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    • 3. 发明专利
    • 點膠機及點膠針位置校正方法
    • 点胶机及点胶针位置校正方法
    • TW201350206A
    • 2013-12-16
    • TW101121847
    • 2012-06-19
    • 鴻海精密工業股份有限公司HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
    • 黃登聰HUANG, TENG TSUNG余國俊YU, GUO-JUN程功水CHENG, GONG-SHUI
    • B05B13/04B05C5/00
    • B05C21/00B05C5/0212B05C11/00
    • 本發明提供一種點膠機,其包括移動組件、感測組件及點膠組件,該感測組件包括定位座及設置於定位座上的第一光柵及第二光柵,該第一光柵及第二光柵發射光束,該點膠組件設置於移動組件上,該點膠組件包括電控單元、驅動機構及點膠針,驅動機構用於帶動點膠針運動,該移動組件帶動點膠針靠近定位座以遮擋第一光柵及第二光柵發射的光束,該電控單元用於記錄點膠針同時遮擋第一光柵及第二光柵發射的光束時所處的座標點位置,並計算該記錄的座標點位置與一預設的初始座標點位置的變化量,進而依據該變化量控制該驅動機構以調整點膠針的位置。
    • 本发明提供一种点胶机,其包括移动组件、传感组件及点胶组件,该传感组件包括定位座及设置于定位座上的第一光栅及第二光栅,该第一光栅及第二光栅发射光束,该点胶组件设置于移动组件上,该点胶组件包括电控单元、驱动机构及点胶针,驱动机构用于带动点胶针运动,该移动组件带动点胶针靠近定位座以遮挡第一光栅及第二光栅发射的光束,该电控单元用于记录点胶针同时遮挡第一光栅及第二光栅发射的光束时所处的座标点位置,并计算该记录的座标点位置与一默认的初始座标点位置的变化量,进而依据该变化量控制该驱动机构以调整点胶针的位置。
    • 5. 发明专利
    • 基板支持裝置
    • 基板支持设备
    • TW201436095A
    • 2014-09-16
    • TW103107950
    • 2014-03-07
    • 日本發條股份有限公司NHK SPRING CO., LTD.
    • 花待年彥HANAMACHI, TOSHIHIKO橋本大輔HASHIMOTO, DAISUKE石岡泰明ISHIOKA, YASUAKI
    • H01L21/683
    • C23C16/4586B05C21/00C23C16/463H01L21/67109H01L21/68785H01L21/68792
    • 提供基板支持裝置,對晶圓加熱時能均溫加熱板,防止加熱板發生因熱應變所導致之變形,提升晶圓均溫性。本發明之基板支持裝置具有板部及軸部。板部包括於內部具有發熱體之加熱板、具有配置於加熱板下面之第一流道之第一冷卻板及具有配置於加熱板上面之第二流道之第二冷卻板。軸部支持板部且於內部具有接續至發熱體以對其供給電流之配線及對第一及第二流道供給冷媒之配管。第一流道含有從第一冷卻板之中央部朝向外緣部以第一方向環繞之旋渦狀流道。第二流道含有從第二冷卻板之中央部朝向外緣部以相反於第一方向之第二方向環繞之旋渦狀流道。
    • 提供基板支持设备,对晶圆加热时能均温加热板,防止加热板发生因热应变所导致之变形,提升晶圆均温性。本发明之基板支持设备具有板部及轴部。板部包括于内部具有发热体之加热板、具有配置于加热板下面之第一流道之第一冷却板及具有配置于加热板上面之第二流道之第二冷却板。轴部支持板部且于内部具有接续至发热体以对其供给电流之配线及对第一及第二流道供给冷媒之配管。第一流道含有从第一冷却板之中央部朝向外缘部以第一方向环绕之旋涡状流道。第二流道含有从第二冷却板之中央部朝向外缘部以相反于第一方向之第二方向环绕之旋涡状流道。
    • 9. 发明专利
    • 打蠟裝置
    • 打蜡设备
    • TW201304729A
    • 2013-02-01
    • TW100126141
    • 2011-07-25
    • 鴻海精密工業股份有限公司HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
    • 楊明陸YANG, MING LU張亞東ZHANG, YA-DONG張天恩ZHANG, TIAN-EN杜高峰DU, GAO-FENG
    • A47L13/28
    • B24B57/04B05C11/00B05C21/00B24B29/00
    • 一種打蠟裝置,用於對拋光輪打蠟,該打蠟裝置包括支撐機構、調節組件、驅動機構、安裝組件、減速馬達及蠟塊。該支撐機構包括有滑軌,該調節組件滑動地裝設於該滑軌上,該驅動機構裝設於該調節組件上,該安裝組件包括有安裝板,該安裝板安裝於該驅動機構上,該減速馬達裝設於該安裝板上,該蠟塊安裝於該減速馬達上。該打蠟裝置還包括抵持機構,該抵持機構裝設於該支撐機構上且抵持於該調節組件上並能夠控製該調節組件於該滑軌上運動以調節蠟塊對拋光輪之壓力,該驅動機構能夠作垂直該滑軌之伸縮運動以控製該蠟塊對拋光輪打蠟。
    • 一种打蜡设备,用于对抛光轮打蜡,该打蜡设备包括支撑机构、调节组件、驱动机构、安装组件、减速马达及蜡块。该支撑机构包括有滑轨,该调节组件滑动地装设于该滑轨上,该驱动机构装设于该调节组件上,该安装组件包括有安装板,该安装板安装于该驱动机构上,该减速马达装设于该安装板上,该蜡块安装于该减速马达上。该打蜡设备还包括抵持机构,该抵持机构装设于该支撑机构上且抵持于该调节组件上并能够控制该调节组件于该滑轨上运动以调节蜡块对抛光轮之压力,该驱动机构能够作垂直该滑轨之伸缩运动以控制该蜡块对抛光轮打蜡。