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热词
    • 1. 发明专利
    • 分析方法、分析裝置及程式
    • 分析方法、分析设备及进程
    • TW202011026A
    • 2020-03-16
    • TW108130484
    • 2019-08-26
    • 日商島津製作所股份有限公司SHIMADZU CORPORATION
    • 村田匡MURATA, TASUKU藤田慎二郎FUJITA, SHINJIRO
    • G01N27/62H01J49/02H01J49/10H01J49/26
    • 分析方法是使配置於分析裝置的離子化部的試樣在與溶劑接觸的狀態下離子化而進行分析的分析方法,所述分析方法包括:第一質量分析,使未與試樣接觸的溶劑附著於探針之後,進行附著於探針的溶劑的質量分析,獲取第一測定資料;第二質量分析,繼第一質量分析之後進行,使溶劑中的試樣附著於探針,或使附著於探針的試樣與溶劑接觸之後,進行附著於探針的溶劑及試樣的質量分析,獲取第二測定資料;以及基於第一測定資料及第二測定資料,生成與試樣相對應的測定資料。
    • 分析方法是使配置于分析设备的离子化部的试样在与溶剂接触的状态下离子化而进行分析的分析方法,所述分析方法包括:第一质量分析,使未与试样接触的溶剂附着于探针之后,进行附着于探针的溶剂的质量分析,获取第一测定数据;第二质量分析,继第一质量分析之后进行,使溶剂中的试样附着于探针,或使附着于探针的试样与溶剂接触之后,进行附着于探针的溶剂及试样的质量分析,获取第二测定数据;以及基于第一测定数据及第二测定数据,生成与试样相对应的测定数据。
    • 5. 发明专利
    • 萃取離子束的裝置
    • 萃取离子束的设备
    • TW201828326A
    • 2018-08-01
    • TW106141426
    • 2017-11-28
    • 美商瓦里安半導體設備公司VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
    • 利坎斯奇 亞歷山大LIKHANSKII, ALEXANDRE
    • H01J49/02H01J49/26
    • 一種能夠不使用質量分析器磁體便從所萃取的離子束過濾出不需要的種類的裝置。所述裝置包括具有腔室壁的離子源,由射頻電壓對所述腔室壁施加偏壓。利用射頻萃取會使離子以不同的能量離開離子源,其中每一離子種類的能量與此離子種類的質量相關。然後可只使用靜電能量過濾器來過濾所萃取的離子束以除去不需要的種類。靜電能量過濾器可充當高通過濾器,以使能量高於某一閾值的離子到達工件。作為另一選擇,靜電能量過濾器可充當低通過濾器,以使能量低於某一閾值的離子到達工件。在另一實施例中,靜電能量過濾器用作帶通過濾器。
    • 一种能够不使用质量分析器磁体便从所萃取的离子束过滤出不需要的种类的设备。所述设备包括具有腔室壁的离子源,由射频电压对所述腔室壁施加偏压。利用射频萃取会使离子以不同的能量离开离子源,其中每一离子种类的能量与此离子种类的质量相关。然后可只使用静电能量过滤器来过滤所萃取的离子束以除去不需要的种类。静电能量过滤器可充当高通过滤器,以使能量高于某一阈值的离子到达工件。作为另一选择,静电能量过滤器可充当低通过滤器,以使能量低于某一阈值的离子到达工件。在另一实施例中,静电能量过滤器用作带通过滤器。