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1. 发明专利

TW201833533A 平板顆粒度檢測裝置审中-公开
简体标题：平板颗粒度检测设备
公开(公告)号：TW201833533A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW107106248
申请日：2018-02-23
申请人：大陸商上海微電子裝備(集團)股份有限公司 , SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP)CO., LTD.
发明人：申永強 , SHEN, YONGQIANG , 楊曉青 , YANG, XIAOQING , 韓雪山 , HAN, XUESHAN
IPC分类号： G01N21/47 , G01N21/88
摘要：本發明揭露一種平板顆粒度檢測裝置，包括：照明單元，用於產生入射光，所述入射光經被檢測平板表面的異物散射產生散射光且經所述被檢測平板的表面反射後產生反射光；探測單元，用於接收所述散射光且所述探測單元的光軸方向與所述入射光入射至所述被檢測平板表面的法線方向平行；測量光束調整單元，用於將所述反射光與所述散射光分離，所述測量光束調整單元包括第一折光單元和第二折光單元，所述第一折光單元與所述散射光對應設置，用於將所述散射光進行轉折後入射至所述探測單元；所述第二折光單元對應於所述反射光設置，用於將所述反射光轉折至所述探測單元的接收區域以外。
简体摘要：本发明揭露一种平板颗粒度检测设备，包括：照明单元，用于产生入射光，所述入射光经被检测平板表面的异物散射产生散射光且经所述被检测平板的表面反射后产生反射光；探测单元，用于接收所述散射光且所述探测单元的光轴方向与所述入射光入射至所述被检测平板表面的法线方向平行；测量光束调整单元，用于将所述反射光与所述散射光分离，所述测量光束调整单元包括第一折光单元和第二折光单元，所述第一折光单元与所述散射光对应设置，用于将所述散射光进行转折后入射至所述探测单元；所述第二折光单元对应于所述反射光设置，用于将所述反射光转折至所述探测单元的接收区域以外。

2. 发明专利

TWI667465B 平板顆粒度檢測裝置有权
简体标题：平板颗粒度检测设备
公开(公告)号：TWI667465B
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：TW107106248
申请日：2018-02-23
申请人：大陸商上海微電子裝備(集團)股份有限公司 , SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP)CO., LTD.
发明人：申永強 , SHEN, YONGQIANG , 楊曉青 , YANG, XIAOQING , 韓雪山 , HAN, XUESHAN
IPC分类号： G01N21/47 , G01N21/88

3. 发明专利

TW201814275A 一種平板顆粒度檢測方法审中-公开
简体标题：一种平板颗粒度检测方法
公开(公告)号：TW201814275A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW106133421
申请日：2017-09-28
申请人：大陸商上海微電子裝備(集團)股份有限公司
发明人：韓雪山 , HAN, XUESHAN , 申永強 , SHEN, YONGQIANG
IPC分类号： G01N21/41 , G01N21/88
CPC分类号： G01N15/02 , G03B15/05
摘要：一種平板顆粒度檢測方法，該方法主要包括以下步驟：藉由光源模組照射待檢測平板，產生照明視場；調整照明視場半寬；調整照明視場中心光强度和照明視場半寬邊緣處光强度；接着，調整光源强度、位置以及探測器的位置；藉由探測器獲取平板異物信號。本發明極大的降低顆粒鏡像以及平板下表面圖案串擾，提高信號雜訊比，進而可以提高平板異物檢測的準確性。
简体摘要：一种平板颗粒度检测方法，该方法主要包括以下步骤：借由光源模块照射待检测平板，产生照明视场；调整照明视场半宽；调整照明视场中心光强度和照明视场半宽边缘处光强度；接着，调整光源强度、位置以及探测器的位置；借由探测器获取平板异物信号。本发明极大的降低颗粒镜像以及平板下表面图案串扰，提高信号噪声比，进而可以提高平板异物检测的准确性。

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