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    • 2. 发明专利
    • 在氧化物接合晶圓堆疊中的晶粒封裝
    • 在氧化物接合晶圆堆栈中的晶粒封装
    • TW201907493A
    • 2019-02-16
    • TW106143303
    • 2017-12-11
    • 美商雷神公司RAYTHEON COMPANY
    • 德瑞普 約翰DRAB, JOHN J.米爾恩 傑森MILNE, JASON G.
    • H01L21/56H01L21/78H01L23/31H01L25/065
    • 製造半導體晶圓組件的結構及方法,其將一或多個晶粒封裝於被蝕刻進入氧化物接合之半導體晶圓堆疊的孔腔中。該等方法大致上包括以下步驟:將該晶粒定位在該孔腔中、將該晶粒機械地及電安裝至該晶圓堆疊、及藉由以多數個方式之其中一者將蓋體晶圓接合至該晶圓堆疊而把該晶粒封裝在該孔腔內。半導體處理步驟被應用,以根據上述實施例製成該等組件(例如沈積、退火、化學及機械拋光、蝕刻等)及連接該晶粒(例如凸塊接合、引線互連、超音波接合、氧化物接合等)。
    • 制造半导体晶圆组件的结构及方法,其将一或多个晶粒封装于被蚀刻进入氧化物接合之半导体晶圆堆栈的孔腔中。该等方法大致上包括以下步骤:将该晶粒定位在该孔腔中、将该晶粒机械地及电安装至该晶圆堆栈、及借由以多数个方式之其中一者将盖体晶圆接合至该晶圆堆栈而把该晶粒封装在该孔腔内。半导体处理步骤被应用,以根据上述实施例制成该等组件(例如沉积、退火、化学及机械抛光、蚀刻等)及连接该晶粒(例如凸块接合、引线互连、超音波接合、氧化物接合等)。