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1. 发明专利

TW200533459A 主動式質量制動器失效
简体标题：主动式质量制动器
公开(公告)号：TW200533459A
公开(公告)日：2005-10-16
申请号：TW094102314
申请日：2005-01-26
申请人：日立比亞機械股份有限公司 HITACHI VIA MECHANICS, LTD.
发明人：中島吉男 , 毒島明 , 伊藤靖 ITO YASUSHI , 鈴木伸彥 SUZUKI, NOBUHIKO , 結城徹
IPC分类号： B23Q
CPC分类号： F16F7/1005 , F16F15/02
摘要：為提供一可使加工裝置小型化之主動式質量制動器(active mass damper)。主動式質量制動器3，具備；以能沿水平方向移動的方式支持錘18之支持裝置、用以驅動錘18之馬達11b、及用以控制馬達11b之控制器40，對控制器40輸入扭力指令值60(用來命令X載台7之馬達11a)與扭力指令值160(用來命令Z載台之馬達211a)而進行前饋控制，並依據錘18的移位進行反饋控制，藉此來驅動馬達11b。
简体摘要：为提供一可使加工设备小型化之主动式质量制动器(active mass damper)。主动式质量制动器3，具备；以能沿水平方向移动的方式支持锤18之支持设备、用以驱动锤18之马达11b、及用以控制马达11b之控制器40，对控制器40输入扭力指令值60(用来命令X载台7之马达11a)与扭力指令值160(用来命令Z载台之马达211a)而进行前馈控制，并依据锤18的移位进行反馈控制，借此来驱动马达11b。

2. 发明专利

TW201433717A 制振裝置审中-公开
简体标题：制振设备
公开(公告)号：TW201433717A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW102131542
申请日：2013-09-02
申请人：三菱重工機電系統股份有限公司 , MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES MECHATRONICS SYSTEMS, LTD. , 三菱重工業股份有限公司 , MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：山科勇輔 , YAMASHINA, YUSUKE , 門前唯明 , MONZEN, TADAAKI , 久保充司 , KUBO, ATSUSHI
IPC分类号： F16F15/00 , F16F15/02
CPC分类号： E04B1/985 , E04H9/027 , E04H2009/026 , F16F7/1005 , G05B19/404 , G05B2219/39199
摘要：提供一種可在可動質塊的容許衝程範圍內，獲得最佳制振效果的制振裝置。其特徵為具備有控制器(20)，其係求出可動質塊(3)的目標位移與以質塊位移感測器所被檢測到的可動質塊(3)的位移的位移偏差、及可動質塊(3)的目標速度與以質塊速度感測器所被檢測到的可動質塊(3)的速度的速度偏差的至少一方，根據位移偏差、及速度偏差的至少一方，生成使電動機(4)驅動可動質塊(3)的控制指令。目標位移、及目標速度係可動質塊(3)的振幅為一定，而且以對於大樓(2)的搖晃為相位延遲90度的方式進行設定。
简体摘要：提供一种可在可动质块的容许冲程范围内，获得最佳制振效果的制振设备。其特征为具备有控制器(20)，其系求出可动质块(3)的目标位移与以质块位移传感器所被检测到的可动质块(3)的位移的位移偏差、及可动质块(3)的目标速度与以质块速度传感器所被检测到的可动质块(3)的速度的速度偏差的至少一方，根据位移偏差、及速度偏差的至少一方，生成使电动机(4)驱动可动质块(3)的控制指令。目标位移、及目标速度系可动质块(3)的振幅为一定，而且以对于大楼(2)的摇晃为相位延迟90度的方式进行设置。

3. 发明专利

TW200641277A 可調式減震器設備 TUNABLE VIBRATION ABSORPTION DEVICE 审中-公开
简体标题：可调式减震器设备 TUNABLE VIBRATION ABSORPTION DEVICE
公开(公告)号：TW200641277A
公开(公告)日：2006-12-01
申请号：TW095103685
申请日：2006-01-27
申请人：先進自動器材有限公司 ASM ASSEMBLY AUTOMATION LTD
发明人：柯少榮 OR SIU WING , 陳王麗華 CHAN-WONG, HELEN LAI WA , 蔡秉剛 CHOY, PING KONG , 廖秋棋 LIU, CHOU KEE
IPC分类号： F16F
CPC分类号： F16F7/104 , F16F7/1005
摘要：本發明公開了一種可調式減震器設備，其適於在震動裝置裏活性或准活性震動吸收或阻尼震動。其包含有部件堆，包括力驅動器機構用於產生軸向驅動力，和力感測器機構，用於回應外力作用於該部件堆上產生的壓力信號。控制器單元，其電性連接於力感測器機構用於接收由力感測器機構產生的壓力信號，其中該控制器單元也電性連接於力驅動器機構用於調整由力驅動器機構產生的軸向驅動力的大小，以對接收到的由力感測器機構產生的壓力信號做出回應。
简体摘要：本发明公开了一种可调式减震器设备，其适于在震动设备里活性或准活性震动吸收或阻尼震动。其包含有部件堆，包括力驱动器机构用于产生轴向驱动力，和力传感器机构，用于回应外力作用于该部件堆上产生的压力信号。控制器单元，其电性连接于力传感器机构用于接收由力传感器机构产生的压力信号，其中该控制器单元也电性连接于力驱动器机构用于调整由力驱动器机构产生的轴向驱动力的大小，以对接收到的由力传感器机构产生的压力信号做出回应。

4. 发明专利

TW273003B 構造物之震動控制裝置(一) 无效
简体标题：构造物之震动控制设备(一)
公开(公告)号：TW273003B
公开(公告)日：1996-03-21
申请号：TW082105395
申请日：1993-07-06
申请人：鹿島建設股份有限公司
发明人：大類哲 , 小鹿紀英 , 西村功 , 佐佐木勝康 , 本光雄
IPC分类号： E04H
CPC分类号： F16F15/02 , E04B1/985 , F16F7/1005

5. 发明专利

TW200951476A 振動感測器及隔振系統 A VIBRATION SENSOR AND A SYSTEM TO ISOLATE VIBRATIONS 审中-公开
简体标题：振动传感器及隔振系统 A VIBRATION SENSOR AND A SYSTEM TO ISOLATE VIBRATIONS
公开(公告)号：TW200951476A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：TW098116080
申请日：2009-05-15
申请人：荷蘭TNO自然科學組織公司
发明人：方吉彼托斯魯夫斯 , 瑞偉德尼克 , 凡德度托尼斯可尼里斯
IPC分类号： G01V
CPC分类号： F16F15/02 , F16F7/1005
摘要：一種振動感測器(9)包括一參考質量(10)、一支撐該參考質量(10)之彈性元件(11)及一支撐該彈性元件(11)之基座(13)，且進一步包括一用於判定該參考質量(10)與該基座(13)間距離之位移感測器(12)。根據本發明，該振動感測器包括：一位於該彈性元件(11)與該基座(13)之間的致動器(14)；一第二位移感測器(15)；及一用於向該致動器(14)提供一輸出訊號之控制器(16)。
简体摘要：一种振动传感器(9)包括一参考质量(10)、一支撑该参考质量(10)之弹性组件(11)及一支撑该弹性组件(11)之基座(13)，且进一步包括一用于判定该参考质量(10)与该基座(13)间距离之位移传感器(12)。根据本发明，该振动传感器包括：一位于该弹性组件(11)与该基座(13)之间的致动器(14)；一第二位移传感器(15)；及一用于向该致动器(14)提供一输出信号之控制器(16)。

6. 发明专利

TW200602828A 振動控制裝置 VIBRATION CONTROL DEVICE 审中-公开
简体标题：振动控制设备 VIBRATION CONTROL DEVICE
公开(公告)号：TW200602828A
公开(公告)日：2006-01-16
申请号：TW094110981
申请日：2005-04-07
申请人：發那科股份有限公司 FANUC LTD.
发明人：二瓶亮 NIHEI, RYO , 加藤哲朗 KATO, TETSUAKI , 有田創一 ARITA, SOICHI
IPC分类号： G05B
CPC分类号： G05D19/02 , B60G2202/25 , B60G2400/206 , B60G2600/09 , B60G2600/124 , B60G2600/1872 , B60G2600/1873 , B60G2800/162 , F16F7/1005 , F16F15/02
摘要：一種控制裝置用於在抑制機器中可動部分產生之振動的同時，控制可動部分之移動。該控制裝置包括一狀態變數估計部段，用於在該機器中一受控系統之狀態變數，以及輸出一估計狀態變數；用於輸出該受控系統之理想受控變數的一參考模型；一補償器，用於根據該估計狀態變數及該理想受控變數間之差異，計算用以為該受控系統校正一控制輸入的一補償值；以及一回饋控制部段，用以根據一所欲命令值及該估計狀態變數和該理想受控變數其中之一之間的偏差，來判定該控制輸入。藉由把透過該回饋控制部段判定之控制輸入使用透過該補償器計算之補償值來加以校正而取得的一校正控制輸入，被輸入至該受控系統以及該狀態變數估計部段及該參考模型。
简体摘要：一种控制设备用于在抑制机器中可动部分产生之振动的同时，控制可动部分之移动。该控制设备包括一状态变量估计部段，用于在该机器中一受控系统之状态变量，以及输出一估计状态变量；用于输出该受控系统之理想受控变量的一参考模型；一补偿器，用于根据该估计状态变量及该理想受控变量间之差异，计算用以为该受控系统校正一控制输入的一补偿值；以及一回馈控制部段，用以根据一所欲命令值及该估计状态变量和该理想受控变量其中之一之间的偏差，来判定该控制输入。借由把透过该回馈控制部段判定之控制输入使用透过该补偿器计算之补偿值来加以校正而取得的一校正控制输入，被输入至该受控系统以及该状态变量估计部段及该参考模型。

7. 发明专利

TW378187B 用於直昇機齒輪箱裝置的積極式噪音控制系統失效
简体标题：用于直升机齿轮箱设备的积极式噪音控制系统
公开(公告)号：TW378187B
公开(公告)日：2000-01-01
申请号：TW087121180
申请日：1998-12-18
申请人：西可斯基飛機公司
发明人：威廉A.魏爾許 , 小查理斯A.尤爾奇
IPC分类号： B64C
CPC分类号： B64C27/001 , B64C2220/00 , F16F7/1005 , F16F15/02
摘要：一種直昇機用積極式噪音控制系統，用以使機室結構所拘限之機室內不想要的聲頻噪音最小化，其中該不想要的聲頻噪音是由從齒輪箱發出的高頻結構振動產生，並且其中該齒輪箱有多數個固著腳座用以在多數個結構介面結構性地連接該齒輪箱到機室結構。該積極式噪音控制系統包含了被配置與機室結合的感測器子系統用以感測機室內不想要的聲頻噪音;被配置與該多數個固著腳座中至少一個結合的致動器子系統;以及控制器，功能上相互連接感測器子系統到致動器子系統，該控制器之功用為從感測器子系統接收輸入並且反應於其而傳送命令信號到致動器子系統，用以產生至少一個與高頻振動交互作用的高頻逆振動以便使機室內不想要的聲頻噪音最小化。積極式噪音控制系統更包括了至少一個安裝盤被連接至接近相對應結構介面的固著腳座，並且其中該致動器子系統更包括了至少一個被配置與該安裝盤結合的結構致動器。
简体摘要：一种直升机用积极式噪音控制系统，用以使机室结构所拘限之机室内不想要的声频噪音最小化，其中该不想要的声频噪音是由从齿轮箱发出的高频结构振动产生，并且其中该齿轮箱有多数个固着脚座用以在多数个结构界面结构性地连接该齿轮箱到机室结构。该积极式噪音控制系统包含了被配置与机室结合的传感器子系统用以传感机室内不想要的声频噪音;被配置与该多数个固着脚座中至少一个结合的致动器子系统;以及控制器，功能上相互连接传感器子系统到致动器子系统，该控制器之功用为从传感器子系统接收输入并且反应于其而发送命令信号到致动器子系统，用以产生至少一个与高频振动交互作用的高频逆振动以便使机室内不想要的声频噪音最小化。积极式噪音控制系统更包括了至少一个安装盘被连接至接近相对应结构界面的固着脚座，并且其中该致动器子系统更包括了至少一个被配置与该安装盘结合的结构致动器。

8. 发明专利

TWI600845B 制振裝置有权
简体标题：制振设备
公开(公告)号：TWI600845B
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW102131542
申请日：2013-09-02
申请人：三菱重工機電系統股份有限公司 , MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES MECHATRONICS SYSTEMS, LTD. , 三菱重工業股份有限公司 , MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：山科勇輔 , YAMASHINA, YUSUKE , 門前唯明 , MONZEN, TADAAKI , 久保充司 , KUBO, ATSUSHI
IPC分类号： F16F15/00 , F16F15/02
CPC分类号： E04B1/985 , E04H9/027 , E04H2009/026 , F16F7/1005 , G05B19/404 , G05B2219/39199

9. 发明专利

TWI528119B 工作件台與光罩台共用的平衡品質系統及光蝕刻機有权
简体标题：工作件台与光罩台共享的平衡品质系统及光蚀刻机
公开(公告)号：TWI528119B
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW102138033
申请日：2013-10-22
申请人：上海微電子裝備有限公司
发明人：王天明
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/709 , F16F7/10 , F16F7/1005 , F16F15/002 , G03F7/70716 , G03F7/70766 , G03F7/70808 , G03F7/70816 , G03F7/70833

10. 发明专利

TWI474124B 微影裝置，投影組件及主動阻尼有权
简体标题：微影设备，投影组件及主动阻尼
公开(公告)号：TWI474124B
公开(公告)日：2015-02-21
申请号：TW097138343
申请日：2008-10-03
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：馬克威海瑪馬里亞范德威斯特 , VAN DER WIJST, MARC WILHELMUS MARIA , 艾瑞克羅勒夫洛卜史塔 , LOOPSTRA, ERIK ROELOF , 柯納路斯亞德安那司蘭波特思迪亨 , DE HOON, CORNELIUS ADRIANUS LAMBERTUS
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/709 , F16F7/1005

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