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    • 2. 发明专利
    • 控制流體流動之微閥及其方法
    • 控制流体流动之微阀及其方法
    • TW478196B
    • 2002-03-01
    • TW089115263
    • 2000-07-31
    • 寶鹼公司
    • 費茲 薛爾曼費拉迪蒙 加斯頓丹尼爾 奎恩
    • H01M
    • F16K99/0001F15C5/00F16K99/0013F16K99/0036F16K99/0046F16K99/0048F16K99/0051H01M6/50H01M8/04089H01M12/06H02N1/008
    • 一種用以控制流體流動的微閥,包括一本體部,其上至少成形有一個孔,一快門,與本體部毗鄰且實質上與其平行,其上也至少成形有一個孔,以及一驅動機構,用以致使快門相對於本體部轉動,以便將快門帶至與本體部的孔對齊或錯開,以分別使微閥在關閉位置及開啟位置。微閥的驅動機構還包括至少一個位置毗鄰快門的第一梳形驅動器,以及位置毗鄰每一個第一梳形驅動器的第二梳形驅動器。第一梳形驅動器包括一可活動的構件,以使偏移第一梳形驅動器,其中,當第一梳形驅動器構件與快門嚙合時,第一梳形驅動器構件的偏移致使快門轉動一既定量。另一種驅動機構包括至少一個致動器,一轉動齒輪軸毗鄰致動器並與其連接操作,以及一轉動齒輪,連接快門及轉動齒輪軸操作,其中,轉動齒輪軸被致動器驅動後轉動,因此,轉動齒輪及快門也被轉動。還有另一種驅動機構,包括至少一個梳形驅動器,以既定的力撞擊快門的周邊,以使快門轉動一指定量。
    • 一种用以控制流体流动的微阀,包括一本体部,其上至少成形有一个孔,一快门,与本体部毗邻且实质上与其平行,其上也至少成形有一个孔,以及一驱动机构,用以致使快门相对于本体部转动,以便将快门带至与本体部的孔对齐或错开,以分别使微阀在关闭位置及打开位置。微阀的驱动机构还包括至少一个位置毗邻快门的第一梳形驱动器,以及位置毗邻每一个第一梳形驱动器的第二梳形驱动器。第一梳形驱动器包括一可活动的构件,以使偏移第一梳形驱动器,其中,当第一梳形驱动器构件与快门啮合时,第一梳形驱动器构件的偏移致使快门转动一既定量。另一种驱动机构包括至少一个致动器,一转动齿轮轴毗邻致动器并与其连接操作,以及一转动齿轮,连接快门及转动齿轮轴操作,其中,转动齿轮轴被致动器驱动后转动,因此,转动齿轮及快门也被转动。还有另一种驱动机构,包括至少一个梳形驱动器,以既定的力撞击快门的周边,以使快门转动一指定量。
    • 3. 发明专利
    • 具有單一結晶化元件之微型電氣機械閥及相關製造方法
    • 具有单一结晶化组件之微型电气机械阀及相关制造方法
    • TW472118B
    • 2002-01-11
    • TW089117777
    • 2000-08-31
    • JDS尤尼費斯公司
    • 維加亞庫馬 R 德戶勒馬克 大衛 沃特
    • F15C
    • F15C5/00B81B3/0051B81B2201/031B81B2201/054B81B2203/0109B81B2203/051B81C2203/031B81C2203/036F16K99/0001F16K99/0007F16K99/0009F16K99/0011F16K99/0036F16K2099/0074F16K2099/008H01H2001/0042
    • 在此提出一種微型電氣機械(MEMS)裝置,其包括一微電子基體及一熱促動微型致動器以及位在該基體上且由單一結晶化材料形成為一單元化結構之相關元件,其中此等相關元件由該微型致動器熱促動之後引動。舉例來說,該微型電氣機械裝置可為一閥。因此,該閥可包括至少一閥片可控制地由該微型致動器之選擇性促動與在該微電子基體內之至少一閥門口接合。儘管該微型電氣機械裝置得包括各式微型致動器,該微型致動器有利地包括配置在該基體上之一對相隔支撐件以及在該對支撐件間延伸之至少一拱樑。藉由加熱該微型致動器之至少一拱樑,該等拱樑會更為彎拱使該微型致動器在一關閉位置(其中該閥片與該閥門口密封地接合)與一開放位置(其中該閥片至少局部脫離該閥門口且未密封)間移動。該微型致動器更可在該等拱樑之末稍部分包括金屬化軌線(traces)以將該等拱樑之熱促動區域限制在其中間部分。該閥方可包括閂鎖用來將該閥片維持於一期望位置而不用持續對該微型致動器輸入能量。在此亦提出一種製造具有單元化結構單一結晶化元件之微型電氣機械閥約有利方法。
    • 在此提出一种微型电气机械(MEMS)设备,其包括一微电子基体及一热促动微型致动器以及位在该基体上且由单一结晶化材料形成为一单元化结构之相关组件,其中此等相关组件由该微型致动器热促动之后引动。举例来说,该微型电气机械设备可为一阀。因此,该阀可包括至少一阀片可控制地由该微型致动器之选择性促动与在该微电子基体内之至少一阀门口接合。尽管该微型电气机械设备得包括各式微型致动器,该微型致动器有利地包括配置在该基体上之一对相隔支撑件以及在该对支撑件间延伸之至少一拱梁。借由加热该微型致动器之至少一拱梁,该等拱梁会更为弯拱使该微型致动器在一关闭位置(其中该阀片与该阀门口密封地接合)与一开放位置(其中该阀片至少局部脱离该阀门口且未密封)间移动。该微型致动器更可在该等拱梁之末稍部分包括金属化轨线(traces)以将该等拱梁之热促动区域限制在其中间部分。该阀方可包括闩锁用来将该阀片维持于一期望位置而不用持续对该微型致动器输入能量。在此亦提出一种制造具有单元化结构单一结晶化组件之微型电气机械阀约有利方法。
    • 5. 发明专利
    • 同平面微機電結構熱致動器及相關製造方法
    • 同平面微机电结构热致动器及相关制造方法
    • TW476082B
    • 2002-02-11
    • TW089117985
    • 2000-09-02
    • JDS尤尼費斯公司
    • 維加亞庫馬 R 德戶勒艾德華 希爾艾倫 寇文
    • H01HF15C
    • F16K99/0001B81B3/0024B81B2201/031F03G7/06F15C5/00F16K99/0007F16K99/0036F16K99/0042F16K2099/0074F16K2099/008H01H1/0036H01H37/32H01H2037/008Y10S310/06
    • 本發明係提供一種微機電結構(MEMS)熱致動器裝置,其可在一大致平行於一基板表面之平面中提供線性位移。此外,本發明之微機電結構熱致動器可提供於一自容式加熱機構,係利用低功率消耗及低操作溫度以供熱致動器致動。微機電結構熱致動器包括一微電子基板,具有一第一表面;及至少一錨是件結構,係固定於第一表面。一合成樑係自錨是件延伸,且覆蓋基板之第一表面,合成樑適可用於熱致動,使其沿著一大致延伸平行於微電子基板第一表面之預定路徑,而可控制地偏折。在一實施例中,合成樑包含至少二層,其具有對應不同之熱膨脹係數材料,依此,當熱能量供給至合成樑時,諸層將有不同反應。一導電性路徑可延伸穿過合成樑,以進行熱致動。在本發明之一實施例中,一雙層式合成樑包含一半導體材料之一第一層及一金屬材料之一第二層:半導體材料可在製造期間做選擇性摻雜,以利產生一自容式加熱機構於合成樑內。本發明亦包含一微機電結構熱致動器,其包括二或多合成樑,二或多合成樑可成列狀或聚攏,使得多數合成樑可得利於整體力之相乘性,因此可做較大及較為線性之位移距離。本發明亦實施於一製造本發明微機電結構熱致動器之方法中。
    • 本发明系提供一种微机电结构(MEMS)热致动器设备,其可在一大致平行于一基板表面之平面中提供线性位移。此外,本发明之微机电结构热致动器可提供于一自容式加热机构,系利用低功率消耗及低操作温度以供热致动器致动。微机电结构热致动器包括一微电子基板,具有一第一表面;及至少一锚是件结构,系固定于第一表面。一合成梁系自锚是件延伸,且覆盖基板之第一表面,合成梁适可用于热致动,使其沿着一大致延伸平行于微电子基板第一表面之预定路径,而可控制地偏折。在一实施例中,合成梁包含至少二层,其具有对应不同之热膨胀系数材料,依此,当热能量供给至合成梁时,诸层将有不同反应。一导电性路径可延伸穿过合成梁,以进行热致动。在本发明之一实施例中,一双层式合成梁包含一半导体材料之一第一层及一金属材料之一第二层:半导体材料可在制造期间做选择性掺杂,以利产生一自容式加热机构于合成梁内。本发明亦包含一微机电结构热致动器,其包括二或多合成梁,二或多合成梁可成列状或聚拢,使得多数合成梁可得利于整体力之相乘性,因此可做较大及较为线性之位移距离。本发明亦实施于一制造本发明微机电结构热致动器之方法中。