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1. 发明专利

TWI684234B 基材運送有权
简体标题：基材运送
公开(公告)号：TWI684234B
公开(公告)日：2020-02-01
申请号：TW107111520
申请日：2014-01-22
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 美伊羅勃 , MAY, ROBERT C. , 梅塞克里斯多夫 , MAJCZAK, KRZYSZTOF A.
IPC分类号： H01L21/677

2. 发明专利

TW201919970A 基板處理系統审中-公开
简体标题：基板处理系统
公开(公告)号：TW201919970A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107126359
申请日：2012-10-26
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT
IPC分类号： B65G49/07
摘要：一基板處理系統，包括至少二直立堆疊式傳送室，該等直立堆疊式傳送室之每一者包含複數開口，其被配置以形成開口之直立堆疊，且被建構成用於耦接至直立堆疊式處理模組，該等直立堆疊式傳送室之至少一者包含至少一傳送室模組，其被配置用於耦接至另一傳送室模組，以形成一線性傳送室，及該至少二堆疊式傳送室之另一者包含至少一傳送室模組，其被配置用於耦接至另一傳送室模組，以形成另一線性傳送室；及傳送機器人，被設置在該等傳送室模組之每一者中，在此該傳送機器人之接頭在位置上係沿著藉由該個別線性傳送室所形成之線性路徑固定。
简体摘要：一基板处理系统，包括至少二直立堆栈式发送室，该等直立堆栈式发送室之每一者包含复数开口，其被配置以形成开口之直立堆栈，且被建构成用于耦接至直立堆栈式处理模块，该等直立堆栈式发送室之至少一者包含至少一发送室模块，其被配置用于耦接至另一发送室模块，以形成一线性发送室，及该至少二堆栈式发送室之另一者包含至少一发送室模块，其被配置用于耦接至另一发送室模块，以形成另一线性发送室；及发送机器人，被设置在该等发送室模块之每一者中，在此该发送机器人之接头在位置上系沿着借由该个别线性发送室所形成之线性路径固定。

3. 发明专利

TWI691388B 基板處理裝置有权
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TWI691388B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：TW106131822
申请日：2012-03-12
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：阿里色吉爾基士德 , GILCHRIST, ULYSSES , 傑洛莫拉 , MOURA, JAIRO TERRA , 克利許納斯美傑亞拉曼 , KRISHNASAMY, JAYARAMAN , 卓米契爾 , DREW, MITCHELL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT
IPC分类号： B25J1/04 , B25J18/04

4. 发明专利

TW201841296A 基材運送审中-公开
简体标题：基材运送
公开(公告)号：TW201841296A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107111520
申请日：2014-01-22
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 美伊羅勃 , MAY, ROBERT C. , 梅塞克里斯多夫 , MAJCZAK, KRZYSZTOF A.
IPC分类号： H01L21/677
摘要：一種基材運送系統包括一載具，其具有一形成一內部環境的外殼，其具有一用來固持至少一個基材的開口及一用來將該開口和一外部氛圍密封隔開的門，當該開口被密封時，該內部環境被建構來在其內維持一內部氛圍，該外殼包括一在該內部環境外面且被建構來容納一流體的流體儲槽，其在該流體儲槽內形成一不同於該內部氛圍的氛圍，用以形成一流體阻隔密封件，其將該內部環境和一在該載具外面的環境密封地隔開。
简体摘要：一种基材运送系统包括一载具，其具有一形成一内部环境的外壳，其具有一用来固持至少一个基材的开口及一用来将该开口和一外部氛围密封隔开的门，当该开口被密封时，该内部环境被建构来在其内维持一内部氛围，该外壳包括一在该内部环境外面且被建构来容纳一流体的流体储槽，其在该流体储槽内形成一不同于该内部氛围的氛围，用以形成一流体阻隔密封件，其将该内部环境和一在该载具外面的环境密封地隔开。

5. 发明专利

TWI700765B 以轉移設備轉移工件的方法有权
简体标题：以转移设备转移工件的方法
公开(公告)号：TWI700765B
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW108102275
申请日：2014-12-15
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES
IPC分类号： H01L21/677 , B25J11/00

6. 发明专利

TW201839895A 基材處理設備审中-公开
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TW201839895A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107113574
申请日：2013-02-08
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
摘要：一種用來在一傳送室內運送基材的傳送設備，該傳送室具有第一端及第二端及兩個延伸在該第一及第二端之間的側邊。該傳送設備包括一驅動部份、至少一基座手臂，其一端固定至該傳送室且包括至少一可轉動地耦合至該驅動部份的手臂連桿及至少一傳送手臂，其可轉動地耦合至該基座手臂的一共同端，該至少一傳送手臂具有兩個末端作用器。該驅動部份具有馬達，該等馬達具有三個獨立的轉動軸(axis)，其界定三個自由度。一個自由度水平地移動該至少一基座手臂移以運送該至少一傳送手臂，及兩個自由度驅動該至少一傳送手臂，用以伸展及縮回該至少一傳送手臂並交換該兩個末端作用器。
简体摘要：一种用来在一发送室内运送基材的发送设备，该发送室具有第一端及第二端及两个延伸在该第一及第二端之间的侧边。该发送设备包括一驱动部份、至少一基座手臂，其一端固定至该发送室且包括至少一可转动地耦合至该驱动部份的手臂连杆及至少一发送手臂，其可转动地耦合至该基座手臂的一共同端，该至少一发送手臂具有两个末端作用器。该驱动部份具有马达，该等马达具有三个独立的转动轴(axis)，其界定三个自由度。一个自由度水平地移动该至少一基座手臂移以运送该至少一发送手臂，及两个自由度驱动该至少一发送手臂，用以伸展及缩回该至少一发送手臂并交换该两个末端作用器。

7. 发明专利

TW201840389A 用於基板輸送設備位置補償之方法及設備审中-公开
简体标题：用于基板输送设备位置补偿之方法及设备
公开(公告)号：TW201840389A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107102919
申请日：2018-01-26
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 摩拉傑羅 , MOURA, JAIRO TERRA , 尹彬 , YIN, BING , 史派克納森 , SPIKER, NATHAN , 曾文森 , TSANG, VINCENT
IPC分类号： B25J11/00 , B25J9/00 , B25J9/02 , B25J9/06 , H01L21/677
摘要：一種用於處理工具之基板輸送系統的基板輸送經驗臂下垂測繪設備，測繪設備包括：框架；界面，其配置在框架上而形成基準特徵，其代表基板輸送系統所界定之處理工具中的基板輸送空間；基板輸送臂，其是鉸接的並且具有基板夾持器，並且以對於至少一基準特徵的預定關係而安裝到框架；以及登記系統，其相對於基板輸送臂和至少一基準特徵而配置，如此則由於在第一臂位置和異於第一臂位置的第二臂位置之間並且基板夾持器沿著至少一運動軸而在輸送空間中移動所造成的臂下垂改變，該登記系統在臂下垂距離登記器中登記經驗臂下垂距離。
简体摘要：一种用于处理工具之基板输送系统的基板输送经验臂下垂测绘设备，测绘设备包括：框架；界面，其配置在框架上而形成基准特征，其代表基板输送系统所界定之处理工具中的基板输送空间；基板输送臂，其是铰接的并且具有基板夹持器，并且以对于至少一基准特征的预定关系而安装到框架；以及登记系统，其相对于基板输送臂和至少一基准特征而配置，如此则由于在第一臂位置和异于第一臂位置的第二臂位置之间并且基板夹持器沿着至少一运动轴而在输送空间中移动所造成的臂下垂改变，该登记系统在臂下垂距离登记器中登记经验臂下垂距离。

8. 发明专利

TW201811513A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW201811513A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106131822
申请日：2012-03-12
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：阿里色吉爾基士德 , GILCHRIST, ULYSSES , 傑洛莫拉 , MOURA, JAIRO TERRA , 克利許納斯美傑亞拉曼 , KRISHNASAMY, JAYARAMAN , 卓米契爾 , DREW, MITCHELL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT
IPC分类号： B25J1/04 , B25J18/04
CPC分类号： H01L21/67706 , B25J9/042 , B25J9/043 , B25J11/0095 , B25J18/04 , H01L21/67742 , Y10S901/15 , Y10S901/27 , Y10T74/20305 , Y10T74/20329
摘要：提供一種基板處理裝置，該基板處理裝置包含一框架、一連接至該框架的第一手臂、一連接至該框架的第二手臂、以及一耦接至該第一及第二手臂的驅動段，該驅動段係被建構成獨立伸出及旋轉該第一及第二手臂中的每一者，其中該第一手臂的延伸軸線是相對於該第二手臂的延伸軸線成一角度，其中每一手臂包含一末端作用器，被建構成可固持住至少一基板，其中該末端作用器是位在一共用的傳輸平面上。
简体摘要：提供一种基板处理设备，该基板处理设备包含一框架、一连接至该框架的第一手臂、一连接至该框架的第二手臂、以及一耦接至该第一及第二手臂的驱动段，该驱动段系被建构成独立伸出及旋转该第一及第二手臂中的每一者，其中该第一手臂的延伸轴线是相对于该第二手臂的延伸轴线成一角度，其中每一手臂包含一末端作用器，被建构成可固持住至少一基板，其中该末端作用器是位在一共享的传输平面上。

9. 发明专利

TWI637892B 基板處理系統有权
简体标题：基板处理系统
公开(公告)号：TWI637892B
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：TW101139730
申请日：2012-10-26
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT
IPC分类号： B65G49/07

10. 发明专利

TWI614831B 基板處理裝置有权
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TWI614831B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW101108322
申请日：2012-03-12
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：阿里色吉爾基士德 , GILCHRIST, ULYSSES , 傑洛莫拉 , MOURA, JAIRO TERRA , 克利許納斯美傑亞拉曼 , KRISHNASAMY, JAYARAMAN , 卓米契爾 , DREW, MITCHELL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67706 , B25J9/042 , B25J9/043 , B25J11/0095 , B25J18/04 , H01L21/67742 , Y10S901/15 , Y10S901/27 , Y10T74/20305 , Y10T74/20329

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