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1. 发明专利

TWI484310B 材料氣體濃度控制系統有权
简体标题：材料气体浓度控制系统
公开(公告)号：TWI484310B
公开(公告)日：2015-05-11
申请号：TW098136675
申请日：2009-10-29
申请人：堀場製作所股份有限公司 , HORIBA, LTD. , 堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：南雅和 , MINAMI, MASAKAZU , 林大介 , HAYASHI, DAISUKE , 坂口有平 , SAKAGUCHI, YUHEI , 西村克美 , NISHIMURA, KATSUMI , 井上正規 , INOUE, MASAKI , 瀧尻興太郎 , TAKIJIRI, KOTARO
IPC分类号： G05D11/08 , G01N7/14
CPC分类号： G05D11/132 , Y10T137/0396 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708

2. 发明专利

TW201027291A 材料氣體濃度控制系統 MATERIAL GAS CONCERTRATION CONTROL SYSTEM 审中-公开
简体标题：材料气体浓度控制系统 MATERIAL GAS CONCERTRATION CONTROL SYSTEM
公开(公告)号：TW201027291A
公开(公告)日：2010-07-16
申请号：TW098136675
申请日：2009-10-29
申请人：堀場製作所股份有限公司 , 堀場STEC股份有限公司
发明人：南雅和 , 林大介 , 坂口有平 , 西村克美 , 井上正規 , 瀧尻興太郎
IPC分类号： G05D , G01N
CPC分类号： G05D11/132 , Y10T137/0396 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708
摘要：一種材料氣體濃度控制系統,用於材料氣化系統中,所述材料氣化系統包括收納材料的貯槽、將使所收納的材料氣化的載氣導入至所述貯槽內的導入管、以及將氣化而成的材料氣體及所述載氣的混合氣體從所述貯槽內導出的導出管,所述材料氣體濃度控制系統包括設置於所述導出管上的第1閥、測量所述混合氣體中的材料氣體的濃度的濃度測量部、以及對所述第1閥的開度進行控制以使所述濃度測量部所測量的材料氣體的測量濃度達到預定的設定濃度的濃度控制部。
简体摘要：一种材料气体浓度控制系统,用于材料气化系统中,所述材料气化系统包括收纳材料的贮槽、将使所收纳的材料气化的载气导入至所述贮槽内的导入管、以及将气化而成的材料气体及所述载气的混合气体从所述贮槽内导出的导出管,所述材料气体浓度控制系统包括设置于所述导出管上的第1阀、测量所述混合气体中的材料气体的浓度的浓度测量部、以及对所述第1阀的开度进行控制以使所述浓度测量部所测量的材料气体的测量浓度达到预定的设置浓度的浓度控制部。

3. 发明专利

TW201835981A 氣體控制系統、成膜裝置、存儲介質和氣體控制方法审中-公开
简体标题：气体控制系统、成膜设备、存储介质和气体控制方法
公开(公告)号：TW201835981A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW107108102
申请日：2018-03-09
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：坂口有平 , SAKAGUCHI, YUHEI , 志水徹 , SHIMIZU, TORU , 南雅和 , MINAMI, MASAKAZU , 林大介 , HAYASHI, DAISUKE
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448
摘要：本發明涉及氣體控制系統、成膜裝置、存儲介質和氣體控制方法，容易控制從容器匯出的材料氣體的總量。氣體控制系統向收容有材料的容器(10)導入載氣，並且將材料氣化後的材料氣體與載氣一起從容器(10)匯出，氣體控制系統具有控制部(60)，控制部(60)控制載氣的流量，使濃度指標值接近預先確定的目標濃度指標值，濃度指標值直接或間接表示測量從容器(10)匯出的混合氣體而得到的混合氣體中的材料氣體濃度，控制部(60)在進行控制載氣的流量以規定變化率變化的第一控制後進行第二控制，第二控制基於濃度指標值和目標濃度指標值的偏差來控制載氣的流量。
简体摘要：本发明涉及气体控制系统、成膜设备、存储介质和气体控制方法，容易控制从容器导出的材料气体的总量。气体控制系统向收容有材料的容器(10)导入载气，并且将材料气化后的材料气体与载气一起从容器(10)导出，气体控制系统具有控制部(60)，控制部(60)控制载气的流量，使浓度指针值接近预先确定的目标浓度指针值，浓度指针值直接或间接表示测量从容器(10)导出的混合气体而得到的混合气体中的材料气体浓度，控制部(60)在进行控制载气的流量以规定变化率变化的第一控制后进行第二控制，第二控制基于浓度指针值和目标浓度指针值的偏差来控制载气的流量。

4. 发明专利

TW201816170A 氣體控制系統、具備該氣體控制系統的成膜裝置、偵測方法以及記憶媒體审中-公开
简体标题：气体控制系统、具备该气体控制系统的成膜设备、侦测方法以及记忆媒体
公开(公告)号：TW201816170A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106126206
申请日：2017-08-03
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：西里洋 , NISHIZATO, HIROSHI , 南雅和 , MINAMI, MASAKAZU , 坂口有平 , SAKAGUCHI, YUHEI
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/52 , H01L21/205
摘要：在對載氣的流量進行調節以對混合氣體中的材料氣體的流量進行控制的氣體控制系統中，避免長時間置於所述控制極限狀況下。氣體控制系統向收容有材料的槽罐10內導入載氣，並將該材料氣化後的材料氣體與所述載氣一同從所述槽罐10予以導出，其包括：流量控制部71，藉由對導入所述槽罐10的載氣的流量進行調節，從而對從所述槽罐10導出的材料氣體的流量進行控制；以及控制極限偵測部72，偵測控制極限狀況，並輸出該意旨，該控制極限狀況是無法藉由該流量控制部71對載氣的流量調節，來確保所述材料氣體的規定性能下的流量控制的狀況。
简体摘要：在对载气的流量进行调节以对混合气体中的材料气体的流量进行控制的气体控制系统中，避免长时间置于所述控制极限状况下。气体控制系统向收容有材料的槽罐10内导入载气，并将该材料气化后的材料气体与所述载气一同从所述槽罐10予以导出，其包括：流量控制部71，借由对导入所述槽罐10的载气的流量进行调节，从而对从所述槽罐10导出的材料气体的流量进行控制；以及控制极限侦测部72，侦测控制极限状况，并输出该意旨，该控制极限状况是无法借由该流量控制部71对载气的流量调节，来确保所述材料气体的规定性能下的流量控制的状况。

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