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1. 发明专利

TW202011026A 分析方法、分析裝置及程式审中-公开
简体标题：分析方法、分析设备及进程
公开(公告)号：TW202011026A
公开(公告)日：2020-03-16
申请号：TW108130484
申请日：2019-08-26
申请人：日商島津製作所股份有限公司 , SHIMADZU CORPORATION
发明人：村田匡 , MURATA, TASUKU , 藤田慎二郎 , FUJITA, SHINJIRO
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/02 , H01J49/10 , H01J49/26
摘要：分析方法是使配置於分析裝置的離子化部的試樣在與溶劑接觸的狀態下離子化而進行分析的分析方法，所述分析方法包括：第一質量分析，使未與試樣接觸的溶劑附著於探針之後，進行附著於探針的溶劑的質量分析，獲取第一測定資料；第二質量分析，繼第一質量分析之後進行，使溶劑中的試樣附著於探針，或使附著於探針的試樣與溶劑接觸之後，進行附著於探針的溶劑及試樣的質量分析，獲取第二測定資料；以及基於第一測定資料及第二測定資料，生成與試樣相對應的測定資料。
简体摘要：分析方法是使配置于分析设备的离子化部的试样在与溶剂接触的状态下离子化而进行分析的分析方法，所述分析方法包括：第一质量分析，使未与试样接触的溶剂附着于探针之后，进行附着于探针的溶剂的质量分析，获取第一测定数据；第二质量分析，继第一质量分析之后进行，使溶剂中的试样附着于探针，或使附着于探针的试样与溶剂接触之后，进行附着于探针的溶剂及试样的质量分析，获取第二测定数据；以及基于第一测定数据及第二测定数据，生成与试样相对应的测定数据。

2. 发明专利

TWI590295B 用於質譜儀之陰極之電壓供應的裝置有权
简体标题：用于质谱仪之阴极之电压供应的设备
公开(公告)号：TWI590295B
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW102106818
申请日：2013-02-27
申请人：英飛康股份有限公司 , INFICON GMBH
发明人：羅夫諾伯特 , ROLFF, NORBERT
IPC分类号： H01J49/02 , H03L1/00
CPC分类号： H01J49/022 , H01J49/10

3. 发明专利

TW202026665A 用於電子偵測的感測器审中-公开
简体标题：用于电子侦测的传感器
公开(公告)号：TW202026665A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108127503
申请日：2019-08-02
申请人：以色列商應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD.
发明人：阿蘇林伊泰 , ASSULIN, ITAY , 萊文雅各布 , LEVIN, JACOB , 伊坦蓋 , EYTAN, GUY
IPC分类号： G01T1/20 , H01L33/50 , H01J37/244 , H01J49/02
摘要：本發明相關於一種用於從物體發射的電子偵測的感測器，該感測器與以特定柱及晶圓電壓操作的帶電粒子束柱一起使用。感測器經配置且可操作以至少減低負離子與感測器的有效區域的相互作用，同時最小化電子能量損失。感測器也經配置且可操作以最小化以下兩者：有效區域的陰極發光效率的逐漸劣化、及在感測器操作期間產生且在整個閃爍體的壽命期間演變的陰極發光的動態改變。
简体摘要：本发明相关于一种用于从物体发射的电子侦测的传感器，该传感器与以特定柱及晶圆电压操作的带电粒子束柱一起使用。传感器经配置且可操作以至少减低负离子与传感器的有效区域的相互作用，同时最小化电子能量损失。传感器也经配置且可操作以最小化以下两者：有效区域的阴极发光效率的逐渐劣化、及在传感器操作期间产生且在整个闪烁体的寿命期间演变的阴极发光的动态改变。

4. 发明专利

TWI579888B 質譜儀、其使用方法、及氣體混合物的質譜分析方法有权
简体标题：质谱仪、其使用方法、及气体混合物的质谱分析方法
公开(公告)号：TWI579888B
公开(公告)日：2017-04-21
申请号：TW103105973
申请日：2014-02-21
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH , 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司 , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人：費德森克詹納迪 , FEDOSENKO, GENNADY , 阿里曼米歇爾 , ALIMAN, MICHEL , 鍾辛俞安東尼 , CHUNG, HIN YIU ANTHONY , 藍克阿伯瑞特 , RANCK, ALBRECHT , 葛赫夫里歐尼德 , GORKHOVER, LEONID
IPC分类号： H01J49/02 , G01N27/62 , H01J49/10
CPC分类号： H01J49/04 , H01J49/0027 , H01J49/105 , H01J49/14 , H01J49/145 , H01J49/147

5. 发明专利

TW201828326A 萃取離子束的裝置审中-公开
简体标题：萃取离子束的设备
公开(公告)号：TW201828326A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106141426
申请日：2017-11-28
申请人：美商瓦里安半導體設備公司 , VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人：利坎斯奇亞歷山大 , LIKHANSKII, ALEXANDRE
IPC分类号： H01J49/02 , H01J49/26
摘要：一種能夠不使用質量分析器磁體便從所萃取的離子束過濾出不需要的種類的裝置。所述裝置包括具有腔室壁的離子源，由射頻電壓對所述腔室壁施加偏壓。利用射頻萃取會使離子以不同的能量離開離子源，其中每一離子種類的能量與此離子種類的質量相關。然後可只使用靜電能量過濾器來過濾所萃取的離子束以除去不需要的種類。靜電能量過濾器可充當高通過濾器，以使能量高於某一閾值的離子到達工件。作為另一選擇，靜電能量過濾器可充當低通過濾器，以使能量低於某一閾值的離子到達工件。在另一實施例中，靜電能量過濾器用作帶通過濾器。
简体摘要：一种能够不使用质量分析器磁体便从所萃取的离子束过滤出不需要的种类的设备。所述设备包括具有腔室壁的离子源，由射频电压对所述腔室壁施加偏压。利用射频萃取会使离子以不同的能量离开离子源，其中每一离子种类的能量与此离子种类的质量相关。然后可只使用静电能量过滤器来过滤所萃取的离子束以除去不需要的种类。静电能量过滤器可充当高通过滤器，以使能量高于某一阈值的离子到达工件。作为另一选择，静电能量过滤器可充当低通过滤器，以使能量低于某一阈值的离子到达工件。在另一实施例中，静电能量过滤器用作带通过滤器。

6. 发明专利

TW201503217A 質譜儀、其使用方法、及氣體混合物的質譜分析方法审中-公开
简体标题：质谱仪、其使用方法、及气体混合物的质谱分析方法
公开(公告)号：TW201503217A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103105973
申请日：2014-02-21
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH , 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司 , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人：費德森克詹納迪 , FEDOSENKO, GENNADY , 阿里曼米歇爾 , ALIMAN, MICHEL , 鍾辛俞安東尼 , CHUNG, HIN YIU ANTHONY , 藍克阿伯瑞特 , RANCK, ALBRECHT , 葛赫夫里歐尼德 , GORKHOVER, LEONID
IPC分类号： H01J49/02 , G01N27/62 , H01J49/10
CPC分类号： H01J49/04 , H01J49/0027 , H01J49/105 , H01J49/14 , H01J49/145 , H01J49/147
摘要：本發明係關於一種用於氣體混合物(2)之質譜分析的質譜儀(1)，包含：離子化裝置(12)及用於該氣體混合物(2)之保存和質譜分析的離子阱(10)。在本發明之一態樣中，該離子化裝置(12)被體現用於供應離子化氣體(13)之離子(13a)及/或介穩態粒子(13b)及/或用於供應電子(20a)至該離子阱(10)，用以離子化待分析之該氣體混合物(2)，以及該質譜儀(1)被體現來在分析該氣體混合物(2)之前測定存在於該離子阱(10)中的該離子化氣體(13)之離子(13a)及/或介穩態粒子(13b)之數量及/或存在於該離子阱(10)中的殘餘氣體(14)之離子(14a)的數量。本發明還關於這種質譜儀(1)的用途及用於氣體混合物(2)之質譜分析的方法。
简体摘要：本发明系关于一种用于气体混合物(2)之质谱分析的质谱仪(1)，包含：离子化设备(12)及用于该气体混合物(2)之保存和质谱分析的离子阱(10)。在本发明之一态样中，该离子化设备(12)被体现用于供应离子化气体(13)之离子(13a)及/或介稳态粒子(13b)及/或用于供应电子(20a)至该离子阱(10)，用以离子化待分析之该气体混合物(2)，以及该质谱仪(1)被体现来在分析该气体混合物(2)之前测定存在于该离子阱(10)中的该离子化气体(13)之离子(13a)及/或介稳态粒子(13b)之数量及/或存在于该离子阱(10)中的残余气体(14)之离子(14a)的数量。本发明还关于这种质谱仪(1)的用途及用于气体混合物(2)之质谱分析的方法。

7. 发明专利

TWI589871B 用於在質譜儀中判定質量峰値的最大値之方法有权
简体标题：用于在质谱仪中判定质量峰値的最大値之方法
公开(公告)号：TWI589871B
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW102107242
申请日：2013-03-01
申请人：英飛康股份有限公司 , INFICON GMBH
发明人：羅夫諾伯特 , ROLFF, NORBERT
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/02
CPC分类号： H01J49/0036 , H01J49/0009 , H01J49/0031 , H01J49/26 , H01J49/28

8. 发明专利

TW201342421A 用於質譜儀之陰極之電壓供應的裝置审中-公开
简体标题：用于质谱仪之阴极之电压供应的设备
公开(公告)号：TW201342421A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：TW102106818
申请日：2013-02-27
申请人：英飛康股份有限公司 , INFICON GMBH
发明人：羅夫諾伯特 , ROLFF, NORBERT
IPC分类号： H01J49/02 , H03L1/00
CPC分类号： H01J49/022 , H01J49/10
摘要：一種用於質譜儀之陰極的電壓供應之簡化裝置包括一推挽式變壓器，其中除標準整流器二極體(7、9)之外，還提供一受控整流器(8、10)。該第一電晶體(8)之閘極連接至該變壓器之第二輸出(30)，以及該第二電晶體(10)之閘極連接至該變壓器之第一輸出(32)。一電壓供應裝置(由至少一電壓倍增器所構成)經由電容器(13、14、15)連接至該變壓器之輸出及尤其是供給發射電流測量裝置。
简体摘要：一种用于质谱仪之阴极的电压供应之简化设备包括一推挽式变压器，其中除标准整流器二极管(7、9)之外，还提供一受控整流器(8、10)。该第一晶体管(8)之闸极连接至该变压器之第二输出(30)，以及该第二晶体管(10)之闸极连接至该变压器之第一输出(32)。一电压供应设备(由至少一电压倍增器所构成)经由电容器(13、14、15)连接至该变压器之输出及尤其是供给发射电流测量设备。

9. 发明专利

TW201341793A 用於在質譜儀中判定質量峰値的最大値之方法审中-公开
简体标题：用于在质谱仪中判定质量峰値的最大値之方法
公开(公告)号：TW201341793A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：TW102107242
申请日：2013-03-01
申请人：英飛康股份有限公司 , INFICON GMBH
发明人：羅夫諾伯特 , ROLFF, NORBERT
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/02
CPC分类号： H01J49/0036 , H01J49/0009 , H01J49/0031 , H01J49/26 , H01J49/28
摘要：一種用以在質譜儀之協助下決定分子質量之快速方法，該方法包括下列步驟：預定義該質譜儀之一第一設定值(M1)；獲得一相關信號振幅(A1)；預定義一不同於該第一設定值之第二設定值(M2)；測量一相關第二信號振幅(A2)；預定義一不同於該第一設定值(M1)及該第二設定值(M2)之第三設定值(M3)；測量一相關第三信號振幅(A3)；獲得一包含做為y軸之該等測量振幅值及做為x軸之該等預定義設定值之二次函數；決定該二次函數之最大值，從該最大值之x值來測定該分子質量之搜尋設定值。
简体摘要：一种用以在质谱仪之协助下决定分子质量之快速方法，该方法包括下列步骤：预定义该质谱仪之一第一设置值(M1)；获得一相关信号振幅(A1)；预定义一不同于该第一设置值之第二设置值(M2)；测量一相关第二信号振幅(A2)；预定义一不同于该第一设置值(M1)及该第二设置值(M2)之第三设置值(M3)；测量一相关第三信号振幅(A3)；获得一包含做为y轴之该等测量振幅值及做为x轴之该等预定义设置值之二次函数；决定该二次函数之最大值，从该最大值之x值来测定该分子质量之搜索设置值。

10. 发明专利

TW201331981A 移動式質譜檢測裝置审中-公开
简体标题：移动式质谱检测设备
公开(公告)号：TW201331981A
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：TW101102254
申请日：2012-01-19
申请人：國立中山大學 , NATIONAL SUN YAT-SEN UNIVERSITY , 致寛科技股份有限公司 , WIDETRON TECHNOLOGIES CORPORATION
发明人：謝建台 , SHIEA, JEN TAIE
IPC分类号： H01J49/02 , H01J49/26
摘要：一種移動式質譜檢測裝置，係包含：一移動載裝平台，具有一電力供應系統、一氣體輔助裝置、一電子控制裝置及一操作部，該電力供應系統電性連接該氣體輔助裝置及電子控制裝置，該氣體輔助裝置電性連接該電子控制裝置，該操作部用以進行該移動載裝平台之移動操作；及一質譜儀，電性連接該電力供應系統及電子控制裝置，並連接該氣體輔助裝置。
简体摘要：一种移动式质谱检测设备，系包含：一移动载装平台，具有一电力供应系统、一气体辅助设备、一电子控制设备及一操作部，该电力供应系统电性连接该气体辅助设备及电子控制设备，该气体辅助设备电性连接该电子控制设备，该操作部用以进行该移动载装平台之移动操作；及一质谱仪，电性连接该电力供应系统及电子控制设备，并连接该气体辅助设备。

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