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    • 9. 发明专利
    • 微影用阻劑上層膜形成組成物
    • 微影用阻剂上层膜形成组成物
    • TW201405251A
    • 2014-02-01
    • TW102109628
    • 2013-03-19
    • 日產化學工業股份有限公司NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD.
    • 大西竜慈OHNISHI, RYUJI臼井友輝USUI, YUKI坂本力丸SAKAMOTO, RIKIMARU何邦慶HO, BANGCHING
    • G03F7/11C08G73/10H01L21/027
    • C08G73/14C08L79/08G03F7/11
    • 本發明之課題為提供一種在半導體裝置之製造步驟中使用於微影製程的阻劑上層膜形成組成物,其係不會與阻劑(resist)互混,特別是在EUV曝光之際,將不佳的曝光光源之例如UV或DUV遮斷,並選擇性地僅使EUV穿過,又,曝光後為顯影液可顯影者。解決課題之手段為提供一種阻劑上層膜形成組成物,其係包含下述樹脂與醇系溶劑,其中,前述樹脂為使選自於(a)四羧酸二酐化合物、(b)酸二鹵化合物及(c)具有二羧酸酐基與酸鹵基之雙方之化合物中的1種以上的化合物,與(d)1種以上的二胺化合物反應所製造,且為包含醯胺鍵及醯亞胺鍵中之至少一者。樹脂末端可使用包含芳香環或碳數1至5個之烷基之有機基所封端。
    • 本发明之课题为提供一种在半导体设备之制造步骤中使用于微影制程的阻剂上层膜形成组成物,其系不会与阻剂(resist)互混,特别是在EUV曝光之际,将不佳的曝光光源之例如UV或DUV遮断,并选择性地仅使EUV穿过,又,曝光后为显影液可显影者。解决课题之手段为提供一种阻剂上层膜形成组成物,其系包含下述树脂与醇系溶剂,其中,前述树脂为使选自于(a)四羧酸二酐化合物、(b)酸二卤化合物及(c)具有二羧酸酐基与酸卤基之双方之化合物中的1种以上的化合物,与(d)1种以上的二胺化合物反应所制造,且为包含酰胺键及酰亚胺键中之至少一者。树脂末端可使用包含芳香环或碳数1至5个之烷基之有机基所封端。