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1. 发明专利

TWI431243B 使用於干涉儀中的光學總成、干涉系統及干涉方法有权
简体标题：使用于干涉仪中的光学总成、干涉系统及干涉方法
公开(公告)号：TWI431243B
公开(公告)日：2014-03-21
申请号：TW099119849
申请日：2010-06-18
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人： D E 古魯特彼德J , DE GROOT, PETER J. , 迪克萊思禮L , DECK, LESLIE L. , 貝根詹姆士F , BIEGEN, JAMES F. , 克里歐保羅斯克里斯 , KOLIOPOULOS, CHRIS
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02058 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02059 , G01B9/0209 , G02B21/14

2. 发明专利

TW201443480A 掃描透鏡及應用該掃瞄透鏡之干涉量測裝置审中-公开
简体标题：扫描透镜及应用该扫瞄透镜之干涉量测设备
公开(公告)号：TW201443480A
公开(公告)日：2014-11-16
申请号：TW102116255
申请日：2013-05-07
申请人：國立臺灣大學 , NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
发明人：蔡建中 , TSAI, CHIEN CHUNG , 黃升龍 , HUANG, SHENG LUNG
IPC分类号： G02B26/10 , G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02015 , G01B9/02049 , G01B9/02058 , G02B21/0056
摘要：本發明有關於一種掃瞄透鏡及應用該掃描透鏡之干涉量測裝置，其中掃描透鏡包括一透鏡組、一反射單元及一分光器，且反射單元位於透鏡組及分光器之間。在使用具有掃描透鏡的干涉量測裝置進行量測時，光束會穿過透鏡組並投射在分光器上，其中穿透分光器的光束為第一光束，而被分光器所反射的光束則為第二光束。第一光束投射在一待測物上，而第二光束則投射在反射單元上，其中反射單元所反射的第二光束及待測物反射或散射的第一光束會形成干涉，藉此將可透過干涉量測裝置完成待測物的量測。
简体摘要：本发明有关于一种扫瞄透镜及应用该扫描透镜之干涉量测设备，其中扫描透镜包括一透镜组、一反射单元及一分光器，且反射单元位于透镜组及分光器之间。在使用具有扫描透镜的干涉量测设备进行量测时，光束会穿过透镜组并投射在分光器上，其中穿透分光器的光束为第一光束，而被分光器所反射的光束则为第二光束。第一光束投射在一待测物上，而第二光束则投射在反射单元上，其中反射单元所反射的第二光束及待测物反射或散射的第一光束会形成干涉，借此将可透过干涉量测设备完成待测物的量测。

3. 发明专利

TW200604695A 使用低同調干涉信號決定光學特性之方法及系統 METHODS AND SYSTEMS FOR DETERMINING OPTICAL PROPERTIES USING LOW-COHERENCE INTERFERENCE SIGNALS 审中-公开
简体标题：使用低同调干涉信号决定光学特性之方法及系统 METHODS AND SYSTEMS FOR DETERMINING OPTICAL PROPERTIES USING LOW-COHERENCE INTERFERENCE SIGNALS
公开(公告)号：TW200604695A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：TW094115880
申请日：2005-05-17
申请人：賽格股份有限公司 ZYGO CORPORATION
发明人：塞維爾柯隆納迪雷加 LEGA, XAVIER COLONNA
IPC分类号： G02F
CPC分类号： G01B9/02084 , G01B9/02058 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G01M11/0228 , G01M11/0271 , G01N21/45
摘要：說明用以決定光學系統(例如干涉儀)及／或光學元件(例如透鏡及／或透鏡系統)的特性之方法及相關系統。例如，有關干涉儀的光學厚度失配的資訊可由提供掃瞄干涉資料被決定。資料典型地包括獲得各自對應於測試對象的不同的空間位置的一個或多個干涉信號。相位對各干涉信號的各多重頻率而被決定。有關光學厚度失配的資訊係根據對干涉信號的各多重頻率的相位而被決定。
简体摘要：说明用以决定光学系统(例如干涉仪)及／或光学组件(例如透镜及／或透镜系统)的特性之方法及相关系统。例如，有关干涉仪的光学厚度失配的信息可由提供扫瞄干涉数据被决定。数据典型地包括获得各自对应于测试对象的不同的空间位置的一个或多个干涉信号。相位对各干涉信号的各多重频率而被决定。有关光学厚度失配的信息系根据对干涉信号的各多重频率的相位而被决定。

4. 发明专利

TW201100751A 等路徑干涉儀 EQUAL-PATH INTERFEROMETER 审中-公开
简体标题：等路径干涉仪 EQUAL-PATH INTERFEROMETER
公开(公告)号：TW201100751A
公开(公告)日：2011-01-01
申请号：TW099119849
申请日：2010-06-18
申请人：賽格股份有限公司
发明人： D E 古魯特彼德J , 迪克萊思禮L , 貝根詹姆士F , 克里歐保羅斯克里斯
IPC分类号： G01B
CPC分类号： G01B9/02058 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02059 , G01B9/0209 , G02B21/14
摘要：提供一種使用於干涉儀中的光學總成。光學總成包括第一及第二部分反射表面,沿著光軸被定位且對光軸被定向於不同的非法線角。第二部分反射表面被配置以接收沿著光學路徑透射通過第一部分反射表面的光,將部分的接收光傳送至測試物體以定義干涉儀的測量光且將另一部分的接收光朝向第一部分反射表面反射回去以定義干涉儀的參考光。參考光在第二及第一部分反射表面間行進至少一次來回的路徑。
简体摘要：提供一种使用于干涉仪中的光学总成。光学总成包括第一及第二部分反射表面,沿着光轴被定位且对光轴被定向于不同的非法线角。第二部分反射表面被配置以接收沿着光学路径透射通过第一部分反射表面的光,将部分的接收光发送至测试物体以定义干涉仪的测量光且将另一部分的接收光朝向第一部分反射表面反射回去以定义干涉仪的参考光。参考光在第二及第一部分反射表面间行进至少一次来回的路径。

5. 发明专利

TWI490542B 掃描透鏡及應用該掃描透鏡之干涉量測裝置有权
简体标题：扫描透镜及应用该扫描透镜之干涉量测设备
公开(公告)号：TWI490542B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW102116255
申请日：2013-05-07
申请人：國立臺灣大學 , NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
发明人：蔡建中 , TSAI, CHIEN CHUNG , 黃升龍 , HUANG, SHENG LUNG
IPC分类号： G02B26/10 , G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02015 , G01B9/02049 , G01B9/02058 , G02B21/0056

6. 发明专利

TW200708714A 座標量測系統 A COORDINATE MEASURING DEVICE 审中-公开
简体标题：座标量测系统 A COORDINATE MEASURING DEVICE
公开(公告)号：TW200708714A
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：TW095126153
申请日：2006-07-18
申请人：比斯泰克半導體系統股份有限公司 VISTEC SEMICONDCUTOR SYSTEMS GMBH
发明人：海登麥可 HEIDEN, MICHAEL , 伯塞爾漢斯阿圖爾 BSSER, HANS-ARTHUR
IPC分类号： G01B
CPC分类号： G03F7/70775 , G01B9/02058 , G01B11/026 , G03F7/70883
摘要：一種用於判定可穿越台的位置的座標量測系統,其中將抽空的管插入到兩個干涉儀支腳中的較長者中。管由窗口來關閉,窗口具有負的熱膨脹係數且可具有用於反射熱輻射的塗層。此外,將熱補償板插入到兩個光束路徑中的較短者中。
简体摘要：一种用于判定可穿越台的位置的座标量测系统,其中将抽空的管插入到两个干涉仪支脚中的较长者中。管由窗口来关闭,窗口具有负的热膨胀系数且可具有用于反射热辐射的涂层。此外,将热补偿板插入到两个光束路径中的较短者中。

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