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1. 发明专利

TW201512076A 微機械構件與製造微機械構件的方法审中-公开
简体标题：微机械构件与制造微机械构件的方法
公开(公告)号：TW201512076A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW103122758
申请日：2014-07-02
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：凱爾貝爾阿爾德 , KAELBERER, ARND , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 克拉森約翰尼斯 , CLASSEN, JOHANNES
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00 , B81B3/00 , H04R1/00
CPC分类号： B81B3/0037 , B81B3/0021 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/012 , B81B2207/095 , B81C1/00682 , G01L9/0072 , H04R19/04 , H04R31/00
摘要：本發明係有關於一種微機械構件，具有基板(10)，其包括在該基板(10)的功能性頂面(10a)中結構化之空腔(12)；至少部分導電的膜片(24)，其將該空腔(12)至少部分覆蓋；及，對應電極(42)，其以間隔一定距離的方式佈置在該膜片(24)的一遠離該基板(10)的外側上，使得在該對應電極(42)與該至少部分導電的膜片(24)之間存在自由空間(52)，其中，該至少部分導電的膜片(24)係夾緊在至少部分地遮蓋該基板(10)之功能性頂面(10a)的至少一絕緣材料(20)上或上方，以及，在該空腔(12)上以某種方式構建有至少一壓力入口(56)，使得該至少部分導電的膜片(24)可藉由一自該微機械構件之外部環境流入該空腔(12)的氣態介質而朝該自由空間(52)彎曲。本發明亦有關於一種製造微機械構件的製造方法。
简体摘要：本发明系有关于一种微机械构件，具有基板(10)，其包括在该基板(10)的功能性顶面(10a)中结构化之空腔(12)；至少部分导电的膜片(24)，其将该空腔(12)至少部分覆盖；及，对应电极(42)，其以间隔一定距离的方式布置在该膜片(24)的一远离该基板(10)的外侧上，使得在该对应电极(42)与该至少部分导电的膜片(24)之间存在自由空间(52)，其中，该至少部分导电的膜片(24)系夹紧在至少部分地遮盖该基板(10)之功能性顶面(10a)的至少一绝缘材料(20)上或上方，以及，在该空腔(12)上以某种方式构建有至少一压力入口(56)，使得该至少部分导电的膜片(24)可借由一自该微机械构件之外部环境流入该空腔(12)的气态介质而朝该自由空间(52)弯曲。本发明亦有关于一种制造微机械构件的制造方法。

2. 发明专利

TW472402B 微機械驅動裝置及其製造方法失效
简体标题：微机械驱动设备及其制造方法
公开(公告)号：TW472402B
公开(公告)日：2002-01-11
申请号：TW090102092
申请日：2001-02-01
申请人：林弘毅 , 方維倫
发明人：林弘毅 , 方維倫
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0118 , B81B2203/053
摘要：本案係為一種微機械驅動裝置及其製造方法，應用於驅動一被動物件，該裝置包含：基板，該被動物件係撓性連接於該基板上；一驅動力產生器，設置於該基板上；一傳動桿，其第一部份與第二部份係分別撓性連接於該，驅動力產生器與該被動物件上；以及一支點，設置於該傳動桿與基板之間，其係用以將該驅動力產生器對該傳動桿第一部份所產生之位移，傳送至該傳動桿之第二部份並加以放大，而其製造方法所完成之該傳動桿截面形狀於其厚度方向之表面具有凸出物。
简体摘要：本案系为一种微机械驱动设备及其制造方法，应用于驱动一被动对象，该设备包含：基板，该被动对象系挠性连接于该基板上；一驱动力产生器，设置于该基板上；一传动杆，其第一部份与第二部份系分别挠性连接于该，驱动力产生器与该被动对象上；以及一支点，设置于该传动杆与基板之间，其系用以将该驱动力产生器对该传动杆第一部份所产生之位移，发送至该传动杆之第二部份并加以放大，而其制造方法所完成之该传动杆截面形状于其厚度方向之表面具有凸出物。

3. 发明专利

TWI616396B 製造微機械構件的方法有权
简体标题：制造微机械构件的方法
公开(公告)号：TWI616396B
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：TW103122758
申请日：2014-07-02
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：凱爾貝爾阿爾德 , KAELBERER, ARND , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 克拉森約翰尼斯 , CLASSEN, JOHANNES
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00 , B81B3/00 , H04R1/00
CPC分类号： B81B3/0037 , B81B3/0021 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/012 , B81B2207/095 , B81C1/00682 , G01L9/0072 , H04R19/04 , H04R31/00

4. 发明专利

TW520340B 具有可控制彎度之直接作用直立式熱致動器失效
简体标题：具有可控制弯度之直接作用直立式热致动器
公开(公告)号：TW520340B
公开(公告)日：2003-02-11
申请号：TW090122243
申请日：2001-09-07
申请人： 3M新設資產公司
发明人：比利李威文 , 道格拉斯保羅葛茲 , 凱西李海根 , 邁可愛德華海默利 , 羅伯吉史密斯 , 西娃克利斯丁絲斯
IPC分类号： B81B
CPC分类号： B81B3/0024 , B81B3/0037 , B81B2201/031 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/058 , B82Y15/00 , H01H2061/006 , H01H2061/008
摘要：一種具有可控制彎度之微米尺寸、單級、直立式熱致動器其係能夠重複並快速地將微米尺寸之光學元件移離基板之表面。直立式熱致動器係建構在基板之一表面上。至少一熱臂件之第一端部係固定至表面上以及一自由端部係位在表面上。冷臂件具有固定至表面上之第一端部及一自由端部。冷臂件相對於表面係位在熱臂件上方。冷臂件係設計用以提供接近其第一端部處之可控制的彎度。一構件以機械與電氣方式與熱及冷臂件之自由端部連接，以致致動器大致上在彎曲部分處彎曲因此當至少施以電流至熱臂件時該構件自基板移離。
简体摘要：一种具有可控制弯度之微米尺寸、单级、直立式热致动器其系能够重复并快速地将微米尺寸之光学组件移离基板之表面。直立式热致动器系建构在基板之一表面上。至少一热臂件之第一端部系固定至表面上以及一自由端部系位在表面上。冷臂件具有固定至表面上之第一端部及一自由端部。冷臂件相对于表面系位在热臂件上方。冷臂件系设计用以提供接近其第一端部处之可控制的弯度。一构件以机械与电气方式与热及冷臂件之自由端部连接，以致致动器大致上在弯曲部分处弯曲因此当至少施以电流至热臂件时该构件自基板移离。

5. 发明专利

TW517041B 直接作用之垂直熱致動器失效
简体标题：直接作用之垂直热致动器
公开(公告)号：TW517041B
公开(公告)日：2003-01-11
申请号：TW090121174
申请日：2001-08-28
申请人： 3M新設資產公司
发明人：比利李維文 , 道格拉斯保羅勾茲 , 凱西李海根 , 邁可艾德華漢摩里 , 羅勃吉史密斯 , 西瓦 K 絲絲
IPC分类号： B81B
CPC分类号： G02B6/358 , B81B3/0024 , B81B3/0037 , B81B2201/031 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/053 , B82Y15/00 , G02B6/352 , G02B6/3576 , H01G5/18 , H01H1/0036 , H01H61/04 , H01H2061/006 , H01H2061/008
摘要：本發明揭示一種微米尺寸設計、單級之垂直熱致動器，其能夠可重複及快速地將微米尺寸設計之光學裝置移離一基板之表面。在一基板之表面上製成該垂直熱致動器。至少一熱支臂具有扣牢至該表面之第一端點及位於該表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至該表面之第一端點及一自由端。該冷支臂係相對該表面位於該熱支臂上方。一構件機械及電耦合該熱及冷支臂之自由端，以致當電流施加至該至少一熱支臂時，該構件移離該基板。該熱支臂可視需要包含一接地翼片，以使該冷支臂之熱膨脹減至最低。
简体摘要：本发明揭示一种微米尺寸设计、单级之垂直热致动器，其能够可重复及快速地将微米尺寸设计之光学设备移离一基板之表面。在一基板之表面上制成该垂直热致动器。至少一热支臂具有扣牢至该表面之第一端点及位于该表面上方之一自由端。一冷支臂具有扣牢至该表面之第一端点及一自由端。该冷支臂系相对该表面位于该热支臂上方。一构件机械及电耦合该热及冷支臂之自由端，以致当电流施加至该至少一热支臂时，该构件移离该基板。该热支臂可视需要包含一接地翼片，以使该冷支臂之热膨胀减至最低。

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