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1. 发明专利

TW555940B 磁性軸承、磁浮裝置及化學氣相沉積裝置有权
简体标题：磁性轴承、磁浮设备及化学气相沉积设备
公开(公告)号：TW555940B
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：TW090109973
申请日：2001-04-26
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：大山敦 , 中澤敏治 , 茨田敏光 , 關口信一 , 篠崎弘行
IPC分类号： F16C , H01S
CPC分类号： F16C32/0465 , F16C32/0459 , F16C32/047 , F16C2300/42
摘要：一種磁性軸承及磁浮裝置，係將磁性軸承之固定子(電磁鐵)的磁極面與旋轉子之間的磁性間隙變小，使其小型化，且具有良好耐腐蝕性。此磁性軸承具有設於旋轉軸上之磁性軸承旋轉子16及設於該旋轉子周圍之磁性軸承固定子41；而磁性軸承固定子具備有：具面向磁性軸承旋轉子而露出之磁極面的固定子核心42、裝設於固定子核心之勵磁線圈43a、於腐蝕性氣體中遮蔽勵磁線圈43a之耐腐蝕構件43。耐腐蝕構件係在勵磁線圈43a埋設於內部之狀態下，將陶瓷或玻璃狀硬化材成形而構成，或是作為以耐腐蝕性材所成之容器43c，或是作為覆蓋構成前述勵磁線圈之導電線之護套。
简体摘要：一种磁性轴承及磁浮设备，系将磁性轴承之固定子(电磁铁)的磁极面与旋转子之间的磁性间隙变小，使其小型化，且具有良好耐腐蚀性。此磁性轴承具有设于旋转轴上之磁性轴承旋转子16及设于该旋转子周围之磁性轴承固定子41；而磁性轴承固定子具备有：具面向磁性轴承旋转子而露出之磁极面的固定子内核42、装设于固定子内核之励磁线圈43a、于腐蚀性气体中屏蔽励磁线圈43a之耐腐蚀构件43。耐腐蚀构件系在励磁线圈43a埋设于内部之状态下，将陶瓷或玻璃状硬化材成形而构成，或是作为以耐腐蚀性材所成之容器43c，或是作为覆盖构成前述励磁线圈之导电线之护套。

2. 发明专利

TW456082B 放電激發式準分子雷射裝置有权
简体标题：放电激发式准分子激光设备
公开(公告)号：TW456082B
公开(公告)日：2001-09-21
申请号：TW088120665
申请日：1999-11-26
申请人：荏原製作所股份有限公司 , 小松製作所股份有限公司
发明人：篠崎弘行 , 關口信一 , 茨田敏光 , 中澤敏治
IPC分类号： H01S
CPC分类号： F16C32/047 , H01S3/036 , H01S3/225
摘要：本發明提供一種雷射容器內雷射氣體之劣化少，粉塵不會流入磁性軸承、電動機，且與雷射氣體接觸部份之損傷少，壽命長之放電激發式準分子雷射裝置。
本發明放電激發式準分子雷射裝置特徵在於具有:雷射容器(l)，封入雷射氣體與收納至少一對用以產生可使雷射光振盪之放電之主放電電極(2、2);連接於雷射容器(l)雨側之外殼(6、7);貫通流風扇(3)，以收納於外殼(6、7)內之磁性軸承(8、9、10、ll)旋轉自如地支承其兩端部，而於一對主放電電極(2、2)間產生高速雷射氣流;電動機12，收納於外殼(7)，而旋轉驅動貫通流風扇(3);雷射氣體流路(61、62)，通過磁性軸承(8、9、10、1l及電動機(12)之轉子側與定子側間之間隙，並橫亙外殼(6、7)之軸向全長延伸，而與雷射容器(l)之內部連通;雷射氣體導入路(60)，自雷射容器(l)內部延伸出，而以外殼(6、7)之端部連通雷射氣體流路(61、62)；以及配置於雷射氣體導入路(60)內之濾器(20、20)。
简体摘要：本发明提供一种激光容器内激光气体之劣化少，粉尘不会流入磁性轴承、电动机，且与激光气体接触部份之损伤少，寿命长之放电激发式准分子激光设备。本发明放电激发式准分子激光设备特征在于具有:激光容器(l)，封入激光气体与收纳至少一对用以产生可使激光光振荡之放电之主放电电极(2、2);连接于激光容器(l)雨侧之外壳(6、7);贯通流风扇(3)，以收纳于外壳(6、7)内之磁性轴承(8、9、10、ll)旋转自如地支承其两端部，而于一对主放电电极(2、2)间产生高速激光气流;电动机12，收纳于外壳(7)，而旋转驱动贯通流风扇(3);激光气体流路(61、62)，通过磁性轴承(8、9、10、1l及电动机(12)之转子侧与定子侧间之间隙，并横亘外壳(6、7)之轴向全长延伸，而与激光容器(l)之内部连通;激光气体导入路(60)，自激光容器(l)内部延伸出，而以外壳(6、7)之端部连通激光气体流路(61、62)；以及配置于激光气体导入路(60)内之滤器(20、20)。

3. 发明专利

TW444423B 激元雷射裝置失效
简体标题：激元激光设备
公开(公告)号：TW444423B
公开(公告)日：2001-07-01
申请号：TW089107213
申请日：2000-04-18
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：關口信一 , 篠崎弘行 , 茨田敏光 , 中澤敏治
IPC分类号： H01S
CPC分类号： F16C32/047 , H01S3/036 , H01S3/225
摘要：本發明的目的是提供一種激元雷射裝置，可以使風扇的轉速保持為定值，即使在內充雷射氣體的氣壓發生變化時，本發明仍可以使在主放電電極之的雷射氣體氣流變得均勻。
該激元雷射裝置包含:一個內部充滿雷射氣體的裝置外殼；設置在該裝置外殼的一對主放電電極，以高重覆率的方式對雷射氣體做放電式的激發;一個風扇，用以在該主放電電極之間產生高速雷射氣體氣流;數個軸承，用以支撐該風扇上的旋轉軸，而且可以讓旋轉軸旋轉;一個用以驅動該風扇的馬達;一個用來檢測該風扇轉速的轉速檢測裝置;以及控制裝置，至少控制提供於該馬達上的電壓和頻率二者之一的變數，控制的方式是根據利用該轉速檢測裝置所測得之該風扇的轉速，控制風扇的轉速到於一定的數值。
简体摘要：本发明的目的是提供一种激元激光设备，可以使风扇的转速保持为定值，即使在内充激光气体的气压发生变化时，本发明仍可以使在主放电电极之的激光气体气流变得均匀。该激元激光设备包含:一个内部充满激光气体的设备外壳；设置在该设备外壳的一对主放电电极，以高重复率的方式对激光气体做放电式的激发;一个风扇，用以在该主放电电极之间产生高速激光气体气流;数个轴承，用以支撑该风扇上的旋转轴，而且可以让旋转轴旋转;一个用以驱动该风扇的马达;一个用来检测该风扇转速的转速检测设备;以及控制设备，至少控制提供于该马达上的电压和频率二者之一的变量，控制的方式是根据利用该转速检测设备所测得之该风扇的转速，控制风扇的转速到于一定的数值。

4. 发明专利

TW426789B 循環風扇裝置及循環風扇驅動用馬達有权
简体标题：循环风扇设备及循环风扇驱动用马达
公开(公告)号：TW426789B
公开(公告)日：2001-03-21
申请号：TW088102116
申请日：1999-02-11
申请人：荏原製作所股份有限公司 , 小松製作所股份有限公司
发明人：關口信一 , 中澤敏治 , 川村毅 , 篠崎弘行 , 茨田敏光
IPC分类号： F04D , F16C
CPC分类号： F04D29/058 , F04D25/06 , F16C32/047 , F16C32/0474 , F16C2300/42 , F16C2360/44
摘要：本發明之循環風扇裝置，係利用軸承按旋轉自如之方式支撐設置於封入有腐蝕性加工氣體(process gas)之氣密容器內的循環風扇2之轉子的構成者，其在用以支撐循環風扇之轉子2-l、2-2的軸承上使用控制型的磁性軸承，將該磁性軸承之徑向磁性軸承4、5及軸向磁性軸承6、7之移位感測器標靶4-1、5-1、6-l、7-1和轉子側磁極4-2、5-2、6-2、7-2固接在循環風扇2之轉子2-1、2-2上且配置在連通於氣密容器的密閉空間內，而與之相對向的移位感測器4-3、5-3、6-3、7-3和定子側磁極4-4、5-4、6-4、7-4係藉由夾介密封外殼(can)14、15、17、18而配置在氣密容器外，其可提供一種即使循環風扇高速旋轉。高負荷亦不會污染加工氣體且不需要維修，更可謀求設置省空間化的循環風扇裝置及循環風扇驅動用馬達。
简体摘要：本发明之循环风扇设备，系利用轴承按旋转自如之方式支撑设置于封入有腐蚀性加工气体(process gas)之气密容器内的循环风扇2之转子的构成者，其在用以支撑循环风扇之转子2-l、2-2的轴承上使用控制型的磁性轴承，将该磁性轴承之径向磁性轴承4、5及轴向磁性轴承6、7之移位传感器标靶4-1、5-1、6-l、7-1和转子侧磁极4-2、5-2、6-2、7-2固接在循环风扇2之转子2-1、2-2上且配置在连通于气密容器的密闭空间内，而与之相对向的移位传感器4-3、5-3、6-3、7-3和定子侧磁极4-4、5-4、6-4、7-4系借由夹介密封外壳(can)14、15、17、18而配置在气密容器外，其可提供一种即使循环风扇高速旋转。高负荷亦不会污染加工气体且不需要维修，更可谋求设置省空间化的循环风扇设备及循环风扇驱动用马达。

5. 发明专利

TW546444B 氣體移送機失效
简体标题：气体移送机
公开(公告)号：TW546444B
公开(公告)日：2003-08-11
申请号：TW089115668
申请日：2000-08-04
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：小島善德 , 中澤敏治 , 關口信一 , 野路伸治
IPC分类号： F04D
CPC分类号： H02K5/128 , F04C18/00 , F04C29/0085 , F04C2220/10 , F04C2240/51 , H02K3/44
摘要：本發明提供一種譬如用作真空幫浦之氣體移送機，具有安裝在可旋轉軸桿上用以移送氣體之幫浦轉子，及用以轉動該可旋轉軸桿之磁阻型馬達。該磁阻型馬達具有定子、圍繞著該定子之馬達轉子、及使該定子與該馬達轉子絕緣之屏蔽構件。該馬達轉子係直接耦合至該可旋轉軸桿及具有多數磁性之凸極。
简体摘要：本发明提供一种譬如用作真空帮浦之气体移送机，具有安装在可旋转轴杆上用以移送气体之帮浦转子，及用以转动该可旋转轴杆之磁阻型马达。该磁阻型马达具有定子、围绕着该定子之马达转子、及使该定子与该马达转子绝缘之屏蔽构件。该马达转子系直接耦合至该可旋转轴杆及具有多数磁性之凸极。

6. 发明专利

TW464734B 磁性軸承裝置失效
简体标题：磁性轴承设备
公开(公告)号：TW464734B
公开(公告)日：2001-11-21
申请号：TW089117044
申请日：2000-08-24
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：中澤敏治 , 茨田敏光 , 大山敦 , 井上正史 , 關口信一 , 篠崎弘行
IPC分类号： F16C
CPC分类号： F16C32/0451 , F16C32/047 , F16C2300/42 , F16C2360/45
摘要：一種磁性軸承裝置，其係具有:電磁鐵，該電磁鐵係用以在電磁力之作用下懸浮一物件;位移感應器，其係用以偵測該懸浮物件之位移;控制器，其係用以經由電纜而傳送一信號至該位移感應器，以及經由電纜而傳送一電流至該電磁鐵;以及非磁性金屬材料製成之保護板，其係插置在該位移感應器與懸浮物件之間。該控制器係包括具有雜訊消除濾波器之懸浮控制系統，該雜訊消除濾波器係用以防止該保護板所造成之異常信號被傳送至該位移感應器。
简体摘要：一种磁性轴承设备，其系具有:电磁铁，该电磁铁系用以在电磁力之作用下悬浮一对象;位移感应器，其系用以侦测该悬浮对象之位移;控制器，其系用以经由电缆而发送一信号至该位移感应器，以及经由电缆而发送一电流至该电磁铁;以及非磁性金属材料制成之保护板，其系插置在该位移感应器与悬浮对象之间。该控制器系包括具有噪声消除滤波器之悬浮控制系统，该噪声消除滤波器系用以防止该保护板所造成之异常信号被发送至该位移感应器。

7. 发明专利

TW522619B 準分子雷射裝置失效
简体标题：准分子激光设备
公开(公告)号：TW522619B
公开(公告)日：2003-03-01
申请号：TW089120617
申请日：2000-10-04
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：關口信一 , 大澤將 , 森敏 , 佐藤忠 , 中澤敏治
IPC分类号： H01S
CPC分类号： F16C32/0444 , F16C32/047 , F16C32/0493 , F16C32/0497 , F16C2380/26 , H01S3/036 , H01S3/225 , H02K7/09
摘要：一種準分子雷射裝置，包含：其中密封有如鹵素氣體之雷射氣體之容器，配置於容器中之一對放電電極，以產生能使雷射光振盪之放電，以及具有轉軸之循環扇，以在一對放電電極之間產生高速雷射氣體流。轉軸之兩端，由轉子一定子機構可旋轉地予以支撐，或者轉軸之一端，由轉子一定子機構可旋轉地予以支撐，而轉軸之另一端，由磁性軸承予以支撐。該轉子一定子機構包含附接於循環扇之轉軸之轉子、設於與轉子相對之位置之定子、設於定子以提供轉矩給轉子之電動馬達繞組、以及設於定子以產生可浮起及支撐轉子之磁力之位置控制繞組。
简体摘要：一种准分子激光设备，包含：其中密封有如卤素气体之激光气体之容器，配置于容器中之一对放电电极，以产生能使激光光振荡之放电，以及具有转轴之循环扇，以在一对放电电极之间产生高速激光气体流。转轴之两端，由转子一定子机构可旋转地予以支撑，或者转轴之一端，由转子一定子机构可旋转地予以支撑，而转轴之另一端，由磁性轴承予以支撑。该转子一定子机构包含附接于循环扇之转轴之转子、设于与转子相对之位置之定子、设于定子以提供转矩给转子之电动马达绕组、以及设于定子以产生可浮起及支撑转子之磁力之位置控制绕组。

8. 发明专利

TW478222B 準分子雷射裝置失效
简体标题：准分子激光设备
公开(公告)号：TW478222B
公开(公告)日：2002-03-01
申请号：TW090101439
申请日：2001-01-20
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：關口信一 , 篠崎弘行
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/041
摘要：本發明提供一種只需較小風扇驅動力之振動小的準分子雷射裝置。
本發明之準分子雷射裝置具備封入雷射氣體的雷射容器、設置在該雷射容器內之用以獲得能夠產生雷射光之振盪的放電之一對主放電電極、於該主放電電極間形成雷射氣體流的貫流扇、於該貫流扇之軸方向的一端與該貫流扇為同軸並向離開該貫流扇的方向凸出而設之旋轉軸、以及支承著該旋轉軸而以單側支承樑式保持前述貫流扇之軸承裝置。
由於將以單側支承樑式支持貫流扇，對於該貫流扇並無因使用軸承時之軸承裝置的荷重所構成的彎曲應力，因此能以理想狀態驅動貫流扇。
简体摘要：本发明提供一种只需较小风扇驱动力之振动小的准分子激光设备。本发明之准分子激光设备具备封入激光气体的激光容器、设置在该激光容器内之用以获得能够产生激光光之振荡的放电之一对主放电电极、于该主放电电极间形成激光气体流的贯流扇、于该贯流扇之轴方向的一端与该贯流扇为同轴并向离开该贯流扇的方向凸出而设之旋转轴、以及支承着该旋转轴而以单侧支承梁式保持前述贯流扇之轴承设备。由于将以单侧支承梁式支持贯流扇，对于该贯流扇并无因使用轴承时之轴承设备的荷重所构成的弯曲应力，因此能以理想状态驱动贯流扇。

9. 发明专利

TW463429B 放電激勵受激準分子雷射裝置有权
简体标题：放电激励受激准分子激光设备
公开(公告)号：TW463429B
公开(公告)日：2001-11-11
申请号：TW089109988
申请日：2000-05-24
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：關口信一 , 篠崎弘行 , 茨田敏光 , 中澤敏治
IPC分类号： H01S
CPC分类号： F16C32/047 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/225
摘要：放電激勵受激準分子雷射裝置包含有盒子、主電極對、用於在主電極對間產生高速雷射氣體流之交叉流動式風扇，此交叉流動式風扇具有由其對立末端突出之可轉動軸、利用軸承以非接觸方式可轉動支撐此可轉動軸之磁性軸承、當磁性軸承處於未運轉時用於支撐可轉動軸之保護軸承、和用於啟動交叉流動式風扇之馬達。此磁性軸承包含有放置在交叉流動式風扇對立兩端之徑向磁性軸承。放置在馬達附近之徑向磁性軸承所具有之軸承剛性大於放置在距馬達較遠處的那一個徑向磁性軸承之軸承剛性。
简体摘要：放电激励受激准分子激光设备包含有盒子、主电极对、用于在主电极对间产生高速激光气体流之交叉流动式风扇，此交叉流动式风扇具有由其对立末端突出之可转动轴、利用轴承以非接触方式可转动支撑此可转动轴之磁性轴承、当磁性轴承处于未运转时用于支撑可转动轴之保护轴承、和用于启动交叉流动式风扇之马达。此磁性轴承包含有放置在交叉流动式风扇对立两端之径向磁性轴承。放置在马达附近之径向磁性轴承所具有之轴承刚性大于放置在距马达较远处的那一个径向磁性轴承之轴承刚性。

10. 发明专利

TW451037B 電動機連體構造之磁性軸承裝置失效
简体标题：电动机连体构造之磁性轴承设备
公开(公告)号：TW451037B
公开(公告)日：2001-08-21
申请号：TW089118561
申请日：2000-09-11
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：茨田敏光 , 大山敦 , 中澤敏治 , 關口信一 , 駒井正和
IPC分类号： F16C
CPC分类号： F16C32/0444 , F16C32/0457
摘要：本發明提供一種不必要施行煩雜之磁性軸承之控制特性的再調整或設定的變更等，而可以經常施行穩定之運轉控制的電動機連體構造之磁性軸承裝置。
本發明係於將旋轉軸11由磁性軸承14A、14B支撐，同時由電動機l2、13驅動之電動機連體構造之磁性軸承裝置中，對磁性軸承與電動機之驅動部，由共同之電源供給部20供給電力，且具備對於該電源供給部之電源變動，使供給於電動機之電源之變動成為預定值以下之電動機驅動電源部23者。
简体摘要：本发明提供一种不必要施行烦杂之磁性轴承之控制特性的再调整或设置的变更等，而可以经常施行稳定之运转控制的电动机连体构造之磁性轴承设备。本发明系于将旋转轴11由磁性轴承14A、14B支撑，同时由电动机l2、13驱动之电动机连体构造之磁性轴承设备中，对磁性轴承与电动机之驱动部，由共同之电源供给部20供给电力，且具备对于该电源供给部之电源变动，使供给于电动机之电源之变动成为预定值以下之电动机驱动电源部23者。

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