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    • 2. 发明专利
    • 鎖緊裝置
    • 锁紧设备
    • TW369453B
    • 1999-09-11
    • TW086104442
    • 1997-04-08
    • 大見忠弘富士金股份有限公司
    • 大見忠弘小島徹哉山路道雄出田英二平尾圭志福田浩幸篠原努
    • B23P
    • 提供一種可消除僅以規定角度一點一點地依順序旋轉螺紋構件之麻煩作業或單邊鎖緊,同時可將複數之螺紋構件以適當的鎖緊扭矩予以鎖緊之鎖緊裝置。
      鎖緊裝置1,係具備有:以嵌合於螺紋構件44之扳手部8前端所具有二支旋轉軸6;將各旋轉軸6以個別驅動之馬達3;以及分別檢出各螺紋構件44之鎖緊扭矩並依據此檢出值使鎖緊能適當地實行而控制馬達3之控制部9。在控制部9,係判定每一螺紋構件44之鎖緊扭矩是否在規定範圍內以及各各螺紋構件44間之鎖聚扭矩差是否在規定內。
    • 提供一种可消除仅以规定角度一点一点地依顺序旋转螺纹构件之麻烦作业或单边锁紧,同时可将复数之螺纹构件以适当的锁紧扭矩予以锁紧之锁紧设备。 锁紧设备1,系具备有:以嵌合于螺纹构件44之扳手部8前端所具有二支旋转轴6;将各旋转轴6以个别驱动之马达3;以及分别检出各螺纹构件44之锁紧扭矩并依据此检出值使锁紧能适当地实行而控制马达3之控制部9。在控制部9,系判定每一螺纹构件44之锁紧扭矩是否在规定范围内以及各各螺纹构件44间之锁聚扭矩差是否在规定内。
    • 3. 发明专利
    • 壓力式流量控制裝置
    • 压力式流量控制设备
    • TW384365B
    • 2000-03-11
    • TW087116620
    • 1998-10-07
    • 富士金股份有限公司東京威力科創有限公司大見忠弘
    • 大見忠弘加賀爪哲杉山一彥土肥亮介宇野富雄西野功二福田浩幸
    • F16K
    • 本發明係屬於在半導體製造裝置的氣體供給系統等所使用之壓力式流量控制裝置,係採用孔口的口徑可變型的孔口,使得流體之流量控制範圍能簡單地變更,並且能夠使壓力式流量控制裝置小形化和提高氣體的置換性,提高防止發塵性能,降低製造成本等者。
      具體上,係在由孔口,和設在孔口的上游側的控制閥,和設在控制閥與孔口間之壓力檢出器,及從壓力檢出器的檢出壓力P1,將流量Q當成Q=KP1(但是K為常數)來運算,並且把流量指令信號Qs與前述運算後之流量信號Q的差值當成控制信號Qy向前述控制閥之驅動部輸出的控制裝置所構成,以將孔口之上游側壓力P1和下游側壓力P2的比保持在被控制流體之臨界壓比以下的狀態,由前述控制閥之開閉來調整孔口上游側壓力P1,而控制孔口下游側的流體流量Q之形態的壓力式流量控制裝置,前述孔口係採用直接接觸型的金屬膜片閥,且閥座和隔膜之環狀的間隙係採用可變孔口,並且藉由孔口驅動裝置來調整前述間隙之大小。
    • 本发明系属于在半导体制造设备的气体供给系统等所使用之压力式流量控制设备,系采用孔口的口径可变型的孔口,使得流体之流量控制范围能简单地变更,并且能够使压力式流量控制设备小形化和提高气体的置换性,提高防止发尘性能,降低制造成本等者。 具体上,系在由孔口,和设在孔口的上游侧的控制阀,和设在控制阀与孔口间之压力检出器,及从压力检出器的检出压力P1,将流量Q当成Q=KP1(但是K为常数)来运算,并且把流量指令信号Qs与前述运算后之流量信号Q的差值当成控制信号Qy向前述控制阀之驱动部输出的控制设备所构成,以将孔口之上游侧压力P1和下游侧压力P2的比保持在被控制流体之临界压比以下的状态,由前述控制阀之开闭来调整孔口上游侧压力P1,而控制孔口下游侧的流体流量Q之形态的压力式流量控制设备,前述孔口系采用直接接触型的金属膜片阀,且阀座和隔膜之环状的间隙系采用可变孔口,并且借由孔口驱动设备来调整前述间隙之大小。
    • 5. 发明专利
    • 壓力式流量控制裝置
    • 压力式流量控制设备
    • TW300947B
    • 1997-03-21
    • TW085105996
    • 1996-05-21
    • 富士金股份有限公司
    • 土肥亮介川田幸司池田信一西野功二皆見幸男森本明弘福田浩幸
    • F17DG05D
    • G05D7/0635Y10T137/5109Y10T137/7737Y10T137/7759Y10T137/7761Y10T137/777Y10T137/87917
    • 本發明之目的係在於提高流量控制裝置之控制精度,而且達成裝置之小型化,低成本化。
      一種壓力式流量控制裝置,屬於將流出口之上游側壓力P1保持在下游側壓力之約兩倍以上之狀態下實行控制流體之流量的壓力式流量控制裝置,其特徵為:流出口5,及設於流出口2之上游側的控制閥5,及設於控制閥2與流出口5間的壓力檢測器3,及從壓力檢測器2之檢測壓力P1作為Qc=KP1,(但,K係常數)演算流量Qc,而且將流量指會信號Q5與上述經演算之流量信號Qc之間的相差作為控制信號 Qy而輸出至上述控制閥2之驅動部14的演算控制裝置6所構成;藉控制閥2之開閉來調整流出口上游側壓力P1,俾控制流出口下游側流量者。
    • 本发明之目的系在于提高流量控制设备之控制精度,而且达成设备之小型化,低成本化。 一种压力式流量控制设备,属于将流出口之上游侧压力P1保持在下游侧压力之约两倍以上之状态下实行控制流体之流量的压力式流量控制设备,其特征为:流出口5,及设于流出口2之上游侧的控制阀5,及设于控制阀2与流出口5间的压力检测器3,及从压力检测器2之检测压力P1作为Qc=KP1,(但,K系常数)演算流量Qc,而且将流量指会信号Q5与上述经演算之流量信号Qc之间的相差作为控制信号 Qy而输出至上述控制阀2之驱动部14的演算控制设备6所构成;藉控制阀2之开闭来调整流出口上游侧压力P1,俾控制流出口下游侧流量者。