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    • 8. 发明专利
    • 以壓差法抑制材料翹曲的方法
    • 以压差法抑制材料翘曲的方法
    • TW201740469A
    • 2017-11-16
    • TW105114374
    • 2016-05-09
    • 印鋐科技有限公司
    • 洪淑慧
    • H01L21/50H01L21/56
    • H01L23/562H01L21/4842H01L21/4846H01L21/56H01L21/67017H01L21/67092H01L21/6732
    • 一種以壓差法抑制材料翹曲的方法,其步驟包括:a.準備複數個載板;b.準備複數個載板抵壓裝置,各該載板抵壓裝置具有相對之一上表面及一下表面,該下表面設置至少一氣囊,該上表面對應至少一該氣囊放置至少一該載板;c.各該載板及各該載板抵壓裝置於一處理腔室內,籠罩在該處理腔室的工作溫度及工作壓力中;d.利用氣囊內部之第一預定壓力和該處理腔室的工作壓力所形成的壓力差,有效抑制載板翹曲變形,大幅度提高了載板的生產品質及降低生產成本。另,藉由真空吸力將氣囊吸附在載板抵壓裝置之下表面,方便取出載板,有效節省人力作業成本。
    • 一种以压差法抑制材料翘曲的方法,其步骤包括:a.准备复数个载板;b.准备复数个载板抵压设备,各该载板抵压设备具有相对之一上表面及一下表面,该下表面设置至少一气囊,该上表面对应至少一该气囊放置至少一该载板;c.各该载板及各该载板抵压设备于一处理腔室内,笼罩在该处理腔室的工作温度及工作压力中;d.利用气囊内部之第一预定压力和该处理腔室的工作压力所形成的压力差,有效抑制载板翘曲变形,大幅度提高了载板的生产品质及降低生产成本。另,借由真空吸力将气囊吸附在载板抵压设备之下表面,方便取出载板,有效节省人力作业成本。