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1. 发明专利

TW201341290A 輸送設備审中-公开
简体标题：输送设备
公开(公告)号：TW201341290A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：TW101147857
申请日：2012-12-17
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 摩拉傑羅 , MOURA, JAIRO TERRA
IPC分类号： B65G49/07
CPC分类号： B25J15/00 , B25J18/00 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/68707 , H01L21/6875 , H01L21/68757 , Y10S901/30
摘要：一用於輸送基板之基板輸送設備，該基板輸送設備包含機架；至少一轉移支臂，被連接至該機架；至少一末端效應器，被安裝至該至少一轉移支臂；及至少一基板支撐墊，被設置在該至少一末端效應器上，該至少一基板支撐墊具有一源自在至少一預定方向中增加的摩擦係數而實現增加之摩擦力的組構。
简体摘要：一用于输送基板之基板输送设备，该基板输送设备包含机架；至少一转移支臂，被连接至该机架；至少一末端效应器，被安装至该至少一转移支臂；及至少一基板支撑垫，被设置在该至少一末端效应器上，该至少一基板支撑垫具有一源自在至少一预定方向中增加的摩擦系数而实现增加之摩擦力的组构。

2. 发明专利

TW201523766A 基板搬運裝置审中-公开
简体标题：基板搬运设备
公开(公告)号：TW201523766A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：TW103129172
申请日：2014-08-25
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67742 , Y10T74/20323
摘要：一種基板處理裝置，其中，搬運臂具有複數個串聯連接的臂鏈路，其中一者具有預定的臂鏈路高度，第二滑輪固定至複數個串聯連接的臂鏈路中之一個臂鏈路，扭矩傳輸帶於第一滑輪及第二滑輪之間縱向延伸並耦接至第一滑輪及第二滑輪中之每一者，扭矩傳輸帶具有與預定的臂鏈路高度相應之帶高度及可變橫向厚度，使得扭矩傳輸帶包括對應於相應的帶高度之橫向增加截面之鏈段。
简体摘要：一种基板处理设备，其中，搬运臂具有复数个串联连接的臂链路，其中一者具有预定的臂链路高度，第二滑轮固定至复数个串联连接的臂链路中之一个臂链路，扭矩传输带于第一滑轮及第二滑轮之间纵向延伸并耦接至第一滑轮及第二滑轮中之每一者，扭矩传输带具有与预定的臂链路高度相应之带高度及可变横向厚度，使得扭矩传输带包括对应于相应的带高度之横向增加截面之链段。

3. 发明专利

TWI586500B 機器人運送裝置及基板處理裝置有权
简体标题：机器人运送设备及基板处理设备
公开(公告)号：TWI586500B
公开(公告)日：2017-06-11
申请号：TW100136625
申请日：2011-10-11
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES
IPC分类号： B25J9/04 , H01L21/677

4. 发明专利

TW201349376A 基材處理設備审中-公开
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TW201349376A
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW102105348
申请日：2013-02-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68707 , B25J9/042 , B25J11/0095 , B25J18/00 , H01L21/67161 , H01L21/67184 , H01L21/67196 , H01L21/67742
摘要：一種用來在一傳送室內運送基材的傳送設備，該傳送室具有第一端及第二端及兩個延伸在該第一及第二端之間的側邊。該傳送設備包括一驅動部份、至少一基座手臂，其一端固定至該傳送室且包括至少一可轉動地耦合至該驅動部份的手臂連桿及至少一傳送手臂，其可轉動地耦合至該基座手臂的一共同端，該至少一傳送手臂具有兩個末端作用器。該驅動部份具有馬達，該等馬達具有三個獨立的轉動軸(axis)，其界定三個自由度。一個自由度水平地移動該至少一基座手臂移以運送該至少一傳送手臂，及兩個自由度驅動該至少一傳送手臂，用以伸展及縮回該至少一傳送手臂並交換該兩個末端作用器。
简体摘要：一种用来在一发送室内运送基材的发送设备，该发送室具有第一端及第二端及两个延伸在该第一及第二端之间的侧边。该发送设备包括一驱动部份、至少一基座手臂，其一端固定至该发送室且包括至少一可转动地耦合至该驱动部份的手臂连杆及至少一发送手臂，其可转动地耦合至该基座手臂的一共同端，该至少一发送手臂具有两个末端作用器。该驱动部份具有马达，该等马达具有三个独立的转动轴(axis)，其界定三个自由度。一个自由度水平地移动该至少一基座手臂移以运送该至少一发送手臂，及两个自由度驱动该至少一发送手臂，用以伸展及缩回该至少一发送手臂并交换该两个末端作用器。

5. 发明专利

TW201839895A 基材處理設備审中-公开
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TW201839895A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107113574
申请日：2013-02-08
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
摘要：一種用來在一傳送室內運送基材的傳送設備，該傳送室具有第一端及第二端及兩個延伸在該第一及第二端之間的側邊。該傳送設備包括一驅動部份、至少一基座手臂，其一端固定至該傳送室且包括至少一可轉動地耦合至該驅動部份的手臂連桿及至少一傳送手臂，其可轉動地耦合至該基座手臂的一共同端，該至少一傳送手臂具有兩個末端作用器。該驅動部份具有馬達，該等馬達具有三個獨立的轉動軸(axis)，其界定三個自由度。一個自由度水平地移動該至少一基座手臂移以運送該至少一傳送手臂，及兩個自由度驅動該至少一傳送手臂，用以伸展及縮回該至少一傳送手臂並交換該兩個末端作用器。
简体摘要：一种用来在一发送室内运送基材的发送设备，该发送室具有第一端及第二端及两个延伸在该第一及第二端之间的侧边。该发送设备包括一驱动部份、至少一基座手臂，其一端固定至该发送室且包括至少一可转动地耦合至该驱动部份的手臂连杆及至少一发送手臂，其可转动地耦合至该基座手臂的一共同端，该至少一发送手臂具有两个末端作用器。该驱动部份具有马达，该等马达具有三个独立的转动轴(axis)，其界定三个自由度。一个自由度水平地移动该至少一基座手臂移以运送该至少一发送手臂，及两个自由度驱动该至少一发送手臂，用以伸展及缩回该至少一发送手臂并交换该两个末端作用器。

6. 发明专利

TWI629743B 基材處理設備有权
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TWI629743B
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：TW102105348
申请日：2013-02-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687

7. 发明专利

TWI615341B 輸送設備有权
简体标题：输送设备
公开(公告)号：TWI615341B
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：TW101147857
申请日：2012-12-17
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 摩拉傑羅 , MOURA, JAIRO TERRA
IPC分类号： B65G49/07
CPC分类号： B25J15/00 , B25J18/00 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/68707 , H01L21/6875 , H01L21/68757 , Y10S901/30

8. 发明专利

TW201233511A 同軸諧和驅動式真空機器人 COAXIAL HARMONIC DRIVE VACUUM ROBOT 审中-公开
简体标题：同轴谐和驱动式真空机器人 COAXIAL HARMONIC DRIVE VACUUM ROBOT
公开(公告)号：TW201233511A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：TW100136625
申请日：2011-10-11
申请人：布魯克斯自動機械公司
发明人：卡維尼羅勃 , 吉爾克萊史特亞瑟
IPC分类号： B25J , H01L
摘要：一種機器人運送機，包括：含有至少一個諧和馬達之一驅動裝置；連接於該至少一個諧和馬達之至少一個驅動軸；裝設於該至少一個驅動軸之至少一個機器人手臂，而該機器人手臂係位置於一密封的環境內部；配設於該驅動裝置之輸出表面而形成大氣障壁之至少一個大氣隔離密封，於是該至少一個驅動軸通過該大氣障壁進入該密封之環境內而該至少一個諧和馬達係位在該密封的環境外部。
简体摘要：一种机器人运送机，包括：含有至少一个谐和马达之一驱动设备；连接于该至少一个谐和马达之至少一个驱动轴；装设于该至少一个驱动轴之至少一个机器人手臂，而该机器人手臂系位置于一密封的环境内部；配设于该驱动设备之输出表面而形成大气障壁之至少一个大气隔离密封，于是该至少一个驱动轴通过该大气障壁进入该密封之环境内而该至少一个谐和马达系位在该密封的环境外部。

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