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    • 1. 发明专利
    • 掃描透鏡及應用該掃瞄透鏡之干涉量測裝置
    • 扫描透镜及应用该扫瞄透镜之干涉量测设备
    • TW201443480A
    • 2014-11-16
    • TW102116255
    • 2013-05-07
    • 國立臺灣大學NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
    • 蔡建中TSAI, CHIEN CHUNG黃升龍HUANG, SHENG LUNG
    • G02B26/10G01B9/02
    • G01B9/02015G01B9/02049G01B9/02058G02B21/0056
    • 本發明有關於一種掃瞄透鏡及應用該掃描透鏡之干涉量測裝置,其中掃描透鏡包括一透鏡組、一反射單元及一分光器,且反射單元位於透鏡組及分光器之間。在使用具有掃描透鏡的干涉量測裝置進行量測時,光束會穿過透鏡組並投射在分光器上,其中穿透分光器的光束為第一光束,而被分光器所反射的光束則為第二光束。第一光束投射在一待測物上,而第二光束則投射在反射單元上,其中反射單元所反射的第二光束及待測物反射或散射的第一光束會形成干涉,藉此將可透過干涉量測裝置完成待測物的量測。
    • 本发明有关于一种扫瞄透镜及应用该扫描透镜之干涉量测设备,其中扫描透镜包括一透镜组、一反射单元及一分光器,且反射单元位于透镜组及分光器之间。在使用具有扫描透镜的干涉量测设备进行量测时,光束会穿过透镜组并投射在分光器上,其中穿透分光器的光束为第一光束,而被分光器所反射的光束则为第二光束。第一光束投射在一待测物上,而第二光束则投射在反射单元上,其中反射单元所反射的第二光束及待测物反射或散射的第一光束会形成干涉,借此将可透过干涉量测设备完成待测物的量测。