之气体选择性排出管(28)连接。

8. 发明专利

TW573117B 金屬奈米顆粒流體自動線上取樣裝置與技術失效
简体标题：金属奈米颗粒流体自动在线采样设备与技术
公开(公告)号：TW573117B
公开(公告)日：2004-01-21
申请号：TW092118404
申请日：2003-07-04
申请人：國立台北科技大學
发明人：陳亮嘉 CHEN, LIANG CHIA , 孫任言 SUN, JEN YAN , 鍾清枝 TSUNG TSHIH , 林鴻明 LIN, HONG MING
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/14 , G01N15/02 , Y10S977/70 , Y10S977/963 , Y10T436/2575
摘要：本發明係提供一種真空潛弧製程之金屬奈米顆粒流體之線上取樣裝置與方法，係利用真空泵與真空腔之壓力差原理以及樣品輸送管路之恆溫設計，使樣品可精確地被擷取流入預設之收集器中，且防止因環境溫度而影響樣品溫度升高至汽化之缺點。又本發明可整合粒徑分析裝置，將可對奈米流體製程線上所擷取具有即時製程特性之奈米顆粒流體，進行即時量測與數據分析，以利於有效率的進行製程與系統參數之最佳化設計工作與顆粒品質監控。五、(一)、本案代表圖為：第＿＿＿二＿＿＿圖
(二)、本案代表圖之元件代表符號簡單說明：2．．．．．．製造設備 21．．．．．．真空腔211．．．．．．冷卻液 22．．．．．．上電極23．．．．．．下電極 24．．冷卻液循環系統25．．．．引弧器系統 26．．二口二位電磁閥261．．．．．恆溫管路 262．．．．恆溫管路3．．．．．懸浮液容器 4 介電液定量供應單元41．．．．定量汲取器 42．．三口二位電磁閥421．．．．．．．管路 43．．．．介電液容器5．．．．．．．收集器 6．．．．．．真空泵61．．二口二位電磁閥 7．．．．．控制單元
简体摘要：本发明系提供一种真空潜弧制程之金属奈米颗粒流体之在线采样设备与方法，系利用真空泵与真空腔之压力差原理以及样品输送管路之恒温设计，使样品可精确地被截取流入默认之收集器中，且防止因环境温度而影响样品温度升高至汽化之缺点。又本发明可集成粒径分析设备，将可对奈米流体制程在线所截取具有实时制程特性之奈米颗粒流体，进行实时量测与数据分析，以利于有效率的进行制程与系统参数之最优化设计工作与颗粒品质监控。五、(一)、本案代表图为：第＿＿＿二＿＿＿图 (二)、本案代表图之组件代表符号简单说明：2．．．．．．制造设备 21．．．．．．真空腔211．．．．．．冷却液 22．．．．．．上电极23．．．．．．下电极 24．．冷却液循环系统25．．．．引弧器系统 26．．二口二位电磁阀261．．．．．恒温管路 262．．．．恒温管路3．．．．．悬浮液容器 4 介电液定量供应单元41．．．．定量汲取器 42．．三口二位电磁阀421．．．．．．．管路 43．．．．介电液容器5．．．．．．．收集器 6．．．．．．真空泵61．．二口二位电磁阀 7．．．．．控制单元

9. 发明专利

TW386275B 用於半導體清淨室之具有旋風式集塵器之微粒測量裝置失效
简体标题：用于半导体清净室之具有旋风式集尘器之微粒测量设备
公开(公告)号：TW386275B
公开(公告)日：2000-04-01
申请号：TW086104499
申请日：1997-04-09
申请人：三星電子股份有限公司
发明人：田在剛 , 李中善 , 崔載興 , 金東榮
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N1/2211 , G01N1/24 , G01N15/02 , G01N2001/2223
摘要：一部應用在半導體具有旋風式集塵器之微粒測量裝置，能夠用來將要測量的空氣樣本中的塵埃之類的微粒集中，以便測量清淨的等級。此微粒測量裝置的結構是，旋風式集塵器較窄的一端經由一條收斂管路與微粒測量裝置的導入管相接，而較寬的一端則透過排氣管路與微粒測量裝置的唧筒相接,會有一條連接管經由旋風式集塵器較寬一端的邊牆與其相連。
简体摘要：一部应用在半导体具有旋风式集尘器之微粒测量设备，能够用来将要测量的空气样本中的尘埃之类的微粒集中，以便测量清净的等级。此微粒测量设备的结构是，旋风式集尘器较窄的一端经由一条收敛管路与微粒测量设备的导入管相接，而较宽的一端则透过排气管路与微粒测量设备的唧筒相接,会有一条连接管经由旋风式集尘器较宽一端的边墙与其相连。

10. 发明专利

TW201723465A 樹脂分析方法及樹脂處理方法审中-公开
简体标题：树脂分析方法及树脂处理方法
公开(公告)号：TW201723465A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW105107144
申请日：2016-03-09
申请人：栗田工業股份有限公司 , KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
发明人：田口千草 , TAGUCHI, CHIGUSA , 和田敏 , WADA, SATOSHI
IPC分类号： G01N21/64 , G01N15/02 , D21H21/02
CPC分类号： D21H21/02 , D21C9/08 , G01N15/02 , G01N21/6458 , G01N33/343 , G01N2021/6439
摘要：提供一種迅速且簡便、並且更準確地按照粒度對水中的樹脂進行定量的樹脂分析方法，另外，提供一種於製紙步驟中有效地添加樹脂控制劑的樹脂處理方法。本發明的樹脂分析方法是於紙漿漿料中添加螢光染料，使用圖像解析軟體對含有經染色的樹脂的紙漿漿料的由螢光顯微鏡而得的觀察圖像進行圖像解析，而進行樹脂的定量及粒度分佈測定，所述圖像解析包括依序進行下述（1）～（4）的處理的步驟。（1）將彩色圖像轉換為灰度圖像的轉換處理（2）去除所述灰度圖像的雜訊而進行黑白二值化的二值化處理（3）將所述二值化處理後的圖像的白色區域中縱橫比為0.2以下的粒子部分的區域去除的去除處理（4）計測所述去除處理後的圖像的白色區域的各粒子的面積而求出各面積區劃的粒度分佈的統計處理
简体摘要：提供一种迅速且简便、并且更准确地按照粒度对水中的树脂进行定量的树脂分析方法，另外，提供一种于制纸步骤中有效地添加树脂控制剂的树脂处理方法。本发明的树脂分析方法是于纸浆浆料中添加萤光染料，使用图像解析软件对含有经染色的树脂的纸浆浆料的由萤光显微镜而得的观察图像进行图像解析，而进行树脂的定量及粒度分布测定，所述图像解析包括依序进行下述（1）～（4）的处理的步骤。（1）将彩色图像转换为灰度图像的转换处理（2）去除所述灰度图像的噪声而进行黑白二值化的二值化处理（3）将所述二值化处理后的图像的白色区域中纵横比为0.2以下的粒子部分的区域去除的去除处理（4）计测所述去除处理后的图像的白色区域的各粒子的面积而求出各面积区划的粒度分布的统计处理

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