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    • 7. 发明专利
    • 異物檢測裝置及異物檢測方法
    • 异物检测设备及异物检测方法
    • TW201736828A
    • 2017-10-16
    • TW106101468
    • 2017-01-17
    • 東京威力科創股份有限公司TOKYO ELECTRON LIMITED
    • 林聖人HAYASHI, MASATO野口耕平NOGUCHI, KOHEI梶原大介KAJIWARA, DAISUKE東廣大HIGASHI, KOUDAI
    • G01N21/85
    • G01N15/06G01N15/02G01N15/14G01N21/47G01N21/49
    • 本發明之課題在於提供一種可高精度地檢測流過流路部之微小異物的技術。依本發明之裝置,具有:流路部,其可供流體流動;雷射光照射部,其用以照射雷射光至該流路部內,且具有以朝與前述流路部中之流體流動方向交叉的方向變長的方式使來自雷射光源之雷射光扁平化的光學系,並且設置成光路與前述流路部中之流體流動方向交叉;光檢測部,其包含設置在透過前述流路部之光路上且沿著光路橫剖面之長邊方向排列的多數受光元件;及異物檢測部,其比較因應電氣信號之信號位準的信號位準與預定信號位準之臨界值,並依據比較結果檢測前述異物,且該電氣信號之信號位準對應在前述多數受光元件中之各個受光元件所受光的光強度。
    • 本发明之课题在于提供一种可高精度地检测流过流路部之微小异物的技术。依本发明之设备,具有:流路部,其可供流体流动;激光光照射部,其用以照射激光光至该流路部内,且具有以朝与前述流路部中之流体流动方向交叉的方向变长的方式使来自激光光源之激光光扁平化的光学系,并且设置成光路与前述流路部中之流体流动方向交叉;光检测部,其包含设置在透过前述流路部之光路上且沿着光路横剖面之长边方向排列的多数受光组件;及异物检测部,其比较因应电气信号之信号位准的信号位准与预定信号位准之临界值,并依据比较结果检测前述异物,且该电气信号之信号位准对应在前述多数受光组件中之各个受光组件所受光的光强度。
    • 8. 发明专利
    • 複雜資料集的預測分析以及包含其之系統和方法
    • 复杂数据集的预测分析以及包含其之系统和方法
    • TW201616360A
    • 2016-05-01
    • TW104125079
    • 2015-08-03
    • 波音公司THE BOEING COMPANY
    • 李 雪梨LY, SIDNEY沙路爾 阿里SALOUR, ALI
    • G06F11/30
    • G01N33/0004G01N1/26G01N15/06G01N15/1425G01N35/00871G01N2001/2223G01N2015/0693G01N2015/1486G01N2015/1488G01N2015/1493G01N2035/00881G01N2035/009G06F11/00
    • 本文揭示複雜資料集的預測分析(predictive analysis)以及包含其之系統和方法。該等方法包含分析來自一無塵室(cleanroom)環境(20)的空浮粒子計數資料(40)以預測該無塵室環境(20)內之一粒子計數故障狀況。該等方法另包含產生(205)包含該無塵室環境(20)內的粒子計數之一空浮粒子計數資料(40)貯藏庫、分析該空浮粒子計數資料以估算(250)一第一變化率與一第二變化率之間的一差異、以及因應介於該第一變化率與該第二變化率之間的該差異位於一特定臨限差異範圍之外,預測(255)該粒子計數故障狀況。該等系統包含電腦可讀取儲存媒體,此電腦可讀取儲存媒體包含電腦可執行指令,當該等指令被執行之時,導控一資料分析系統執行該等方法。該等系統亦包含一分散式無塵室粒子計數監測系統(30),其包含複數偵測節點(32)。
    • 本文揭示复杂数据集的预测分析(predictive analysis)以及包含其之系统和方法。该等方法包含分析来自一无尘室(cleanroom)环境(20)的空浮粒子计数数据(40)以预测该无尘室环境(20)内之一粒子计数故障状况。该等方法另包含产生(205)包含该无尘室环境(20)内的粒子计数之一空浮粒子计数数据(40)贮藏库、分析该空浮粒子计数数据以估算(250)一第一变化率与一第二变化率之间的一差异、以及因应介于该第一变化率与该第二变化率之间的该差异位于一特定临限差异范围之外,预测(255)该粒子计数故障状况。该等系统包含电脑可读取存储媒体,此电脑可读取存储媒体包含电脑可运行指令,当该等指令被运行之时,导控一数据分析系统运行该等方法。该等系统亦包含一分佈式无尘室粒子计数监测系统(30),其包含复数侦测节点(32)。