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1. 发明专利

TW201626431A 離子化裝置及包含離子化裝置的質譜儀审中-公开
简体标题：离子化设备及包含离子化设备的质谱仪
公开(公告)号：TW201626431A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104141567
申请日：2015-12-10
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：阿里曼米歇爾 , ALIMAN, MICHEL , 鍾辛俞安東尼 , CHUNG, HIN YUI ANTHONY , 費德森克詹納迪 , FEDOSENKO, GENNADY , 路透魯迪格 , 勞厄艾力克司 , LAUE, ALEXANDER , 科伊德爾阿希姆馮 , KEUDELL, ACHIM VON , 伯克馬可 , 本特索斯藤 , BENTER, THORSTEN , 韋特約格 , 渥克維斯彼得 , AWAKOWICZ, PETER , 葛赫夫里歐尼德 , GORKHOVER, LEONID
IPC分类号： H01J49/10 , H05H1/34 , H05H1/24
CPC分类号： H01J49/145 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J49/12
摘要：本申請所揭露之發明係關於一種離子化裝置(1)，其包括：一電漿產生裝置(4)，用於在主要電漿區(9)中產生介穩粒子(6a)及/或離子化氣體(6)之離子(6b)；一場產生裝置(13)，用於在次要電漿區(10)中產生輝光放電(12)；一進氣口(2)，用於將待離子化的氣體(3)供應入該次要電漿區(10)；以及一另一進氣口(5)，用於將該等介穩粒子(6a)及/或該離子化氣體(6)之該等離子(6b)供應入該次要電漿區(10)。本發明亦關於一種質譜儀(20)，包含此種一離子化裝置(1)；以及一偵測器(17)，配置於該離子化裝置(1)之排氣口(16)下游，用於該離子化氣體(3a、3a')之質譜分析。
简体摘要：本申请所揭露之发明系关于一种离子化设备(1)，其包括：一等离子产生设备(4)，用于在主要等离子区(9)中产生介稳粒子(6a)及/或离子化气体(6)之离子(6b)；一场产生设备(13)，用于在次要等离子区(10)中产生辉光放电(12)；一进气口(2)，用于将待离子化的气体(3)供应入该次要等离子区(10)；以及一另一进气口(5)，用于将该等介稳粒子(6a)及/或该离子化气体(6)之该等离子(6b)供应入该次要等离子区(10)。本发明亦关于一种质谱仪(20)，包含此种一离子化设备(1)；以及一侦测器(17)，配置于该离子化设备(1)之排气口(16)下游，用于该离子化气体(3a、3a')之质谱分析。

2. 发明专利

TWI579888B 質譜儀、其使用方法、及氣體混合物的質譜分析方法有权
简体标题：质谱仪、其使用方法、及气体混合物的质谱分析方法
公开(公告)号：TWI579888B
公开(公告)日：2017-04-21
申请号：TW103105973
申请日：2014-02-21
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH , 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司 , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人：費德森克詹納迪 , FEDOSENKO, GENNADY , 阿里曼米歇爾 , ALIMAN, MICHEL , 鍾辛俞安東尼 , CHUNG, HIN YIU ANTHONY , 藍克阿伯瑞特 , RANCK, ALBRECHT , 葛赫夫里歐尼德 , GORKHOVER, LEONID
IPC分类号： H01J49/02 , G01N27/62 , H01J49/10
CPC分类号： H01J49/04 , H01J49/0027 , H01J49/105 , H01J49/14 , H01J49/145 , H01J49/147

3. 发明专利

TW201832267A 即時監視程序的方法及質譜儀审中-公开
简体标题：实时监视进程的方法及质谱仪
公开(公告)号：TW201832267A
公开(公告)日：2018-09-01
申请号：TW107100661
申请日：2018-01-08
申请人：德商卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：鍾顯耀 , CHUNG, HIN YIU ANTHONY , 蘭奎斯席爾朵 , LUNDQUIST, THEODORE , 阿里曼米歇爾 , ALIMAN, MICHEL , 安東尼馬丁 , ANTONI, MARTIN , 費德森克詹納迪 , FEDOSENKO, GENNADY , 德普曼瓦勒里 , DERPMANN, VALERIE , 路特魯迪格 , REUTER, RUEDIGER , 勞厄艾力克司 , LAUE, ALEXANDER , 葛赫夫里歐尼德 , GORKHOVER, LEONID , 格魯斯安德斯 , GORUS, ANDREAS
IPC分类号： H01J49/00 , C23C16/44 , C23C16/52
摘要：本發明關於用於一程序的即時監視的方法，其包含：執行在監視程序中所產生的一氣體混合物(4)的一質譜即時量測，以決定指示監視程序的即時質譜資料(25a-c)；藉由評估一先前程序的至少一後程序計量方法所決定的計量資料來關聯及/或校準即時質譜資料(25a-c)，來評估監視程序，及/或藉由將即時質譜資料(25a-c)與至少一限制值比較、較佳為與監視程序的一處理窗的一限制值(29)比較，來評估監視程序。本發明也關於用以執行該方法的質譜儀。
简体摘要：本发明关于用于一进程的实时监视的方法，其包含：运行在监视进程中所产生的一气体混合物(4)的一质谱实时量测，以决定指示监视进程的实时质谱数据(25a-c)；借由评估一先前进程的至少一后进程计量方法所决定的计量数据来关联及/或校准实时质谱数据(25a-c)，来评估监视进程，及/或借由将实时质谱数据(25a-c)与至少一限制值比较、较佳为与监视进程的一处理窗的一限制值(29)比较，来评估监视进程。本发明也关于用以运行该方法的质谱仪。

4. 发明专利

TWI651532B 氣體混合物之質譜檢測方法以及用於其之質譜儀有权
简体标题：气体混合物之质谱检测方法以及用于其之质谱仪
公开(公告)号：TWI651532B
公开(公告)日：2019-02-21
申请号：TW103103636
申请日：2014-01-29
申请人：德商卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH , 德商卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司 , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人：鍾辛俞安東尼 , CHUNG, HIN YIU ANTHONY , 阿里曼米歇爾 , ALIMAN, MICHEL , 費德森克詹納迪 , FEDOSENKO, GENNADY , 藍克阿伯瑞特 , RANCK, ALBRECHT
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/26

6. 发明专利

TW201518723A 氣體混合物之質譜檢測方法以及用於其之質譜儀审中-公开
简体标题：气体混合物之质谱检测方法以及用于其之质谱仪
公开(公告)号：TW201518723A
公开(公告)日：2015-05-16
申请号：TW103103636
申请日：2014-01-29
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：鍾辛俞安東尼 , CHUNG, HIN YIU ANTHONY , 阿里曼米歇爾 , ALIMAN, MICHEL , 費德森克詹納迪 , FEDOSENKO, GENNADY , 藍克阿伯瑞特 , RANCK, ALBRECHT
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/26
CPC分类号： H01J49/0031 , C23C16/4405 , C23C16/52 , H01J37/32862 , H01J49/009 , H01J49/105 , H01J49/107 , H01J49/145 , H01J49/424 , H01J2237/335
摘要：本發明有關一種氣體混合物(2)之質譜檢測方法，其包含以下方法步驟：藉由啟動使用不同離子化程序操作的至少兩個離子化裝置(9a、9b、9c)，對要檢測的該氣體混合物(2)進行並聯或串聯離子化；及/或在一偵測器(10)中離子化該氣體混合物(2)，其中將該氣體混合物(2)及由一離子化裝置(9)產生之一離子化氣體(30)的離子及/或亞穩粒子(29)供給至該偵測器；及在該偵測器(10)中偵測該離子化氣體混合物(2)以對其進行該質譜檢測。本發明亦有關一種用於氣體混合物(2)之質譜檢測的質譜儀(21)，其包含：一離子化單元(22)，用於離子化該氣體混合物(2)；及一偵測器(10)，用於偵測該離子化氣體混合物(2)。該離子化單元(22)包含至少兩個並聯或串聯配置的離子化裝置(9a、9b、9c)，以利用不同離子化程序離子化該氣體混合物(2)，其中該該等離子化裝置(9a、9b、9c)可個別或一起啟動，及/或該離子化單元(22)具有一離子化裝置(9)，其經組態以供給一離子化氣體(30)之離子及/或亞穩粒子(29)至該偵測器(10)，以離子化該偵測器(10)中的該氣體混合物(2)。
简体摘要：本发明有关一种气体混合物(2)之质谱检测方法，其包含以下方法步骤：借由启动使用不同离子化进程操作的至少两个离子化设备(9a、9b、9c)，对要检测的该气体混合物(2)进行并联或串联离子化；及/或在一侦测器(10)中离子化该气体混合物(2)，其中将该气体混合物(2)及由一离子化设备(9)产生之一离子化气体(30)的离子及/或亚稳粒子(29)供给至该侦测器；及在该侦测器(10)中侦测该离子化气体混合物(2)以对其进行该质谱检测。本发明亦有关一种用于气体混合物(2)之质谱检测的质谱仪(21)，其包含：一离子化单元(22)，用于离子化该气体混合物(2)；及一侦测器(10)，用于侦测该离子化气体混合物(2)。该离子化单元(22)包含至少两个并联或串联配置的离子化设备(9a、9b、9c)，以利用不同离子化进程离子化该气体混合物(2)，其中该该等离子化设备(9a、9b、9c)可个别或一起启动，及/或该离子化单元(22)具有一离子化设备(9)，其经组态以供给一离子化气体(30)之离子及/或亚稳粒子(29)至该侦测器(10)，以离子化该侦测器(10)中的该气体混合物(2)。

7. 发明专利

TW201503217A 質譜儀、其使用方法、及氣體混合物的質譜分析方法审中-公开
简体标题：质谱仪、其使用方法、及气体混合物的质谱分析方法
公开(公告)号：TW201503217A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103105973
申请日：2014-02-21
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH , 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司 , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人：費德森克詹納迪 , FEDOSENKO, GENNADY , 阿里曼米歇爾 , ALIMAN, MICHEL , 鍾辛俞安東尼 , CHUNG, HIN YIU ANTHONY , 藍克阿伯瑞特 , RANCK, ALBRECHT , 葛赫夫里歐尼德 , GORKHOVER, LEONID
IPC分类号： H01J49/02 , G01N27/62 , H01J49/10
CPC分类号： H01J49/04 , H01J49/0027 , H01J49/105 , H01J49/14 , H01J49/145 , H01J49/147
摘要：本發明係關於一種用於氣體混合物(2)之質譜分析的質譜儀(1)，包含：離子化裝置(12)及用於該氣體混合物(2)之保存和質譜分析的離子阱(10)。在本發明之一態樣中，該離子化裝置(12)被體現用於供應離子化氣體(13)之離子(13a)及/或介穩態粒子(13b)及/或用於供應電子(20a)至該離子阱(10)，用以離子化待分析之該氣體混合物(2)，以及該質譜儀(1)被體現來在分析該氣體混合物(2)之前測定存在於該離子阱(10)中的該離子化氣體(13)之離子(13a)及/或介穩態粒子(13b)之數量及/或存在於該離子阱(10)中的殘餘氣體(14)之離子(14a)的數量。本發明還關於這種質譜儀(1)的用途及用於氣體混合物(2)之質譜分析的方法。
简体摘要：本发明系关于一种用于气体混合物(2)之质谱分析的质谱仪(1)，包含：离子化设备(12)及用于该气体混合物(2)之保存和质谱分析的离子阱(10)。在本发明之一态样中，该离子化设备(12)被体现用于供应离子化气体(13)之离子(13a)及/或介稳态粒子(13b)及/或用于供应电子(20a)至该离子阱(10)，用以离子化待分析之该气体混合物(2)，以及该质谱仪(1)被体现来在分析该气体混合物(2)之前测定存在于该离子阱(10)中的该离子化气体(13)之离子(13a)及/或介稳态粒子(13b)之数量及/或存在于该离子阱(10)中的残余气体(14)之离子(14a)的数量。本发明还关于这种质谱仪(1)的用途及用于气体混合物(2)之质谱分析的方法。

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