会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 3. 发明专利
    • 基板處理方法及基板處理裝置
    • 基板处理方法及基板处理设备
    • TW202015118A
    • 2020-04-16
    • TW108126464
    • 2019-07-26
    • 日商斯庫林集團股份有限公司SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
    • 加藤雅彦KATO, MASAHIKO髙橋弘明TAKAHASHI, HIROAKI藤原直澄FUJIWARA, NAOZUMI尾辻正幸OTSUJI, MASAYUKI佐佐木悠太SASAKI, YUTA山口佑YAMAGUCHI, YU
    • H01L21/304F26B5/08F26B3/12
    • 本發明之基板處理方法包含:乾燥前處理液膜形成工序,其係將包含不經過液體而自固體變成氣體之昇華性物質與使上述昇華性物質溶解之溶劑的溶液即乾燥前處理液供給至形成有圖案之基板之表面,藉此,於上述基板之表面上形成覆蓋上述基板之表面之上述乾燥前處理液之液膜;及乾燥前處理液膜排除工序,其係使上述溶劑自上述液膜蒸發而於上述基板之表面上形成包含上述昇華性物質之凝固體,且使上述凝固體昇華,藉此,自上述基板之表面上將上述液膜排除。上述乾燥前處理液膜排除工序包含:區域並存狀態產生工序,其係產生上述凝固體昇華而上述基板之表面乾燥之乾燥區域、殘存有上述凝固體之凝固體殘存區域、及殘存有上述液膜之液殘存區域依次自上述基板之表面之中央部朝向上述基板之表面之周緣部排列的區域並存狀態;及乾燥區域擴大工序,其係一面維持上述區域並存狀態一面以上述凝固體殘存區域朝向上述基板之表面之周緣部移動之方式將上述乾燥區域擴大。
    • 本发明之基板处理方法包含:干燥前处理液膜形成工序,其系将包含不经过液体而自固体变成气体之升华性物质与使上述升华性物质溶解之溶剂的溶液即干燥前处理液供给至形成有图案之基板之表面,借此,于上述基板之表面上形成覆盖上述基板之表面之上述干燥前处理液之液膜;及干燥前处理液膜排除工序,其系使上述溶剂自上述液膜蒸发而于上述基板之表面上形成包含上述升华性物质之凝固体,且使上述凝固体升华,借此,自上述基板之表面上将上述液膜排除。上述干燥前处理液膜排除工序包含:区域并存状态产生工序,其系产生上述凝固体升华而上述基板之表面干燥之干燥区域、残存有上述凝固体之凝固体残存区域、及残存有上述液膜之液残存区域依次自上述基板之表面之中央部朝向上述基板之表面之周缘部排列的区域并存状态;及干燥区域扩大工序,其系一面维持上述区域并存状态一面以上述凝固体残存区域朝向上述基板之表面之周缘部移动之方式将上述干燥区域扩大。