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1. 发明专利

TW200416753A 處理一具有高位置精確度物件之裝置 APPARATUS FOR PROCESSING AN OBJECT WITH HIGH POSITION ACCURANCY 审中-公开
简体标题：处理一具有高位置精确度对象之设备 APPARATUS FOR PROCESSING AN OBJECT WITH HIGH POSITION ACCURANCY
公开(公告)号：TW200416753A
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：TW092135569
申请日：2003-12-16
申请人：皇家飛利浦電子股份有限公司 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.
发明人：將凡艾克 VAN EIJK, JAN , 亞將富蘭克林貝克 BAKKER, ARJAN FRANKLIN , 丹尼司艾爾文伯司 BOS, DENNIS ERWIN , 將漢柯耐爾司科伯特 COMPTER, JOHAN CORNELIS , 安居落賽薩彼得提克拉克 DE KLERK, ANGELO CESAR PETER , 富蘭西瑟司馬丁俄司羅依 ROES, FRANCISCUS MARTINUS , 赫伯特吉爾德將約瑟芬阿馬力凡羅門 VROOMEN, HUBERT GERARD JEAN JOSEPH AMAURY , 湯馬仕佩特司漢帝克司瓦馬當 WARMERDAM, THOMAS PETRUS HENDRICUS
IPC分类号： H01F
CPC分类号： F16C32/0472 , F16C32/0444 , G05B2219/41327 , G05B2219/42092 , G05B2219/49276 , H01J37/20 , H01J2237/20278 , H01J2237/3175 , H02K11/22 , H02K41/031
摘要：本發明提供一種裝置，用以於複數個精確受控的位置處來處理一物件(19)，例如一半導體晶圓。該物件(19)係受到一工作平台(12)的支撐，該平台可沿著一條路徑來移動。有一被黏貼至該工作平台(12)的懸浮致動器部件(14)，其含有一軟磁鐵核(24)，該軟磁鐵核具有複數個磁極沿著該條路徑面向該支撐結構上的軟磁元件(34)的表面；以及一線捲(20)，用以施加電流，以便透過該等磁極來產生一行經該鐵核(24)的磁場，並且透過該軟磁元件(34)送回該磁場。有一感測器(17)可感測該懸浮致動器部件(14)相對於該位置參考元件(16)的受測位置。一控制電路包括一外控制電路(40)和一內控制電路(42)。外控制電路(40)可接收感測結果，並且決定作用力設定點資訊，用以將該致動器部件(14)的受測位置調整至所需要的數值。該內控制電路(42)會接收該作用力設定點資訊，並且控制電流，用以根據該作用力設定點資訊來實現該致動器部件(14)和該支撐結構(10)之間的作用力。
简体摘要：本发明提供一种设备，用以于复数个精确受控的位置处来处理一对象(19)，例如一半导体晶圆。该对象(19)系受到一工作平台(12)的支撑，该平台可沿着一条路径来移动。有一被黏贴至该工作平台(12)的悬浮致动器部件(14)，其含有一软磁铁核(24)，该软磁铁核具有复数个磁极沿着该条路径面向该支撑结构上的软磁组件(34)的表面；以及一线卷(20)，用以施加电流，以便透过该等磁极来产生一行经该铁核(24)的磁场，并且透过该软磁组件(34)送回该磁场。有一传感器(17)可传感该悬浮致动器部件(14)相对于该位置参考组件(16)的受测位置。一控制电路包括一外控制电路(40)和一内控制电路(42)。外控制电路(40)可接收传感结果，并且决定作用力设置点信息，用以将该致动器部件(14)的受测位置调整至所需要的数值。该内控制电路(42)会接收该作用力设置点信息，并且控制电流，用以根据该作用力设置点信息来实现该致动器部件(14)和该支撑结构(10)之间的作用力。

2. 发明专利

TW593903B 充氣放電雷射裝置失效
简体标题：充气放电激光设备
公开(公告)号：TW593903B
公开(公告)日：2004-06-21
申请号：TW090113929
申请日：2001-06-08
申请人：荏原製作所股份有限公司 EBARA CORPORATION
发明人：大山敦 ATSUSI OOYAMA , 關口信一 SHINICHI SEKIGUCHI , 篠崎弘行 HIROYUKI SHINOZAKI , 茨田敏光 , 中澤敏治 TOSHIHARU NAKAZAWA
IPC分类号： F16C
CPC分类号： F16C32/0444 , F16C32/0489 , H01S3/036 , H01S3/225
摘要：本發明提供一種充氣放電雷射裝置，該裝置包含雷射機殼，含有雷射充氣；旋轉風扇，設置於該雷射機殼內以循環殼內的氣體；軸承裝置，以磁性方式支撐該旋轉風扇之旋轉軸，該軸承裝置具有感測器裝置，而該感測器裝置包含感測旋轉軸位置的感測器，以產生顯示旋轉軸位置的信號，而且該感測器裝置包含信號處理器，以接收並處理由該感測器所傳送的信號以輸出處理過的信號；以及與該軸承裝置分離且功能上與軸承裝置結合的控制，以接收來自該感測器裝置之處理過的信號以便依據該處理過的信號來控制該軸承裝置。
简体摘要：本发明提供一种充气放电激光设备，该设备包含激光机壳，含有激光充气；旋转风扇，设置于该激光机壳内以循环壳内的气体；轴承设备，以磁性方式支撑该旋转风扇之旋转轴，该轴承设备具有传感器设备，而该传感器设备包含传感旋转轴位置的传感器，以产生显示旋转轴位置的信号，而且该传感器设备包含信号处理器，以接收并处理由该传感器所发送的信号以输出处理过的信号；以及与该轴承设备分离且功能上与轴承设备结合的控制，以接收来自该传感器设备之处理过的信号以便依据该处理过的信号来控制该轴承设备。

3. 发明专利

TWI402436B 混合式軸向磁浮軸承及其工作方法與其轉動體結構有权
简体标题：混合式轴向磁浮轴承及其工作方法与其转动体结构
公开(公告)号：TWI402436B
公开(公告)日：2013-07-21
申请号：TW099146900
申请日：2010-12-30
申请人：私立中原大學 , CHUNG-YUAN CHRISTIAN UNIVERSITY
发明人：范憶華 , FAN, YI HUA , 陳冠宇 , CHEN, KUAN YU , 李應村 , LI, YING TSUN , 廖薏琳 , LIAO, YI LIN
IPC分类号： F16C32/04
CPC分类号： H02K7/09 , F16C32/0444 , F16C32/0465 , F16C32/0468 , F16C32/0476 , F16C32/0478

4. 发明专利

TW201226734A 混合式軸向磁浮軸承及其工作方法與其轉動體結構 AXIAL HYBRID MAGNETIC BEARING, METHOD FOR OPERATION THEREOF, AND STRUCTURE FOR ROTOR THEREOF 审中-公开
简体标题：混合式轴向磁浮轴承及其工作方法与其转动体结构 AXIAL HYBRID MAGNETIC BEARING, METHOD FOR OPERATION THEREOF, AND STRUCTURE FOR ROTOR THEREOF
公开(公告)号：TW201226734A
公开(公告)日：2012-07-01
申请号：TW099146900
申请日：2010-12-30
申请人：私立中原大學
发明人：范憶華 , 陳冠宇 , 李應村 , 廖薏琳
IPC分类号： F16C
CPC分类号： H02K7/09 , F16C32/0444 , F16C32/0465 , F16C32/0468 , F16C32/0476 , F16C32/0478
摘要：本發明揭露一種混合式軸向磁浮軸承，包含：一第一電磁鐵；一第二電磁鐵；以及一轉動體位於此第一與此第二電磁鐵之間，此轉動體具有一永久磁鐵結構，此永久磁鐵結構之位置係相對於此第一與此第二電磁鐵之位置。藉此，藉由永久磁鐵結構之磁力充當此混合式軸向磁浮軸承之偏壓力以降低電力消耗，並藉由此第一與此第二電磁鐵之磁力校調此轉動體之平衡以及避免改變此永久磁鐵結構之磁性。
简体摘要：本发明揭露一种混合式轴向磁浮轴承，包含：一第一电磁铁；一第二电磁铁；以及一转动体位于此第一与此第二电磁铁之间，此转动体具有一永久磁铁结构，此永久磁铁结构之位置系相对于此第一与此第二电磁铁之位置。借此，借由永久磁铁结构之磁力充当此混合式轴向磁浮轴承之偏压力以降低电力消耗，并借由此第一与此第二电磁铁之磁力校调此转动体之平衡以及避免改变此永久磁铁结构之磁性。

5. 发明专利

TW200929802A 低複雜度無軸承無刷直流電動機 REDUCED-COMPLEXITY SELF-BEARING BRUSHLESS DC MOTOR 审中-公开
简体标题：低复杂度无轴承无刷直流电动机 REDUCED-COMPLEXITY SELF-BEARING BRUSHLESS DC MOTOR
公开(公告)号：TW200929802A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：TW097124034
申请日：2008-06-27
申请人：布魯克斯自動機械公司 BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：馬丁荷西 MARTIN HOSEK , 傑洛莫拉 JAIRO TERRA MOURA , 克利斯多華荷菲尼斯達 CHRISTOPHER HOFMEISTER
IPC分类号： H02K , H02P
CPC分类号： F16C32/0444 , F16C32/0493 , F16C2380/26
摘要：電動機換向的方法包括有效連接定子和電動機啓動部件,至少安排兩個與啓動部件相關的繞組,以及至少獨立控制兩個繞組,以便至少通過這兩個繞組驅動啓動部件並使其定中心。
简体摘要：电动机换向的方法包括有效连接定子和电动机启动部件,至少安排两个与启动部件相关的绕组,以及至少独立控制两个绕组,以便至少通过这两个绕组驱动启动部件并使其定中心。

6. 发明专利

TW522619B 準分子雷射裝置失效
简体标题：准分子激光设备
公开(公告)号：TW522619B
公开(公告)日：2003-03-01
申请号：TW089120617
申请日：2000-10-04
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：關口信一 , 大澤將 , 森敏 , 佐藤忠 , 中澤敏治
IPC分类号： H01S
CPC分类号： F16C32/0444 , F16C32/047 , F16C32/0493 , F16C32/0497 , F16C2380/26 , H01S3/036 , H01S3/225 , H02K7/09
摘要：一種準分子雷射裝置，包含：其中密封有如鹵素氣體之雷射氣體之容器，配置於容器中之一對放電電極，以產生能使雷射光振盪之放電，以及具有轉軸之循環扇，以在一對放電電極之間產生高速雷射氣體流。轉軸之兩端，由轉子一定子機構可旋轉地予以支撐，或者轉軸之一端，由轉子一定子機構可旋轉地予以支撐，而轉軸之另一端，由磁性軸承予以支撐。該轉子一定子機構包含附接於循環扇之轉軸之轉子、設於與轉子相對之位置之定子、設於定子以提供轉矩給轉子之電動馬達繞組、以及設於定子以產生可浮起及支撐轉子之磁力之位置控制繞組。
简体摘要：一种准分子激光设备，包含：其中密封有如卤素气体之激光气体之容器，配置于容器中之一对放电电极，以产生能使激光光振荡之放电，以及具有转轴之循环扇，以在一对放电电极之间产生高速激光气体流。转轴之两端，由转子一定子机构可旋转地予以支撑，或者转轴之一端，由转子一定子机构可旋转地予以支撑，而转轴之另一端，由磁性轴承予以支撑。该转子一定子机构包含附接于循环扇之转轴之转子、设于与转子相对之位置之定子、设于定子以提供转矩给转子之电动马达绕组、以及设于定子以产生可浮起及支撑转子之磁力之位置控制绕组。

7. 发明专利

TW451037B 電動機連體構造之磁性軸承裝置失效
简体标题：电动机连体构造之磁性轴承设备
公开(公告)号：TW451037B
公开(公告)日：2001-08-21
申请号：TW089118561
申请日：2000-09-11
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：茨田敏光 , 大山敦 , 中澤敏治 , 關口信一 , 駒井正和
IPC分类号： F16C
CPC分类号： F16C32/0444 , F16C32/0457
摘要：本發明提供一種不必要施行煩雜之磁性軸承之控制特性的再調整或設定的變更等，而可以經常施行穩定之運轉控制的電動機連體構造之磁性軸承裝置。
本發明係於將旋轉軸11由磁性軸承14A、14B支撐，同時由電動機l2、13驅動之電動機連體構造之磁性軸承裝置中，對磁性軸承與電動機之驅動部，由共同之電源供給部20供給電力，且具備對於該電源供給部之電源變動，使供給於電動機之電源之變動成為預定值以下之電動機驅動電源部23者。
简体摘要：本发明提供一种不必要施行烦杂之磁性轴承之控制特性的再调整或设置的变更等，而可以经常施行稳定之运转控制的电动机连体构造之磁性轴承设备。本发明系于将旋转轴11由磁性轴承14A、14B支撑，同时由电动机l2、13驱动之电动机连体构造之磁性轴承设备中，对磁性轴承与电动机之驱动部，由共同之电源供给部20供给电力，且具备对于该电源供给部之电源变动，使供给于电动机之电源之变动成为预定值以下之电动机驱动电源部23者。

8. 发明专利

TWI475783B 將低複雜度無軸承電動機換向之方法及裝置有权
简体标题：将低复杂度无轴承电动机换向之方法及设备
公开(公告)号：TWI475783B
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW097124034
申请日：2008-06-27
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：馬丁荷西 , HOSEK, MARTIN , 傑洛莫拉 , MOURA, JAIRO TERRA , 克利斯多華荷菲尼斯達 , HOFMEISTER, CHRISTOPHER
IPC分类号： H02K13/04 , H02P7/06
CPC分类号： F16C32/0444 , F16C32/0493 , F16C2380/26

9. 发明专利

TW555939B 磁性軸承控制裝置失效
简体标题：磁性轴承控制设备
公开(公告)号：TW555939B
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：TW090109501
申请日：2001-04-20
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：平明子 , 中澤敏治
IPC分类号： F16C
CPC分类号： F16C32/0442 , F16C32/0444 , F16C32/0457 , F16C2360/45 , F16C2380/26 , H02P27/08
摘要：本發明提供一種磁性軸承控制裝置，可於低噪音下運轉馬達，且系統結構簡單、小型而低廉，係具備有：電磁鐵，係至少一對相對向用以支持被浮體；馬達M，係用以使被浮體旋轉；控制器(controller)，係驅動並控制上述各項裝置。
其中，DC/DC轉換器(13)供應驅動電力至驅動馬達M之反相器14。驅動馬達M之反相器14係併用PWM控制方式及PAM控制方式，藉以旋轉並驅動該馬達M。
简体摘要：本发明提供一种磁性轴承控制设备，可于低噪音下运转马达，且系统结构简单、小型而低廉，系具备有：电磁铁，系至少一对相对向用以支持被浮体；马达M，系用以使被浮体旋转；控制器(controller)，系驱动并控制上述各项设备。其中，DC/DC转换器(13)供应驱动电力至驱动马达M之反相器14。驱动马达M之反相器14系并用PWM控制方式及PAM控制方式，借以旋转并驱动该马达M。

10. 发明专利

TW460686B 被安裝成為自由飄浮的轉動轉子體之顫動減低方法及實施此方法之裝置失效
简体标题：被安装成为自由飘浮的转动转子体之颤动减低方法及实施此方法之设备
公开(公告)号：TW460686B
公开(公告)日：2001-10-21
申请号：TW089108688
申请日：2000-05-06
申请人： LDT有限公司及雷射顯示科技兩合公司
发明人：克賴斯特哈德德特
IPC分类号： G01M
CPC分类号： F16C32/0438 , F16C32/0444 , G01M1/225 , G01M1/32 , G01M1/34
摘要：在一種供在一被安裝成為自由飄浮，並在其外部圓周有反射面(13)之轉動轉子體(l)減低顫動之方法，一有既定入射位置之測量束(5)被經過之轉動轉子體(l)之反射面(13)所反射，並在反射後，被導至一位置檢測器(17)，其訊號予以供給至一電腦(22)。在轉子體(l)之一整轉時，此電腦(22)確定位置檢測器(17)所發出訊號之最大及最小值間之差，及與該二值關聯之轉子體(l)之角位置，並自後者，計算供校正裝置之控制訊號(16)。在該轉時或在轉子體(l)之隨後一轉時，此校正裝置(16)在轉子體(l)以一種非接觸方式導致質量分布之變化，並且不以一種致使在轉子體(l)之此轉時所確定位置檢測器(17)所發出訊號之最小及最大值間之差小於在前一轉時所確定之差之方式，影響反射面(13)。本案也關於一種供實施此種方法之裝置。
简体摘要：在一种供在一被安装成为自由飘浮，并在其外部圆周有反射面(13)之转动转子体(l)减低颤动之方法，一有既定入射位置之测量束(5)被经过之转动转子体(l)之反射面(13)所反射，并在反射后，被导至一位置检测器(17)，其信号予以供给至一电脑(22)。在转子体(l)之一整转时，此电脑(22)确定位置检测器(17)所发出信号之最大及最小值间之差，及与该二值关联之转子体(l)之角位置，并自后者，计算供校正设备之控制信号(16)。在该转时或在转子体(l)之随后一转时，此校正设备(16)在转子体(l)以一种非接触方式导致质量分布之变化，并且不以一种致使在转子体(l)之此转时所确定位置检测器(17)所发出信号之最小及最大值间之差小于在前一转时所确定之差之方式，影响反射面(13)。本案也关于一种供实施此种方法之设备。

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