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1. 发明专利

TW201814158A 一種基於奈米碳管的致動器的製備方法审中-公开
简体标题：一种基于奈米碳管的致动器的制备方法
公开(公告)号：TW201814158A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW105134423
申请日：2016-10-25
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：馬赫 , MA, HE , 魏洋 , WEI, YANG , 劉鍇 , LIU, KAI , 姜開利 , JIANG, KAI-LI , 范守善 , FAN, SHOU-SHAN
IPC分类号： F03G7/06 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0024 , B01J21/185 , B01J23/8472 , B01J23/888 , B81B2201/031 , C01B32/162 , F03G7/005 , F03G7/08 , F05B2250/84 , H01M4/48
摘要：本發明涉及一種致動器的製備方法，該方法包括以下步驟：提供一奈米碳管層；在所述奈米碳管層的表面設置一氧化釩層；以及在含氧氣氛中退火使所述氧化釩層轉變為二氧化釩層。本發明的致動器採用奈米碳管層與二氧化釩層複合結構。由於二氧化釩層相變時形變較大，回應速率快，因此該致動器具有較大的形變和較快的回應速率。
简体摘要：本发明涉及一种致动器的制备方法，该方法包括以下步骤：提供一奈米碳管层；在所述奈米碳管层的表面设置一氧化钒层；以及在含氧气氛中退火使所述氧化钒层转变为二氧化钒层。本发明的致动器采用奈米碳管层与二氧化钒层复合结构。由于二氧化钒层相变时形变较大，回应速率快，因此该致动器具有较大的形变和较快的回应速率。

2. 发明专利

TW476082B 同平面微機電結構熱致動器及相關製造方法失效
简体标题：同平面微机电结构热致动器及相关制造方法
公开(公告)号：TW476082B
公开(公告)日：2002-02-11
申请号：TW089117985
申请日：2000-09-02
申请人： JDS尤尼費斯公司
发明人：維加亞庫馬 R 德戶勒 , 艾德華希爾 , 艾倫寇文
IPC分类号： H01H , F15C
CPC分类号： F16K99/0001 , B81B3/0024 , B81B2201/031 , F03G7/06 , F15C5/00 , F16K99/0007 , F16K99/0036 , F16K99/0042 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , H01H1/0036 , H01H37/32 , H01H2037/008 , Y10S310/06
摘要：本發明係提供一種微機電結構(MEMS)熱致動器裝置，其可在一大致平行於一基板表面之平面中提供線性位移。此外，本發明之微機電結構熱致動器可提供於一自容式加熱機構，係利用低功率消耗及低操作溫度以供熱致動器致動。微機電結構熱致動器包括一微電子基板，具有一第一表面；及至少一錨是件結構，係固定於第一表面。一合成樑係自錨是件延伸，且覆蓋基板之第一表面，合成樑適可用於熱致動，使其沿著一大致延伸平行於微電子基板第一表面之預定路徑，而可控制地偏折。在一實施例中，合成樑包含至少二層，其具有對應不同之熱膨脹係數材料，依此，當熱能量供給至合成樑時，諸層將有不同反應。一導電性路徑可延伸穿過合成樑，以進行熱致動。在本發明之一實施例中，一雙層式合成樑包含一半導體材料之一第一層及一金屬材料之一第二層：半導體材料可在製造期間做選擇性摻雜，以利產生一自容式加熱機構於合成樑內。本發明亦包含一微機電結構熱致動器，其包括二或多合成樑，二或多合成樑可成列狀或聚攏，使得多數合成樑可得利於整體力之相乘性，因此可做較大及較為線性之位移距離。本發明亦實施於一製造本發明微機電結構熱致動器之方法中。
简体摘要：本发明系提供一种微机电结构(MEMS)热致动器设备，其可在一大致平行于一基板表面之平面中提供线性位移。此外，本发明之微机电结构热致动器可提供于一自容式加热机构，系利用低功率消耗及低操作温度以供热致动器致动。微机电结构热致动器包括一微电子基板，具有一第一表面；及至少一锚是件结构，系固定于第一表面。一合成梁系自锚是件延伸，且覆盖基板之第一表面，合成梁适可用于热致动，使其沿着一大致延伸平行于微电子基板第一表面之预定路径，而可控制地偏折。在一实施例中，合成梁包含至少二层，其具有对应不同之热膨胀系数材料，依此，当热能量供给至合成梁时，诸层将有不同反应。一导电性路径可延伸穿过合成梁，以进行热致动。在本发明之一实施例中，一双层式合成梁包含一半导体材料之一第一层及一金属材料之一第二层：半导体材料可在制造期间做选择性掺杂，以利产生一自容式加热机构于合成梁内。本发明亦包含一微机电结构热致动器，其包括二或多合成梁，二或多合成梁可成列状或聚拢，使得多数合成梁可得利于整体力之相乘性，因此可做较大及较为线性之位移距离。本发明亦实施于一制造本发明微机电结构热致动器之方法中。

3. 发明专利

TWI569571B 超低功率熱致動振盪器及其驅動電路有权
简体标题：超低功率热致动振荡器及其驱动电路
公开(公告)号：TWI569571B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW104120435
申请日：2015-06-25
申请人：國立清華大學 , NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
发明人：李昇憲 , LI, SHENG-SHIAN , 李冠賢 , LEE, KUAN-HSIEN , 陳政吉 , CHEN, CHENG-CHI
IPC分类号： H03B28/00
CPC分类号： H03B5/30 , B81B3/0081 , B81B2201/031 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03B5/04 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H2009/02291 , H03H2009/02307 , H03H2009/02322

4. 发明专利

TW502003B 結合水平及垂直方向之熱致動器失效
简体标题：结合水平及垂直方向之热致动器
公开(公告)号：TW502003B
公开(公告)日：2002-09-11
申请号：TW090121199
申请日：2001-08-28
申请人： 3M新設資產公司
发明人：比利李維文 , 道格拉斯保羅勾茲 , 凱西李海根 , 邁可艾德華漢摩里 , 羅勃吉史密斯 , 西瓦柯斯婷絲絲
IPC分类号： B81B
CPC分类号： B81B3/0024 , B81B2201/031 , H01H1/0036 , H01H61/01 , H01H2001/0068 , H01H2061/006 , H01H2061/008
摘要：本發明揭示一種微米尺寸、單級之水平及垂直熱致動器，其能夠可重複及快速地將一微米尺寸之光學裝置移離一基板之表面。該水平及垂直熱致動器建構在一基板之表面上。至少一熱支臂具有扣牢至該表面之第一端點及位於該表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至該表面之第一端點及一自由端。該冷支臂係相對該表面位於該熱支臂上方及由該熱支臂橫側偏離。該冷支臂被設計成適於接近其第一端點提供受到控制之彎曲作用。一構件以機械及電的方式耦合該熱及冷支臂之自由端，使得當電流施加至該至少一熱支臂時，該致動器呈現水平及垂直位移。
简体摘要：本发明揭示一种微米尺寸、单级之水平及垂直热致动器，其能够可重复及快速地将一微米尺寸之光学设备移离一基板之表面。该水平及垂直热致动器建构在一基板之表面上。至少一热支臂具有扣牢至该表面之第一端点及位于该表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至该表面之第一端点及一自由端。该冷支臂系相对该表面位于该热支臂上方及由该热支臂横侧偏离。该冷支臂被设计成适于接近其第一端点提供受到控制之弯曲作用。一构件以机械及电的方式耦合该热及冷支臂之自由端，使得当电流施加至该至少一热支臂时，该致动器呈现水平及垂直位移。

5. 发明专利

TW472118B 具有單一結晶化元件之微型電氣機械閥及相關製造方法失效
简体标题：具有单一结晶化组件之微型电气机械阀及相关制造方法
公开(公告)号：TW472118B
公开(公告)日：2002-01-11
申请号：TW089117777
申请日：2000-08-31
申请人： JDS尤尼費斯公司
发明人：維加亞庫馬 R 德戶勒 , 馬克大衛沃特
IPC分类号： F15C
CPC分类号： F15C5/00 , B81B3/0051 , B81B2201/031 , B81B2201/054 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , B81C2203/031 , B81C2203/036 , F16K99/0001 , F16K99/0007 , F16K99/0009 , F16K99/0011 , F16K99/0036 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , H01H2001/0042
摘要：在此提出一種微型電氣機械(MEMS)裝置，其包括一微電子基體及一熱促動微型致動器以及位在該基體上且由單一結晶化材料形成為一單元化結構之相關元件，其中此等相關元件由該微型致動器熱促動之後引動。舉例來說，該微型電氣機械裝置可為一閥。因此，該閥可包括至少一閥片可控制地由該微型致動器之選擇性促動與在該微電子基體內之至少一閥門口接合。儘管該微型電氣機械裝置得包括各式微型致動器，該微型致動器有利地包括配置在該基體上之一對相隔支撐件以及在該對支撐件間延伸之至少一拱樑。藉由加熱該微型致動器之至少一拱樑，該等拱樑會更為彎拱使該微型致動器在一關閉位置(其中該閥片與該閥門口密封地接合)與一開放位置(其中該閥片至少局部脫離該閥門口且未密封)間移動。該微型致動器更可在該等拱樑之末稍部分包括金屬化軌線(traces)以將該等拱樑之熱促動區域限制在其中間部分。該閥方可包括閂鎖用來將該閥片維持於一期望位置而不用持續對該微型致動器輸入能量。在此亦提出一種製造具有單元化結構單一結晶化元件之微型電氣機械閥約有利方法。
简体摘要：在此提出一种微型电气机械(MEMS)设备，其包括一微电子基体及一热促动微型致动器以及位在该基体上且由单一结晶化材料形成为一单元化结构之相关组件，其中此等相关组件由该微型致动器热促动之后引动。举例来说，该微型电气机械设备可为一阀。因此，该阀可包括至少一阀片可控制地由该微型致动器之选择性促动与在该微电子基体内之至少一阀门口接合。尽管该微型电气机械设备得包括各式微型致动器，该微型致动器有利地包括配置在该基体上之一对相隔支撑件以及在该对支撑件间延伸之至少一拱梁。借由加热该微型致动器之至少一拱梁，该等拱梁会更为弯拱使该微型致动器在一关闭位置(其中该阀片与该阀门口密封地接合)与一开放位置(其中该阀片至少局部脱离该阀门口且未密封)间移动。该微型致动器更可在该等拱梁之末稍部分包括金属化轨线(traces)以将该等拱梁之热促动区域限制在其中间部分。该阀方可包括闩锁用来将该阀片维持于一期望位置而不用持续对该微型致动器输入能量。在此亦提出一种制造具有单元化结构单一结晶化组件之微型电气机械阀约有利方法。

6. 发明专利

TW201640816A 超低功率熱致動振盪器及其驅動電路审中-公开
简体标题：超低功率热致动振荡器及其驱动电路
公开(公告)号：TW201640816A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：TW104120435
申请日：2015-06-25
申请人：國立清華大學 , NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
发明人：李昇憲 , LI, SHENG-SHIAN , 李冠賢 , LEE, KUAN-HSIEN , 陳政吉 , CHEN, CHENG-CHI
IPC分类号： H03B28/00
CPC分类号： H03B5/30 , B81B3/0081 , B81B2201/031 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03B5/04 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H2009/02291 , H03H2009/02307 , H03H2009/02322
摘要：本發明係揭露一種超低功率熱致動振盪器及其驅動電路，超低功率熱致動振盪器包含質量塊、熱致動元件及複數個驅動件。質量塊為對稱配置且由彈簧結構懸空連接於基板上。熱致動元件為線結構以有效減低運動阻抗和降低直流功率，其中，熱致動元件與質量塊或彈簧結構相連接。複數個驅動件則分別設置在熱致動元件兩側以提供驅動電流。當驅動電流流經熱致動元件時，使熱致動元件產生變形，以驅動質量塊產生振盪。
简体摘要：本发明系揭露一种超低功率热致动振荡器及其驱动电路，超低功率热致动振荡器包含质量块、热致动组件及复数个驱动件。质量块为对称配置且由弹簧结构悬空连接于基板上。热致动组件为线结构以有效减低运动阻抗和降低直流功率，其中，热致动组件与质量块或弹簧结构相连接。复数个驱动件则分别设置在热致动组件两侧以提供驱动电流。当驱动电流流经热致动组件时，使热致动组件产生变形，以驱动质量块产生振荡。

7. 发明专利

TW520340B 具有可控制彎度之直接作用直立式熱致動器失效
简体标题：具有可控制弯度之直接作用直立式热致动器
公开(公告)号：TW520340B
公开(公告)日：2003-02-11
申请号：TW090122243
申请日：2001-09-07
申请人： 3M新設資產公司
发明人：比利李威文 , 道格拉斯保羅葛茲 , 凱西李海根 , 邁可愛德華海默利 , 羅伯吉史密斯 , 西娃克利斯丁絲斯
IPC分类号： B81B
CPC分类号： B81B3/0024 , B81B3/0037 , B81B2201/031 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/058 , B82Y15/00 , H01H2061/006 , H01H2061/008
摘要：一種具有可控制彎度之微米尺寸、單級、直立式熱致動器其係能夠重複並快速地將微米尺寸之光學元件移離基板之表面。直立式熱致動器係建構在基板之一表面上。至少一熱臂件之第一端部係固定至表面上以及一自由端部係位在表面上。冷臂件具有固定至表面上之第一端部及一自由端部。冷臂件相對於表面係位在熱臂件上方。冷臂件係設計用以提供接近其第一端部處之可控制的彎度。一構件以機械與電氣方式與熱及冷臂件之自由端部連接，以致致動器大致上在彎曲部分處彎曲因此當至少施以電流至熱臂件時該構件自基板移離。
简体摘要：一种具有可控制弯度之微米尺寸、单级、直立式热致动器其系能够重复并快速地将微米尺寸之光学组件移离基板之表面。直立式热致动器系建构在基板之一表面上。至少一热臂件之第一端部系固定至表面上以及一自由端部系位在表面上。冷臂件具有固定至表面上之第一端部及一自由端部。冷臂件相对于表面系位在热臂件上方。冷臂件系设计用以提供接近其第一端部处之可控制的弯度。一构件以机械与电气方式与热及冷臂件之自由端部连接，以致致动器大致上在弯曲部分处弯曲因此当至少施以电流至热臂件时该构件自基板移离。

8. 发明专利

TW517041B 直接作用之垂直熱致動器失效
简体标题：直接作用之垂直热致动器
公开(公告)号：TW517041B
公开(公告)日：2003-01-11
申请号：TW090121174
申请日：2001-08-28
申请人： 3M新設資產公司
发明人：比利李維文 , 道格拉斯保羅勾茲 , 凱西李海根 , 邁可艾德華漢摩里 , 羅勃吉史密斯 , 西瓦 K 絲絲
IPC分类号： B81B
CPC分类号： G02B6/358 , B81B3/0024 , B81B3/0037 , B81B2201/031 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/053 , B82Y15/00 , G02B6/352 , G02B6/3576 , H01G5/18 , H01H1/0036 , H01H61/04 , H01H2061/006 , H01H2061/008
摘要：本發明揭示一種微米尺寸設計、單級之垂直熱致動器，其能夠可重複及快速地將微米尺寸設計之光學裝置移離一基板之表面。在一基板之表面上製成該垂直熱致動器。至少一熱支臂具有扣牢至該表面之第一端點及位於該表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至該表面之第一端點及一自由端。該冷支臂係相對該表面位於該熱支臂上方。一構件機械及電耦合該熱及冷支臂之自由端，以致當電流施加至該至少一熱支臂時，該構件移離該基板。該熱支臂可視需要包含一接地翼片，以使該冷支臂之熱膨脹減至最低。
简体摘要：本发明揭示一种微米尺寸设计、单级之垂直热致动器，其能够可重复及快速地将微米尺寸设计之光学设备移离一基板之表面。在一基板之表面上制成该垂直热致动器。至少一热支臂具有扣牢至该表面之第一端点及位于该表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至该表面之第一端点及一自由端。该冷支臂系相对该表面位于该热支臂上方。一构件机械及电耦合该热及冷支臂之自由端，以致当电流施加至该至少一热支臂时，该构件移离该基板。该热支臂可视需要包含一接地翼片，以使该冷支臂之热膨胀减至最低。

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