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1. 发明专利

TW463076B 壓力式流量控制裝置之流量異常檢知方法有权
简体标题：压力式流量控制设备之流量异常检知方法
公开(公告)号：TW463076B
公开(公告)日：2001-11-11
申请号：TW089116036
申请日：2000-08-09
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘 , 飯田精一
发明人：大見忠弘 , 飯田精一 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 深澤和夫 , 小泉浩 , 長岡秀樹 , 宇野富雄 , 西野功二 , 池田信一 , 土肥亮介 , 出田英二
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05B23/0235 , G05B23/0256 , G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要：於利用孔口(orifice)之壓力式流量控制裝置，有關邊控制流量也可用簡單構成進行檢知孔口堵塞之技術。
本發明之解決手段，係將上游側壓力Pl保持為下游側壓力P2之大約2倍以上將下游側之流量Qc以Qc= KPl(K:常數)演算，藉此演算流量Qc與設定流量 Qs之差值訊號QY以開閉控制控制閥CV之流量控制裝置FCS，提案一種從另設之檢定電路或流量設定電路輸出具有檢定振幅VO之檢定用訊號△QS，而應答於此來測定上游側壓力Pl之變動壓力△Pl之壓力振幅V，當此壓力振幅V變成較界限振幅Vt為小時告知孔口堵塞之流量異常檢知方法。
若從檢定電路或流量設定流量重疊於恒常設定流量 QSO輸出檢定用訊號△QS時，由恒常設定流量QSO邊控制流量就可檢知流量異常。
简体摘要：于利用孔口(orifice)之压力式流量控制设备，有关边控制流量也可用简单构成进行检知孔口堵塞之技术。本发明之解决手段，系将上游侧压力Pl保持为下游侧压力P2之大约2倍以上将下游侧之流量Qc以Qc= KPl(K:常数)演算，借此演算流量Qc与设置流量 Qs之差值信号QY以开闭控制控制阀CV之流量控制设备FCS，提案一种从另设之检定电路或流量设置电路输出具有检定振幅VO之检定用信号△QS，而应答于此来测定上游侧压力Pl之变动压力△Pl之压力振幅V，当此压力振幅V变成较界限振幅Vt为小时告知孔口堵塞之流量异常检知方法。若从检定电路或流量设置流量重叠于恒常设置流量 QSO输出检定用信号△QS时，由恒常设置流量QSO边控制流量就可检知流量异常。

2. 发明专利

TW466336B 壓力偵知器的安裝構造有权
简体标题：压力侦知器的安装构造
公开(公告)号：TW466336B
公开(公告)日：2001-12-01
申请号：TW089120571
申请日：2000-10-03
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 廣瀨隆 , 出田英二 , 池田信一 , 上肥亮介 , 西野功二 , 吉川和博 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 深澤和夫 , 小泉浩 , 長岡秀樹
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G01L19/0023 , G01L19/0645 , G01L19/145 , G01L19/147
摘要：為提供一種將隔膜型壓力偵知器組裝於設在管路或機器等安裝用具時，可防止加於壓力偵知器之應力所起隔膜之變形，及組裝前之特性較大變化之壓力偵知器的安裝構造。
因此，本發明係在將具隔膜之隔膜座，與內藏有藉上述隔膜變位而移動之感測元件的感測元件座組合所成壓力偵知器，介由墊片插設於配管路或機械裝置所設安裝用具本體之插設孔內，且藉自上方插入於插設孔之抑壓構件壓任促使壓力偵知器以氣密固定之壓力偵知器的安裝構造，使抑壓構件抵觸於上述隔膜座本體部上面及使墊片抵觸於隔膜座本體部底面同時，在上述本體部底面與墊片抵觸部內側位置形成環狀淺槽，而藉該淺槽吸收因抑壓構件之抑押所產生之變形。
简体摘要：为提供一种将隔膜型压力侦知器组装于设在管路或机器等安装用具时，可防止加于压力侦知器之应力所起隔膜之变形，及组装前之特性较大变化之压力侦知器的安装构造。因此，本发明系在将具隔膜之隔膜座，与内藏有藉上述隔膜变位而移动之传感组件的传感组件座组合所成压力侦知器，介由垫片插设于配管路或机械设备所设安装用具本体之插设孔内，且藉自上方插入于插设孔之抑压构件压任促使压力侦知器以气密固定之压力侦知器的安装构造，使抑压构件抵触于上述隔膜座本体部上面及使垫片抵触于隔膜座本体部底面同时，在上述本体部底面与垫片抵触部内侧位置形成环状浅槽，而藉该浅槽吸收因抑压构件之抑押所产生之变形。

3. 发明专利

TW445401B 平行分流式流體供應裝置與使用該裝置之流體可變型壓力式流量控制方法及流體可變型壓力式流量控制裝置有权
简体标题：平行分流式流体供应设备与使用该设备之流体可变型压力式流量控制方法及流体可变型压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW445401B
公开(公告)日：2001-07-11
申请号：TW089107095
申请日：2000-04-15
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 杉山一彥 , 深澤和夫 , 小泉浩 , 長岡秀樹 , 皆見幸男 , 西野功二 , 土肥亮介 , 米華克典 , 池田信一 , 山路道雄 , 森本明弘 , 宇野富雄 , 出田英二 , 松本篤志 , 上野山豊已
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0658 , G05D7/0664 , Y10S438/935 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/87877 , Y10T137/87917
摘要：一種平行分流式流體供應裝置與使用該裝置之流體的可變型壓力式流量控制方法及流體可變型壓力式流量控制裝置，從壓力調整用的l個調整器平行配設複數條流路之流體供應裝置中，使各流路之流體供應的開關操作不致對其他流路之穩態供應造成過大的變動。因此，在各流路上配設流量控制用質量流控制器MFC或壓力式流量控制裝置FCS，某流路之流體供給自關閉而開啟時，構成從其流路之質量流控制器MFC動作開始僅延遲預定的延遲時間△t到達設定流量Qs。
又，利用l台壓力式流量控制裝置可高精度流量控制複數氣體種類及實現其裝置。因此，以臨界壓力比以下的條件理論性導出通過孔口的氣體流量，根據該式定義流動係數，利用該流動係數形成可對應多數之氣體種類者。
亦即，將孔口8的上游側壓力P1保持在下游壓力P2約2倍以上的狀態下，通過孔口的氣體運算流量Qc以 Qc=KP1(K為常數)運算之流量控制方法中，各種類氣體係以FF=(k/γs){2/(κ+l)}](x.1)〔κ/{(κ十l)R}〕1/2計算流動係數FF，氣體種類A的運算流量為QA時，在同一孔口、同一上游側壓力及同一上游側溫度的條件下使氣體種類B流通時，以其運算流量QvB作為QvB(EFvB/EFvA)QvA算出。其中，γS為氣體的標準狀態密度，κ為氣體的比熱比，R為氣體常數，k為未依據氣體種類之比例常數，FFvA.FFvB為氣體種類A.B的流動係數。
简体摘要：一种平行分流式流体供应设备与使用该设备之流体的可变型压力式流量控制方法及流体可变型压力式流量控制设备，从压力调整用的l个调整器平行配设复数条流路之流体供应设备中，使各流路之流体供应的开关操作不致对其他流路之稳态供应造成过大的变动。因此，在各流路上配设流量控制用质量流控制器MFC或压力式流量控制设备FCS，某流路之流体供给自关闭而打开时，构成从其流路之质量流控制器MFC动作开始仅延迟预定的延迟时间△t到达设置流量Qs。又，利用l台压力式流量控制设备可高精度流量控制复数气体种类及实现其设备。因此，以临界压力比以下的条件理论性导出通过孔口的气体流量，根据该式定义流动系数，利用该流动系数形成可对应多数之气体种类者。亦即，将孔口8的上游侧压力P1保持在下游压力P2约2倍以上的状态下，通过孔口的气体运算流量Qc以 Qc=KP1(K为常数)运算之流量控制方法中，各种类气体系以FF=(k/γs){2/(κ+l)}](x.1)〔κ/{(κ十l)R}〕1/2计算流动系数FF，气体种类A的运算流量为QA时，在同一孔口、同一上游侧压力及同一上游侧温度的条件下使气体种类B流通时，以其运算流量QvB作为QvB(EFvB/EFvA)QvA算出。其中，γS为气体的标准状态密度，κ为气体的比热比，R为气体常数，k为未依据气体种类之比例常数，FFvA.FFvB为气体种类A.B的流动系数。

4. 发明专利

TW240188B 鎖緊裝置失效
简体标题：锁紧设备
公开(公告)号：TW240188B
公开(公告)日：1995-02-11
申请号：TW083105087
申请日：1994-06-03
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：土肥亮介 , 山路道雄 , 出田英二 , 池田信一 , 西野功二 , 長井邦雄 , 篠原努
IPC分类号： B25B , F16L
CPC分类号： B25B21/00 , B25B13/481 , B25B21/002
摘要：一種鎖緊裝置，具備有上板，及設置於上板之下側並與上板平行之下板，及可在水平面內旋轉那樣被支撐於下板之螺帽旋轉用齒輪，及裝設於上板之下側與螺帽旋轉用齒輪咬合而可使該齒輪旋轉之正齒輪。於上板處設置有凸緣鑲入部，係鑲合於公螺絲構件之凸緣以阻止公螺絲構件之旋轉，而於螺帽旋轉用齒輪上設置有用於螺帽鑲入之螺帽鑲入部。
事先用手將螺帽鎖定於公螺絲構件，接著將上板之凸緣鑲入部鑲合於公螺絲構件之凸緣上，再來就是將螺帽旋轉用齒輪之螺帽鑲入部鑲合於螺帽後以旋轉傳動齒輪。如此一來，螺帽旋轉用齒輪即旋轉而將螺帽鎖緊於公螺絲上。
简体摘要：一种锁紧设备，具备有上板，及设置于上板之下侧并与上板平行之下板，及可在水平面内旋转那样被支撑于下板之螺帽旋转用齿轮，及装设于上板之下侧与螺帽旋转用齿轮咬合而可使该齿轮旋转之正齿轮。于上板处设置有凸缘镶入部，系镶合于公螺丝构件之凸缘以阻止公螺丝构件之旋转，而于螺帽旋转用齿轮上设置有用于螺帽镶入之螺帽镶入部。事先用手将螺帽锁定于公螺丝构件，接着将上板之凸缘镶入部镶合于公螺丝构件之凸缘上，再来就是将螺帽旋转用齿轮之螺帽镶入部镶合于螺帽后以旋转传动齿轮。如此一来，螺帽旋转用齿轮即旋转而将螺帽锁紧于公螺丝上。

5. 发明专利

TW332308B 配管施工的管理系統失效
简体标题：配管施工的管理系统
公开(公告)号：TW332308B
公开(公告)日：1998-05-21
申请号：TW086107520
申请日：1997-06-02
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：土肥亮介 , 大見忠弘 , 出田英二 , 池田信一 , 唐土裕司 , 福田浩幸
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B23K9/0953 , B23K31/12 , B23K2201/06
摘要：本發明之配管施工管理系統具備有：依據規定條件進行管子之焊接或管接頭之栓緊等配管施工之配管施工機；配管施工條件之設定值及依據實際配管施工資料來判定配管施工是否適當地進行之判定手段；儲存配管施工條件之設定值，實際之配管施工資料及判定結果之電腦主機(host cpmputer) ；與將配管施工條件之設定值，實際之配管施工資料及判定結果送訊到電腦主機之通訊手段。
简体摘要：本发明之配管施工管理系统具备有：依据规定条件进行管子之焊接或管接头之栓紧等配管施工之配管施工机；配管施工条件之设置值及依据实际配管施工数据来判定配管施工是否适当地进行之判定手段；存储配管施工条件之设置值，实际之配管施工数据及判定结果之电脑主机(host cpmputer) ；与将配管施工条件之设置值，实际之配管施工数据及判定结果送讯到电脑主机之通信手段。

6. 发明专利

TW276202B 管端面切削器失效
公开(公告)号：TW276202B
公开(公告)日：1996-05-21
申请号：TW084111228
申请日：1995-10-24
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 出田英二 , 森本明弘
IPC分类号： B23B
CPC分类号： B23B5/163 , Y10T82/22 , Y10T408/5633
摘要：用於切削管端面之切削器，係具有對於驅動軸軸線成直角且自基準側面以斜向延伸之刀刃。嵌入有切刀基端部之切刀安裝槽具有自驅動軸軸線偏離所定距離之基準側面。將切刀之基準側面緊接於切刀安裝槽之基準側面，另外，將切刀沿著切刀安裝槽之長方向移動所定距離，藉此，使切刀之切削方向對於在切削位置的切線方向呈以所定角度偏向外。
简体摘要：用于切削管端面之切削器，系具有对于驱动轴轴线成直角且自基准侧面以斜向延伸之刀刃。嵌入有切刀基端部之切刀安装槽具有自驱动轴轴线偏离所定距离之基准侧面。将切刀之基准侧面紧接于切刀安装槽之基准侧面，另外，将切刀沿着切刀安装槽之长方向移动所定距离，借此，使切刀之切削方向对于在切削位置的切线方向呈以所定角度偏向外。

7. 实用新型

TW471583U 孔口內設閥失效
简体标题：孔口内设阀
公开(公告)号：TW471583U
公开(公告)日：2002-01-01
申请号：TW090211979
申请日：2000-07-06
申请人：富士金股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 出田英二 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一 , 廣瀨隆 , 山路道雄
IPC分类号： F16K
摘要：可謀求減少使用於具備在半導體製造裝置或化學品製造設備所使用之壓力式流量控制裝置之氣體供給設備等的孔口內設閥之製造成本，同時藉提高孔口之加精度及防止閥裝配時之孔口變形，提供一種可得到優異之流量控制特性的孔口內設閥。為了此，在本創作中，係由形成有連通於上方開放之閥室之氣體流入路與氣體流出路的耐熱材料製閥本體，及設於閥本體之閥室內，形成有相連通於上述閥本體之氣體流出路之氣體流出路與閥座的含成樹脂製閥座體，及可裝卸地設於閥座體之氣體流出路中之耐熱材料製孔口盤，及形成在孔口盤且縮小閥座體之氣體流出路的孔口，來構成孔口內設閥之主要部；在不銹鋼製孔口盤事先形成孔口，同時裝卸自如地裝配藉由其他加工讓孔口所形成之金屬製孔口盤與合成樹脂製閥座體，藉著經由金屬製內盤。推壓壓縮合成樹脂帶製閥座體，將兩者密狀地組製在閥本體。
简体摘要：可谋求减少使用于具备在半导体制造设备或化学品制造设备所使用之压力式流量控制设备之气体供给设备等的孔口内设阀之制造成本，同时藉提高孔口之加精度及防止阀装配时之孔口变形，提供一种可得到优异之流量控制特性的孔口内设阀。为了此，在本创作中，系由形成有连通于上方开放之阀室之气体流入路与气体流出路的耐热材料制阀本体，及设于阀本体之阀室内，形成有相连通于上述阀本体之气体流出路之气体流出路与阀座的含成树脂制阀座体，及可装卸地设于阀座体之气体流出路中之耐热材料制孔口盘，及形成在孔口盘且缩小阀座体之气体流出路的孔口，来构成孔口内设阀之主要部；在不锈钢制孔口盘事先形成孔口，同时装卸自如地装配借由其他加工让孔口所形成之金属制孔口盘与合成树脂制阀座体，借着经由金属制内盘。推压压缩合成树脂带制阀座体，将两者密状地组制在阀本体。

8. 发明专利

TW381205B 具有壓力式流量控制裝置之氣體供應設備有权
简体标题：具有压力式流量控制设备之气体供应设备
公开(公告)号：TW381205B
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：TW088108875
申请日：1999-05-28
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 池田信一 , 西野功二 , 吉川和博 , 出田英二 , 上肥亮介
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：本發明之課題係將在半導體製造裝置等所使用具有壓力式流量控制裝置之氣體供應設備更加小型化來降低製造成本，並且，改善過渡流量特性來防止氣體供應揭示時之氣體之越標(overshoot)現象之發生，藉提升流量控制精度或設備之可靠性，來減少半導體製品品質之不均勻並且提高半導體製品之製造效率。
本發明之解決手段，係將孔口(orifice)之上游側壓力保持成下游側壓力之約2倍以上之狀態下邊進行氣體之流量控制透過孔口對應閥對於製程供應氣體之壓力式流量控制裝置之氣體供應設備，其特徵為備有﹔從氣體供應源接受氣體之控制閥，與設於控制閥下游側之孔口對應閥，與設在上述控制閥與孔口對應閥間之壓力檢測器，與設於孔口對應閥之閥機構部下游側之孔口，與從上述壓力檢測器之檢測壓力P1將流量以Qc=KP1(但是K係常數)來加以演算，並且，將流量指令訊號Qs與演算流量Qc之差值作為控制訊號Qy而輸出於控制閥驅動部之演算控制裝置來構成氣體供應設備。
简体摘要：本发明之课题系将在半导体制造设备等所使用具有压力式流量控制设备之气体供应设备更加小型化来降低制造成本，并且，改善过渡流量特性来防止气体供应揭示时之气体之越标(overshoot)现象之发生，藉提升流量控制精度或设备之可靠性，来减少半导体制品品质之不均匀并且提高半导体制品之制造效率。本发明之解决手段，系将孔口(orifice)之上游侧压力保持成下游侧压力之约2倍以上之状态下边进行气体之流量控制透过孔口对应阀对于制程供应气体之压力式流量控制设备之气体供应设备，其特征为备有﹔从气体供应源接受气体之控制阀，与设于控制阀下游侧之孔口对应阀，与设在上述控制阀与孔口对应阀间之压力检测器，与设于孔口对应阀之阀机构部下游侧之孔口，与从上述压力检测器之检测压力P1将流量以Qc=KP1(但是K系常数)来加以演算，并且，将流量指令信号Qs与演算流量Qc之差值作为控制信号Qy而输出于控制阀驱动部之演算控制设备来构成气体供应设备。

9. 发明专利

TW369453B 鎖緊裝置失效
简体标题：锁紧设备
公开(公告)号：TW369453B
公开(公告)日：1999-09-11
申请号：TW086104442
申请日：1997-04-08
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 小島徹哉 , 山路道雄 , 出田英二 , 平尾圭志 , 福田浩幸 , 篠原努
IPC分类号： B23P
摘要：提供一種可消除僅以規定角度一點一點地依順序旋轉螺紋構件之麻煩作業或單邊鎖緊，同時可將複數之螺紋構件以適當的鎖緊扭矩予以鎖緊之鎖緊裝置。
鎖緊裝置1，係具備有：以嵌合於螺紋構件44之扳手部8前端所具有二支旋轉軸6；將各旋轉軸6以個別驅動之馬達3；以及分別檢出各螺紋構件44之鎖緊扭矩並依據此檢出值使鎖緊能適當地實行而控制馬達3之控制部9。在控制部9，係判定每一螺紋構件44之鎖緊扭矩是否在規定範圍內以及各各螺紋構件44間之鎖聚扭矩差是否在規定內。
简体摘要：提供一种可消除仅以规定角度一点一点地依顺序旋转螺纹构件之麻烦作业或单边锁紧，同时可将复数之螺纹构件以适当的锁紧扭矩予以锁紧之锁紧设备。锁紧设备1，系具备有：以嵌合于螺纹构件44之扳手部8前端所具有二支旋转轴6；将各旋转轴6以个别驱动之马达3；以及分别检出各螺纹构件44之锁紧扭矩并依据此检出值使锁紧能适当地实行而控制马达3之控制部9。在控制部9，系判定每一螺纹构件44之锁紧扭矩是否在规定范围内以及各各螺纹构件44间之锁聚扭矩差是否在规定内。

10. 发明专利

TW330169B 螺栓構件的鎖緊方法失效
简体标题：螺栓构件的锁紧方法
公开(公告)号：TW330169B
公开(公告)日：1998-04-21
申请号：TW086104443
申请日：1997-04-08
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 小島徹哉 , 山路道雄 , 出田英二 , 平尾圭志 , 福田浩幸 , 篠原努
IPC分类号： B25B , H01L
摘要：提供一種螺栓構件的鎖緊方法，係防止一邊栓緊，用來以適當鎖緊，扭矩來鎖緊各螺栓構件。
當鎖緊多數之螺栓構件由驅動裝置來實行時，一邊檢出各螺栓構件之鎖緊量及鎖緊扭矩一邊進行鎖緊，其鎖緊量在所有螺栓構件成為規定範圍值時，將各螺栓構件間之鎖緊扭矩差判定是否在規定範圍內。
简体摘要：提供一种螺栓构件的锁紧方法，系防止一边栓紧，用来以适当锁紧，扭矩来锁紧各螺栓构件。当锁紧多数之螺栓构件由驱动设备来实行时，一边检出各螺栓构件之锁紧量及锁紧扭矩一边进行锁紧，其锁紧量在所有螺栓构件成为规定范围值时，将各螺栓构件间之锁紧扭矩差判定是否在规定范围内。

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