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    • 4. 发明专利
    • 準分子雷射裝置
    • 准分子激光设备
    • TW522619B
    • 2003-03-01
    • TW089120617
    • 2000-10-04
    • 荏原製作所股份有限公司
    • 關口信一大澤將森敏佐藤忠中澤敏治
    • H01S
    • F16C32/0444F16C32/047F16C32/0493F16C32/0497F16C2380/26H01S3/036H01S3/225H02K7/09
    • 一種準分子雷射裝置,包含:其中密封有如鹵素氣體之雷射氣體之容器,配置於容器中之一對放電電極,以產生能使雷射光振盪之放電,以及具有轉軸之循環扇,以在一對放電電極之間產生高速雷射氣體流。轉軸之兩端,由轉子一定子機構可旋轉地予以支撐,或者轉軸之一端,由轉子一定子機構可旋轉地予以支撐,而轉軸之另一端,由磁性軸承予以支撐。該轉子一定子機構包含附接於循環扇之轉軸之轉子、設於與轉子相對之位置之定子、設於定子以提供轉矩給轉子之電動馬達繞組、以及設於定子以產生可浮起及支撐轉子之磁力之位置控制繞組。
    • 一种准分子激光设备,包含:其中密封有如卤素气体之激光气体之容器,配置于容器中之一对放电电极,以产生能使激光光振荡之放电,以及具有转轴之循环扇,以在一对放电电极之间产生高速激光气体流。转轴之两端,由转子一定子机构可旋转地予以支撑,或者转轴之一端,由转子一定子机构可旋转地予以支撑,而转轴之另一端,由磁性轴承予以支撑。该转子一定子机构包含附接于循环扇之转轴之转子、设于与转子相对之位置之定子、设于定子以提供转矩给转子之电动马达绕组、以及设于定子以产生可浮起及支撑转子之磁力之位置控制绕组。