专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201438132A 基材運送审中-公开
简体标题：基材运送
公开(公告)号：TW201438132A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW103102263
申请日：2014-01-22
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 美伊羅勃 , MAY, ROBERT C. , 梅塞克里斯多夫 , MAJCZAK, KRZYSZTOF A.
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67775 , H01L21/67201 , H01L21/67376
摘要：一種基材運送系統包括一載具，其具有一形成一內部環境的外殼，其具有一用來固持至少一個基材的開口及一用來將該開口和一外部氛圍密封隔開的門，當該開口被密封時，該內部環境被建構來在其內維持一內部氛圍，該外殼包括一在該內部環境外面且被建構來容納一流體的流體儲槽，其在該流體儲槽內形成一不同於該內部氛圍的氛圍，用以形成一流體阻隔密封件，其將該內部環境和一在該載具外面的環境密封地隔開。
简体摘要：一种基材运送系统包括一载具，其具有一形成一内部环境的外壳，其具有一用来固持至少一个基材的开口及一用来将该开口和一外部氛围密封隔开的门，当该开口被密封时，该内部环境被建构来在其内维持一内部氛围，该外壳包括一在该内部环境外面且被建构来容纳一流体的流体储槽，其在该流体储槽内形成一不同于该内部氛围的氛围，用以形成一流体阻隔密封件，其将该内部环境和一在该载具外面的环境密封地隔开。

2. 发明专利

TWI684234B 基材運送有权
简体标题：基材运送
公开(公告)号：TWI684234B
公开(公告)日：2020-02-01
申请号：TW107111520
申请日：2014-01-22
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 美伊羅勃 , MAY, ROBERT C. , 梅塞克里斯多夫 , MAJCZAK, KRZYSZTOF A.
IPC分类号： H01L21/677

3. 发明专利

TWI397969B 具有迅速工件定中心功能的加工裝置有权
简体标题：具有迅速工件定中心功能的加工设备
公开(公告)号：TWI397969B
公开(公告)日：2013-06-01
申请号：TW095125186
申请日：2006-07-11
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：阿里色吉爾基士德 , GILCHRIST, ULYSSES , 哈尼爾奧利偉拉 , OLIVERA, HANIEL , 威廉佛士耐 , FOSNIGHT, WILLIAM , 理查畢克林 , PICKREIGN, RICHARD J. , 羅勃卡維尼 , CAVENEY, ROBERT T.
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67265

4. 发明专利

TW201841296A 基材運送审中-公开
简体标题：基材运送
公开(公告)号：TW201841296A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107111520
申请日：2014-01-22
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 美伊羅勃 , MAY, ROBERT C. , 梅塞克里斯多夫 , MAJCZAK, KRZYSZTOF A.
IPC分类号： H01L21/677
摘要：一種基材運送系統包括一載具，其具有一形成一內部環境的外殼，其具有一用來固持至少一個基材的開口及一用來將該開口和一外部氛圍密封隔開的門，當該開口被密封時，該內部環境被建構來在其內維持一內部氛圍，該外殼包括一在該內部環境外面且被建構來容納一流體的流體儲槽，其在該流體儲槽內形成一不同於該內部氛圍的氛圍，用以形成一流體阻隔密封件，其將該內部環境和一在該載具外面的環境密封地隔開。
简体摘要：一种基材运送系统包括一载具，其具有一形成一内部环境的外壳，其具有一用来固持至少一个基材的开口及一用来将该开口和一外部氛围密封隔开的门，当该开口被密封时，该内部环境被建构来在其内维持一内部氛围，该外壳包括一在该内部环境外面且被建构来容纳一流体的流体储槽，其在该流体储槽内形成一不同于该内部氛围的氛围，用以形成一流体阻隔密封件，其将该内部环境和一在该载具外面的环境密封地隔开。

5. 发明专利

TWI627696B 基材運送有权
简体标题：基材运送
公开(公告)号：TWI627696B
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：TW103102263
申请日：2014-01-22
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 美伊羅勃 , MAY, ROBERT C. , 梅塞克里斯多夫 , MAJCZAK, KRZYSZTOF A.
IPC分类号： H01L21/677

6. 发明专利

TW201717308A 基板運輸裝置审中-公开
简体标题：基板运输设备
公开(公告)号：TW201717308A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：TW105121923
申请日：2016-07-12
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T.
IPC分类号： H01L21/677 , B25J21/00 , B25J9/04 , B25J9/12
CPC分类号： H01L21/67742 , H01L21/67167 , H01L21/67748
摘要：一種基板運輸裝置，包括驅動段，驅動段連接於框架且包括多重驅動軸桿心軸，具有至少一同軸桿心軸；超過一個之不同、可交換的馬達模組，配置成堆疊，各馬達模組具有馬達，可操作地耦合於此並界定出對應獨立的驅動軸線；及罐密封件，設置於各馬達模組之定子與轉子之間，並以密閉方式使定子與轉子相對於彼此而密封；馬達模組中至少一者可從其他不同、可交換的馬達模組處選擇性地放置在堆疊中，各馬達模組具有不同的預定特性，獨立於在堆疊中的放置，不同的預定特性界定出對應的驅動軸線之不同的預定驅動特性，獨立於軸桿心軸位置，如此至少一馬達模組之選擇決定了不同於另一獨立的驅動軸線之對應軸線之不同的預定驅動特性。
简体摘要：一种基板运输设备，包括驱动段，驱动段连接于框架且包括多重驱动轴杆心轴，具有至少一同轴杆心轴；超过一个之不同、可交换的马达模块，配置成堆栈，各马达模块具有马达，可操作地耦合于此并界定出对应独立的驱动轴线；及罐密封件，设置于各马达模块之定子与转子之间，并以密闭方式使定子与转子相对于彼此而密封；马达模块中至少一者可从其他不同、可交换的马达模块处选择性地放置在堆栈中，各马达模块具有不同的预定特性，独立于在堆栈中的放置，不同的预定特性界定出对应的驱动轴线之不同的预定驱动特性，独立于轴杆心轴位置，如此至少一马达模块之选择决定了不同于另一独立的驱动轴线之对应轴线之不同的预定驱动特性。

7. 发明专利

TWI700765B 以轉移設備轉移工件的方法有权
简体标题：以转移设备转移工件的方法
公开(公告)号：TWI700765B
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW108102275
申请日：2014-12-15
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES
IPC分类号： H01L21/677 , B25J11/00

8. 发明专利

TW201839895A 基材處理設備审中-公开
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TW201839895A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107113574
申请日：2013-02-08
申请人：美商布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
摘要：一種用來在一傳送室內運送基材的傳送設備，該傳送室具有第一端及第二端及兩個延伸在該第一及第二端之間的側邊。該傳送設備包括一驅動部份、至少一基座手臂，其一端固定至該傳送室且包括至少一可轉動地耦合至該驅動部份的手臂連桿及至少一傳送手臂，其可轉動地耦合至該基座手臂的一共同端，該至少一傳送手臂具有兩個末端作用器。該驅動部份具有馬達，該等馬達具有三個獨立的轉動軸(axis)，其界定三個自由度。一個自由度水平地移動該至少一基座手臂移以運送該至少一傳送手臂，及兩個自由度驅動該至少一傳送手臂，用以伸展及縮回該至少一傳送手臂並交換該兩個末端作用器。
简体摘要：一种用来在一发送室内运送基材的发送设备，该发送室具有第一端及第二端及两个延伸在该第一及第二端之间的侧边。该发送设备包括一驱动部份、至少一基座手臂，其一端固定至该发送室且包括至少一可转动地耦合至该驱动部份的手臂连杆及至少一发送手臂，其可转动地耦合至该基座手臂的一共同端，该至少一发送手臂具有两个末端作用器。该驱动部份具有马达，该等马达具有三个独立的转动轴(axis)，其界定三个自由度。一个自由度水平地移动该至少一基座手臂移以运送该至少一发送手臂，及两个自由度驱动该至少一发送手臂，用以伸展及缩回该至少一发送手臂并交换该两个末端作用器。

9. 发明专利

TWI629743B 基材處理設備有权
简体标题：基材处理设备
公开(公告)号：TWI629743B
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：TW102105348
申请日：2013-02-08
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：庫魯比雪夫亞力山大 , KRUPYSHEV, ALEXANDER , 吉爾克萊史特亞瑟 , GILCHRIST, ULYSSES , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 巴比斯丹尼爾 , BABBS, DANIEL
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687

10. 发明专利

TW201534445A 密封的機器人驅動审中-公开
简体标题：密封的机器人驱动
公开(公告)号：TW201534445A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：TW103139221
申请日：2014-11-12
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：摩拉傑羅 , MOURA, JAIRO TERRA , 卡維尼羅勃 , CAVENEY, ROBERT T. , 基士德阿里色吉爾 , GILCHRIST, ULYSSES , 赫瑟庫馬丁 , HOSEK, MARTIN , 克利許納斯美傑亞拉曼 , KRISHNASAMY, JAYARAMAN
IPC分类号： B25J11/00 , H02K1/06
CPC分类号： H02K5/128 , H02K1/141 , H02K1/148 , H02K1/246 , H02K11/21 , H02K19/103
摘要：運送設備包括：外殼；驅動器，係安裝至外殼；以及至少一運送手臂，係連接到驅動器，其中，驅動器包括：至少一轉子，其具有至少一磁導材料的突出柱，且係配置在隔離環境中；至少一定子，其具有至少一具有對應線圈單元之突出柱，且係配置在隔離環境外，其中，至少一定子的至少一突出柱與轉子的至少一突出柱在至少一轉子與至少一定子之間形成閉合磁通電路；以及至少一密封，係組構成隔離被隔離環境，其中，至少一密封係整合至至少一定子。
简体摘要：运送设备包括：外壳；驱动器，系安装至外壳；以及至少一运送手臂，系连接到驱动器，其中，驱动器包括：至少一转子，其具有至少一磁导材料的突出柱，且系配置在隔离环境中；至少一定子，其具有至少一具有对应线圈单元之突出柱，且系配置在隔离环境外，其中，至少一定子的至少一突出柱与转子的至少一突出柱在至少一转子与至少一定子之间形成闭合磁通电路；以及至少一密封，系组构成隔离被隔离环境，其中，至少一密封系集成至至少一定子。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式