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1. 发明专利

TW201324645A 檢測晶圓之系統及方法审中-公开
简体标题：检测晶圆之系统及方法
公开(公告)号：TW201324645A
公开(公告)日：2013-06-16
申请号：TW102106188
申请日：2010-01-13
申请人：聯達科技設備私人有限公司 , SEMICONDUCTOR TECHNOLOGIES & INSTRUMENTS PTE LTD
发明人：阿杰亞拉里阿曼努拉 , AJHARALI, AMANULLAH , 林靖 , LIN, JING , 葛漢成 , GE, HAN-CHENG , 黃國榮 , WONG, KOK-WENG
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G06T7/001 , G06T2207/10152 , G06T2207/20212 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要：本發明揭示一種檢測半導體晶圓的檢測系統。該檢測系統包含一照明裝置，用於提供寬頻照明。該寬頻照明可為不同的對比，例如明視野與暗視野寬頻照明其中之一。該檢測系統進一步包含一第一影像擷取裝置與一第二影像擷取裝置，其每一個都設置成在該半導體晶圓移動中時，接收寬頻照明來擷取該半導體晶圓的影像。該系統包含數個管鏡頭，用於讓該寬頻照明準直。該系統也包含一穩定機構以及一物鏡組合。該系統進一步包含一細線型照明發射器以及一第三影像擷取裝置，用於接收細線型照明，藉以擷取該半導體晶圓的三維影像。該系統包含一反射器組合，來讓該第三影像擷取裝置接收從該半導體晶圓往多個方向反射的照明。
简体摘要：本发明揭示一种检测半导体晶圆的检测系统。该检测系统包含一照明设备，用于提供宽带照明。该宽带照明可为不同的对比，例如明视野与暗视野宽带照明其中之一。该检测系统进一步包含一第一影像截取设备与一第二影像截取设备，其每一个都设置成在该半导体晶圆移动中时，接收宽带照明来截取该半导体晶圆的影像。该系统包含数个管镜头，用于让该宽带照明准直。该系统也包含一稳定机构以及一物镜组合。该系统进一步包含一细线型照明发射器以及一第三影像截取设备，用于接收细线型照明，借以截取该半导体晶圆的三维影像。该系统包含一反射器组合，来让该第三影像截取设备接收从该半导体晶圆往多个方向反射的照明。

2. 发明专利

TWI575625B 檢測晶圓之系統及方法有权
简体标题：检测晶圆之系统及方法
公开(公告)号：TWI575625B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW099100874
申请日：2010-01-13
申请人：聯達科技設備私人有限公司 , SEMICONDUCTOR TECHNOLOGIES & INSTRUMENTS PTE LTD
发明人：阿杰亞拉里阿曼努拉 , AJHARALI, AMANULLAH , 林靖 , LIN, JING , 葛漢成 , GE, HAN-CHENG , 黃國榮 , WONG, KOK-WENG
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G06T7/001 , G06T2207/10152 , G06T2207/20212 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

3. 发明专利

TWI625815B 用於自動校準在膜框架上之晶圓在轉動上的對準誤差之系統與方法有权
简体标题：用于自动校准在膜框架上之晶圆在转动上的对准误差之系统与方法
公开(公告)号：TWI625815B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW102131602
申请日：2013-09-02
申请人：聯達科技設備私人有限公司 , SEMICONDUCTOR TECHNOLOGIES & INSTRUMENTS PTE LTD
发明人：林靖 , LIN, JING
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/66

4. 发明专利

TWI575626B 檢測晶圓之系統及方法有权
简体标题：检测晶圆之系统及方法
公开(公告)号：TWI575626B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW102106188
申请日：2010-01-13
申请人：聯達科技設備私人有限公司 , SEMICONDUCTOR TECHNOLOGIES & INSTRUMENTS PTE LTD
发明人：阿杰亞拉里阿曼努拉 , AJHARALI, AMANULLAH , 林靖 , LIN, JING , 葛漢成 , GE, HAN-CHENG , 黃國榮 , WONG, KOK-WENG
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G06T7/001 , G06T2207/10152 , G06T2207/20212 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

5. 发明专利

TW201438134A 用於自動校準在膜框架上之晶圓在轉動上的對準誤差之系統與方法审中-公开
简体标题：用于自动校准在膜框架上之晶圆在转动上的对准误差之系统与方法
公开(公告)号：TW201438134A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW102131602
申请日：2013-09-02
申请人：聯達科技設備私人有限公司 , SEMICONDUCTOR TECHNOLOGIES & INSTRUMENTS PTE LTD
发明人：林靖 , LIN, JING
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/66
CPC分类号： H01L21/681 , B25J11/0095 , B25J15/0616 , B25J15/0658 , B25J15/0666 , G01B11/27 , G01N21/9501 , G01N2201/025 , H01L21/67144 , H01L21/67706 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , Y10T29/49826
摘要：在檢查系統開始進行晶圓檢查程序之前，自動修正膜框架上安裝不正確的晶圓，包括使用影像擷取裝置擷取晶圓的部分影像；以數位方式判定晶圓相對於框架和(或)影像擷取裝置視野的一組參考軸的旋轉對位誤差角度和旋轉對位誤差方向；以及透過獨立於檢查系統外的框架處理機台，修正晶圓的旋轉對位誤差，此框架處理機台配置為依照與旋轉對位誤差方向相反的方向，將框架旋轉與旋轉對位誤差角度相同的角度。此種框架旋轉可以在將框架放置於晶圓工作台上之前進行，而不減少框架處理的處理量或檢查程序的處理量。
简体摘要：在检查系统开始进行晶圆检查进程之前，自动修正膜框架上安装不正确的晶圆，包括使用影像截取设备截取晶圆的部分影像；以数码方式判定晶圆相对于框架和(或)影像截取设备视野的一组参考轴的旋转对位误差角度和旋转对位误差方向；以及透过独立于检查系统外的框架处理机台，修正晶圆的旋转对位误差，此框架处理机台配置为依照与旋转对位误差方向相反的方向，将框架旋转与旋转对位误差角度相同的角度。此种框架旋转可以在将框架放置于晶圆工作台上之前进行，而不减少框架处理的处理量或检查进程的处理量。

6. 发明专利

TW201126624A 檢測晶圓之系統及方法 SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING A WAFER (2) 审中-公开
简体标题：检测晶圆之系统及方法 SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING A WAFER (2)
公开(公告)号：TW201126624A
公开(公告)日：2011-08-01
申请号：TW099100874
申请日：2010-01-13
申请人：聯達科技設備私人有限公司
发明人：阿杰亞拉里阿曼努拉 , 林靖 , 葛漢成 , 黃國榮
IPC分类号： H01L , G01N
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G06T7/001 , G06T2207/10152 , G06T2207/20212 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要：本發明揭示一種檢測半導體晶圓的檢測系統。該檢測系統包含一照明裝置,用於提供寬頻照明。該寬頻照明可為不同的對比,例如明視野與暗視野寬頻照明其中之一。該檢測系統進一步包含一第一影像擷取裝置與一第二影像擷取裝置,其每一個都設置成在該半導體晶圓移動中時,接收寬頻照明來擷取該半導體晶圓的影像。該系統包含數個管鏡頭,用於讓該寬頻照明準直。該系統也包含一穩定機構以及一物鏡組合。該系統進一步包含一細線型照明發射器以及一第三影像擷取裝置,用於接收細線型照明,藉以擷取該半導體晶圓的三維影像。該系統包含一反射器組合,來讓該第三影像擷取裝置接收從該半導體晶圓往多個方向反射的照明。
简体摘要：本发明揭示一种检测半导体晶圆的检测系统。该检测系统包含一照明设备,用于提供宽带照明。该宽带照明可为不同的对比,例如明视野与暗视野宽带照明其中之一。该检测系统进一步包含一第一影像截取设备与一第二影像截取设备,其每一个都设置成在该半导体晶圆移动中时,接收宽带照明来截取该半导体晶圆的影像。该系统包含数个管镜头,用于让该宽带照明准直。该系统也包含一稳定机构以及一物镜组合。该系统进一步包含一细线型照明发射器以及一第三影像截取设备,用于接收细线型照明,借以截取该半导体晶圆的三维影像。该系统包含一反射器组合,来让该第三影像截取设备接收从该半导体晶圆往多个方向反射的照明。

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