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1. 发明专利

TW201841067A 具有輸送止動器的光學配置，尤其是微影系統审中-公开
简体标题：具有输送止动器的光学配置，尤其是微影系统
公开(公告)号：TW201841067A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107101270
申请日：2018-01-12
申请人：德商卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：史維林瑞福 , ZWEERING, RALF , 費茲榭史蒂芬 , FRITZSCHE, STEFFEN , 華格納亨瑞克 , WAGNER, HENDRIK , 亞勒斯弗羅里安 , AHLES, FLORIAN , 波赫舒瑙言斯 , PROCHNAU, JENS , 爾斯邁克 , ERATH, MICHAEL , 庫利斯基維克特 , KULITZKI, VIKTOR , 尼福斯瑪溫尼 , NEFZI, MARWENE
IPC分类号： G03F7/20
摘要：本發明關於一光學配置，例如一微影系統，其包含：一第一組件(19)，特別是一承載框；一第二組件(13)，其可相對第一組件(19)移動，特別是一反射鏡；以及至少一止擋件(20)，其具有至少一止擋面(20a、20b)用以限制第二組件(13)相對第一組件(19)的移動。在本發明一態樣中，光學配置(較佳為止擋件(20))具有用以固定第二組件(13)的一固定裝置(23)，其至少包含可相對止擋件(20)的止擋面(21a、21b)移動的一固定元件(24)。本發明的其他態樣同樣關於具有固定裝置或具有輸送止動器的光學配置。
简体摘要：本发明关于一光学配置，例如一微影系统，其包含：一第一组件(19)，特别是一承载框；一第二组件(13)，其可相对第一组件(19)移动，特别是一反射镜；以及至少一止挡件(20)，其具有至少一止挡面(20a、20b)用以限制第二组件(13)相对第一组件(19)的移动。在本发明一态样中，光学配置(较佳为止挡件(20))具有用以固定第二组件(13)的一固定设备(23)，其至少包含可相对止挡件(20)的止挡面(21a、21b)移动的一固定组件(24)。本发明的其他态样同样关于具有固定设备或具有输送止动器的光学配置。

2. 发明专利

TWI647540B 光學組件有权
简体标题：光学组件
公开(公告)号：TWI647540B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：TW103124502
申请日：2014-07-17
申请人：德商卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：包爾斯華特 , PAULS, WALTER , 瓦格納漢立克 , WAGNER, HENDRIK , 艾爾斯弗洛瑞恩 , AHLES, FLORIAN , 沃德克里斯汀 , WALD, CHRISTIAN , 費茲榭史蒂芬 , FRITZSCHE, STEFFEN , 瓦伯拉諾伯特 , WABRA, NORBERT , 畢特納鮑瑞斯 , BITTNER, BORIS , 舒納德桑賈 , SCHNEIDER, SONJA , 舒納德瑞卡達 , SCHNEIDER, RICARDA
IPC分类号： G03F7/20

3. 发明专利

TW201809797A 用於調整光學裝置的方法审中-公开
简体标题：用于调整光学设备的方法
公开(公告)号：TW201809797A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106123491
申请日：2017-07-13
申请人：德商卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：貝爾尤爾根 , 費茲榭史蒂芬 , FRITZSCHE, STEFFEN , 施羅德弗雷德里克 , SCHROD, FREDERIK
IPC分类号： G02B26/08 , G01D5/30
CPC分类号： G03F7/70141 , G02B7/1828 , G02B26/0816 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70825
摘要：一種調節尤其是光刻設備(100A、100B)的光學裝置(200)的方法，所述光學裝置包括可移動部件(326，700)、參考部件(318，346，702)和光學部件(202，706)，其中可移動部件(326，700)由機械操作連接件(328，704)連接到光學部件(202，706)，該方法包括以下步驟：a)將可移動部件(326，700)關於參考部件(318，346，702)固定在機械限定的位置(NP)(S1)，b)光學測量光學部件(202，706)，以獲取光學測量結果(OM)(S2)，以及c)根據光學測量結果(OM)調節光學裝置(200)(S8)。
简体摘要：一种调节尤其是光刻设备(100A、100B)的光学设备(200)的方法，所述光学设备包括可移动部件(326，700)、参考部件(318，346，702)和光学部件(202，706)，其中可移动部件(326，700)由机械操作连接件(328，704)连接到光学部件(202，706)，该方法包括以下步骤：a)将可移动部件(326，700)关于参考部件(318，346，702)固定在机械限定的位置(NP)(S1)，b)光学测量光学部件(202，706)，以获取光学测量结果(OM)(S2)，以及c)根据光学测量结果(OM)调节光学设备(200)(S8)。

4. 发明专利

TW201516577A 光學組件审中-公开
简体标题：光学组件
公开(公告)号：TW201516577A
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW103124502
申请日：2014-07-17
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：包爾斯華特 , PAULS, WALTER , 瓦格納漢立克 , WAGNER, HENDRIK , 艾爾斯弗洛瑞恩 , AHLES, FLORIAN , 沃德克里斯汀 , WALD, CHRISTIAN , 費茲榭史蒂芬 , FRITZSCHE, STEFFEN , 瓦伯拉諾伯特 , WABRA, NORBERT , 畢特納鮑瑞斯 , BITTNER, BORIS , 舒納德桑賈 , SCHNEIDER, SONJA , 舒納德瑞卡達 , SCHNEIDER, RICARDA
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70058 , G03F7/70258 , G03F7/7085
摘要：本發明揭示一種光學組件(100)，尤其是用於成像微影微結構或奈米結構之微影系統，其包含：至少兩個光學元件(101、103)，其連續配置在該光學組件(100)之一光束路徑中；一獲取裝置(110)，其經設計以自至少兩個光學元件(101、103)處之標記元件(414、424、720、721、722、723)獲取輻射信號(131)，該等標記元件(414、424)裝配在該至少兩個光學元件(101、103)的光學作用區(102、104)外，其中該獲取裝置(110)配置在該至少兩個光學元件(101、103)的一第一光學元件(101)及一最後光學元件(103)之間的一光束路徑(132)外，其中該等輻射信號(131)含有關於該至少兩個光學元件(101、103)之一光學作用表面(102、104)的一或複數個性質的資訊；及一控制裝置(120)，其耦合至該獲取裝置(110)，且其經設計以依據源自該等標記元件之該等輻射信號(131)中含有的資訊，決定該至少兩個光學元件(101、103)之該光學作用表面(102、104)的該複數個性質。本發明另外揭示一種用於操作光學組件(100)的方法。
简体摘要：本发明揭示一种光学组件(100)，尤其是用于成像微影微结构或奈米结构之微影系统，其包含：至少两个光学组件(101、103)，其连续配置在该光学组件(100)之一光束路径中；一获取设备(110)，其经设计以自至少两个光学组件(101、103)处之标记组件(414、424、720、721、722、723)获取辐射信号(131)，该等标记组件(414、424)装配在该至少两个光学组件(101、103)的光学作用区(102、104)外，其中该获取设备(110)配置在该至少两个光学组件(101、103)的一第一光学组件(101)及一最后光学组件(103)之间的一光束路径(132)外，其中该等辐射信号(131)含有关于该至少两个光学组件(101、103)之一光学作用表面(102、104)的一或复数个性质的信息；及一控制设备(120)，其耦合至该获取设备(110)，且其经设计以依据源自该等标记组件之该等辐射信号(131)中含有的信息，决定该至少两个光学组件(101、103)之该光学作用表面(102、104)的该复数个性质。本发明另外揭示一种用于操作光学组件(100)的方法。

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