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1. 发明专利

TWI626705B 具有使用機械轉換機構之複數可動臂的基板運送裝置有权
简体标题：具有使用机械转换机构之复数可动臂的基板运送设备
公开(公告)号：TWI626705B
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：TW106113108
申请日：2008-05-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：荷菲尼斯達克利斯多華 , HOFMEISTER, CHRISTOPHER , 庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES , 赫士楷馬丁 , HOSEK, MARTIN , 克利莎米吉拉曼 , KRISHASAMY, JAYARAMAN , 馬吉察克利斯 , MAJCZAK, KRIS
IPC分类号： H01L21/677

2. 发明专利

TW201444014A 具有使用機械轉換機構之複數可動臂的基板運送裝置审中-公开
简体标题：具有使用机械转换机构之复数可动臂的基板运送设备
公开(公告)号：TW201444014A
公开(公告)日：2014-11-16
申请号：TW103123072
申请日：2008-05-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：荷菲尼斯達克利斯多華 , HOFMEISTER, CHRISTOPHER , 庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES , 赫士楷馬丁 , HOSEK, MARTIN , 克利莎米吉拉曼 , KRISHASAMY, JAYARAMAN , 馬吉察克利斯 , MAJCZAK, KRIS
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： B25J11/0095 , B25J18/00 , Y10S901/21 , Y10S901/27
摘要：本發明係關於一種基板運送裝置，包括一機架，旋轉自如地連接於機架之一個上臂部，及旋轉自如地聯結於上臂部之至少二個前臂，各該至少二個前臂具有附屬形成之至少一個基板支承，其中上臂部係由第一電動機予以旋轉自如地驅動，而至少二前臂係由第二電動機予以旋轉自如地驅動，使該二電動機提供具有至少三向自由度之基板運送裝置。
简体摘要：本发明系关于一种基板运送设备，包括一机架，旋转自如地连接于机架之一个上臂部，及旋转自如地联结于上臂部之至少二个前臂，各该至少二个前臂具有附属形成之至少一个基板支承，其中上臂部系由第一电动机予以旋转自如地驱动，而至少二前臂系由第二电动机予以旋转自如地驱动，使该二电动机提供具有至少三向自由度之基板运送设备。

3. 发明专利

TW201841295A 具有使用機械轉換機構之複數可動臂的基板運送裝置审中-公开
简体标题：具有使用机械转换机构之复数可动臂的基板运送设备
公开(公告)号：TW201841295A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107111032
申请日：2008-05-08
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：荷菲尼斯達克利斯多華 , HOFMEISTER, CHRISTOPHER , 庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES , 赫士楷馬丁 , HOSEK, MARTIN , 克利莎米吉拉曼 , KRISHASAMY, JAYARAMAN , 馬吉察克利斯 , MAJCZAK, KRIS
IPC分类号： H01L21/677
摘要：本發明係關於一種基板運送裝置，包括一機架，旋轉自如地連接於機架之一個上臂部，及旋轉自如地聯結於上臂部之至少二個前臂，各該至少二個前臂具有附屬形成之至少一個基板支承，其中上臂部係由第一電動機予以旋轉自如地驅動，而至少二前臂係由第二電動機予以旋轉自如地驅動，使該二電動機提供具有至少三向自由度之基板運送裝置。
简体摘要：本发明系关于一种基板运送设备，包括一机架，旋转自如地连接于机架之一个上臂部，及旋转自如地联结于上臂部之至少二个前臂，各该至少二个前臂具有附属形成之至少一个基板支承，其中上臂部系由第一电动机予以旋转自如地驱动，而至少二前臂系由第二电动机予以旋转自如地驱动，使该二电动机提供具有至少三向自由度之基板运送设备。

4. 发明专利

TWI474418B 基板運送裝置、基板運送系統及運送基板之方法有权
简体标题：基板运送设备、基板运送系统及运送基板之方法
公开(公告)号：TWI474418B
公开(公告)日：2015-02-21
申请号：TW097118334
申请日：2008-05-19
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：克利斯多華荷菲尼斯達 , HOFMEISTER, CHRISTOPHER , 亞力山大克拉比雪夫 , KRUPYSHEV, ALEXANDER
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68

5. 发明专利

TW201839892A 基材運送方法及設備审中-公开
简体标题：基材运送方法及设备
公开(公告)号：TW201839892A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107104305
申请日：2018-02-07
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 沙拉克里夫 , SHARROCK, LEIGH F. , 哈利西約瑟夫 , HALLISEY, JOSEPH
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B25J9/08 , B25J17/02
摘要：一種基材處理設備包括一直線式細長的實質六面體形狀的基材運送室，其具有該六面體的直線式細長側面以及與該等直線式細長側面實質地正交的該六面體的至少一端壁。多個處理模組被沿著該等直線式細長側面的至少一者直線地設置。一基材運送手臂被可樞轉地安裝在該基材運送室內，使得該基材運送手臂的一樞轉軸係相對於該基材運送室被安裝且固定不動。該基材運送手臂具有三連桿-三關節SCARA型態，其中的一個連桿是一帶有至少一基材固持器的末端作用器，它是以關節連接的(articulate)，用以將該至少一基材固持器所固持的該基材經由該等末端及側面基材運送開口運送進出該基材運送室。
简体摘要：一种基材处理设备包括一直线式细长的实质六面体形状的基材运送室，其具有该六面体的直线式细长侧面以及与该等直线式细长侧面实质地正交的该六面体的至少一端壁。多个处理模块被沿着该等直线式细长侧面的至少一者直线地设置。一基材运送手臂被可枢转地安装在该基材运送室内，使得该基材运送手臂的一枢转轴系相对于该基材运送室被安装且固定不动。该基材运送手臂具有三连杆-三关节SCARA型态，其中的一个连杆是一带有至少一基材固持器的末端作用器，它是以关节连接的(articulate)，用以将该至少一基材固持器所固持的该基材经由该等末端及侧面基材运送开口运送进出该基材运送室。

6. 发明专利

TWI590368B 具有使用機械轉換機構之複數可動臂的基板運送裝置有权
简体标题：具有使用机械转换机构之复数可动臂的基板运送设备
公开(公告)号：TWI590368B
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW103123072
申请日：2008-05-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：荷菲尼斯達克利斯多華 , HOFMEISTER, CHRISTOPHER , 庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES , 赫士楷馬丁 , HOSEK, MARTIN , 克利莎米吉拉曼 , KRISHASAMY, JAYARAMAN , 馬吉察克利斯 , MAJCZAK, KRIS
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： B25J11/0095 , B25J18/00 , Y10S901/21 , Y10S901/27

7. 发明专利

TW201349376A 基材處理設備审中-公开
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TW201349376A
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW102105348
申请日：2013-02-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68707 , B25J9/042 , B25J11/0095 , B25J18/00 , H01L21/67161 , H01L21/67184 , H01L21/67196 , H01L21/67742
摘要：一種用來在一傳送室內運送基材的傳送設備，該傳送室具有第一端及第二端及兩個延伸在該第一及第二端之間的側邊。該傳送設備包括一驅動部份、至少一基座手臂，其一端固定至該傳送室且包括至少一可轉動地耦合至該驅動部份的手臂連桿及至少一傳送手臂，其可轉動地耦合至該基座手臂的一共同端，該至少一傳送手臂具有兩個末端作用器。該驅動部份具有馬達，該等馬達具有三個獨立的轉動軸(axis)，其界定三個自由度。一個自由度水平地移動該至少一基座手臂移以運送該至少一傳送手臂，及兩個自由度驅動該至少一傳送手臂，用以伸展及縮回該至少一傳送手臂並交換該兩個末端作用器。
简体摘要：一种用来在一发送室内运送基材的发送设备，该发送室具有第一端及第二端及两个延伸在该第一及第二端之间的侧边。该发送设备包括一驱动部份、至少一基座手臂，其一端固定至该发送室且包括至少一可转动地耦合至该驱动部份的手臂连杆及至少一发送手臂，其可转动地耦合至该基座手臂的一共同端，该至少一发送手臂具有两个末端作用器。该驱动部份具有马达，该等马达具有三个独立的转动轴(axis)，其界定三个自由度。一个自由度水平地移动该至少一基座手臂移以运送该至少一发送手臂，及两个自由度驱动该至少一发送手臂，用以伸展及缩回该至少一发送手臂并交换该两个末端作用器。

8. 发明专利

TW201839895A 基材處理設備审中-公开
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TW201839895A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107113574
申请日：2013-02-08
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
摘要：一種用來在一傳送室內運送基材的傳送設備，該傳送室具有第一端及第二端及兩個延伸在該第一及第二端之間的側邊。該傳送設備包括一驅動部份、至少一基座手臂，其一端固定至該傳送室且包括至少一可轉動地耦合至該驅動部份的手臂連桿及至少一傳送手臂，其可轉動地耦合至該基座手臂的一共同端，該至少一傳送手臂具有兩個末端作用器。該驅動部份具有馬達，該等馬達具有三個獨立的轉動軸(axis)，其界定三個自由度。一個自由度水平地移動該至少一基座手臂移以運送該至少一傳送手臂，及兩個自由度驅動該至少一傳送手臂，用以伸展及縮回該至少一傳送手臂並交換該兩個末端作用器。
简体摘要：一种用来在一发送室内运送基材的发送设备，该发送室具有第一端及第二端及两个延伸在该第一及第二端之间的侧边。该发送设备包括一驱动部份、至少一基座手臂，其一端固定至该发送室且包括至少一可转动地耦合至该驱动部份的手臂连杆及至少一发送手臂，其可转动地耦合至该基座手臂的一共同端，该至少一发送手臂具有两个末端作用器。该驱动部份具有马达，该等马达具有三个独立的转动轴(axis)，其界定三个自由度。一个自由度水平地移动该至少一基座手臂移以运送该至少一发送手臂，及两个自由度驱动该至少一发送手臂，用以伸展及缩回该至少一发送手臂并交换该两个末端作用器。

9. 发明专利

TWI629743B 基材處理設備有权
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TWI629743B
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：TW102105348
申请日：2013-02-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687

10. 发明专利

TW201731008A 具有使用機械轉換機構之複數可動臂的基板運送裝置审中-公开
简体标题：具有使用机械转换机构之复数可动臂的基板运送设备
公开(公告)号：TW201731008A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW106113108
申请日：2008-05-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：荷菲尼斯達克利斯多華 , HOFMEISTER, CHRISTOPHER , 庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES , 赫士楷馬丁 , HOSEK, MARTIN , 克利莎米吉拉曼 , KRISHASAMY, JAYARAMAN , 馬吉察克利斯 , MAJCZAK, KRIS
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： B25J11/0095 , B25J18/00 , Y10S901/21 , Y10S901/27
摘要：本發明係關於一種基板運送裝置，包括一機架，旋轉自如地連接於機架之一個上臂部，及旋轉自如地聯結於上臂部之至少二個前臂，各該至少二個前臂具有附屬形成之至少一個基板支承，其中上臂部係由第一電動機予以旋轉自如地驅動，而至少二前臂係由第二電動機予以旋轉自如地驅動，使該二電動機提供具有至少三向自由度之基板運送裝置。
简体摘要：本发明系关于一种基板运送设备，包括一机架，旋转自如地连接于机架之一个上臂部，及旋转自如地联结于上臂部之至少二个前臂，各该至少二个前臂具有附属形成之至少一个基板支承，其中上臂部系由第一电动机予以旋转自如地驱动，而至少二前臂系由第二电动机予以旋转自如地驱动，使该二电动机提供具有至少三向自由度之基板运送设备。

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